MAKALAH ELECTRON

BEAM MACHINING
MATA KULIAH MESIN NON
KONVESIONAL

Skor Nilai:

DISUSUN OLEH:

KELOMPOK 6

1. Samuel Gilbert Pardede ( 5193121031)

2. Wahyu Firmasyah ( 5191121009)

3. Francisko Simanihuruk ( 5193121018)

4. Dorgis Monal Sinaga ( 5203121004)

DOSEN PENGAMPU :

Suprapto, S.T., M.T., P.hD

PROGRAM STUDI PENDIDIKAN TEKNIK MESIN

FAKULTAS TEKNIK

UNIVERSITAS NEGERI MEDAN

NOVEMBER 2022
KATA PENGANTAR

Puji syukur kehadirat Tuhan Yang Maha Esa, karena atas berkat dan rahmat-Nya
sehingga penulis dapat menyelesaikan makalah electron beam machining pada mata kuliah
mesin non konvensional. Penulis juga tidak lupa mengucapkan banyak terima kasih kepada
segenap pihak karena telah banyak membantu sehingga makalah ini dapat terselesaikan
sebagaimana mestinya. Makalah ini disusun berdasarkan apa yang penulis dapatkan dari
pembelajaran serta berbagai referensi yang penulis dapatkan. Dengan tersusunnya makalah ini,
penulis berharap agar kiranya ini dapat digunakan sebagai salah satu sumber penambah ilmu,
wawasan, dan pengetahuan.

Akhirnya penulis sadar bahwa makalah ini belumlah sempurna, oleh karena itu demi
kesempurnaan makalah yang akan dibuat berikutnya, penulis sangat mengharapkan saran serta
dukungan maupun kritik yang sifatnya membangun dari para pembaca sehingga dengan semua
itu kesempurnaan makalah ini dapat tercapai.

Medan, November 2022

Penulis
DAFTAR ISI

KATAPENGANTAR.....................................................................................................................i

DAFTAR ISI...................................................................................................................................i

BAB I PENDAHULUAN.............................................................................................................. I

1.1 Latar Belakang...........................................................................................................................1

1.2 Rumusan Masalah......................................................................................................................1

1.3 Tujuan Penulisan........................................................................................................................1

BAB II PEMBAHASAN...............................................................................................................2

2.1 Sejarah electron beam machining ……………………………………………………..……..2

2.2 Komponen utama dan mekanisme kerja………………………..…………………….…..…..2

2.3 Pengaplikasian electron beam machining…………………………..………………………..2

2.4 Keuntungan dan kekurangan….……………………………………………….………..……2

BAB III PENUTUP .....................................................................................................................3

3.1Kesimpulan.............................................................................................................................. 3

3.2Saran.........................................................................................................................................3

DAFTAR PUSTAKA...................................................................................................................i
 BAB I

PENDAHULUAN

1.1 Latar Belakang

Di saat sekarang ini sangatlah penting bagi seorang Engineer dari jurusan teknik mesin
untuk menguasai ataupun mengetahui cara kerja suatu alat ataupun mesin. Tidaklah berguna
Engineer tersebut jika hanya setelah lulus dari perguruan tinggi hanya mendapatkan pengetahuan
yang tidak dapat digunakan ketika Engineer tersebut turun kedunia kerja. Alat ataupun mesin
yang ada di zaman teknologi seperti sekarang ini sangatlah beragam. Selain itu, seorang engineer
dari jurusan teknik mesin juga harus mengetahui hal-hal yang berkaitan dengan proses produksi.
Sebagai contohnya seorang Engineer harus mengerti proses permesinan dengan proses non
konvensional. Selanjutnya pembahasan tentang proses permesinan dengan proses non
konvensional.

1.2Batasan Masalah

Pembahasan hanya mengenai electron beam machining

1.3 Tujuan Penulisan

Tujuan dibuatnya makalah ini merupakan tugas dalam mengisi nilai akademik pelajaran
Mesin non konvensional. Selain itu,tujuan dibuatnya makalah ini ialah membagi pengetahuan
serta membantu rekan-rekan mahasiswa/mahasiswi yang kurang memahami mengenai proses
permesinan dengan proses non konvensional secara khusus pemesinan electron beam machining,
dimana diharapkan dengan itu mahasiswa dapat menguasai teori sehingga nantinya dapat
diaplikasikan dalam proses praktik.
 BAB II

PEMBAHASAN

2.1 Sejarah Electron beam machining

Prototype electron beam pertama kali dirancang oleh Steigerwald pada tahun 1947.
Electron beam machining (EBM) digunakan di industri sejak tahun 1960-an yang
pengaplikasiannya pada nuklir dan aerospace welding. Pada saat sekarang ini LBM banyak
digunakan pada industri manufaktur semiconductor untuk membuat lubang-lubang kecil,
memotong, engraving (mengukir) dan perlakuan panas (heat treatment).

2.2 Komponen utama dan mekanisme kerja

Komponen utama dari EBM diperlihatkan pada gambar diatas. Pada EBM terdapat
ruangan vakum dengan tingkat kevakuman sekitar 10^-4 torr. Tungsten filament katoda
dipanaskan hingga temperatur 2500 hingga 3000 derajat Calcius untuk memancarkan elektron.
Ukuran untuk pengaruh pancaran elektron ini dinamakan emission current yang besarnya
bervariasi antara 20 hingga 100 mA. Current densities berkisar antara 5 hingga 15 A/cm^2.
Emission current dipengaruhi oleh jenis material katoda, suhu dan tinggi tegangan dengan
ukuran sekitar 150 kV. Tegangan tinggi mempercepat aliran elektron menuju arah benda kerja.
Setelah dipercepat, elektron difokuskan dan melewati sebuah lubang pada anoda. Electron beam
kemudian difokuskan kembali oleh sistem magnetic atau electronic lens system. Kecepatan
elektron pada EBM dipertahankan pada kecepatan 228 × 10^3 km/s dan mengenai permukaan
benda kerja dengan diameter sekitar 0,25 mm .

Energi kinetik dari elektron dengan cepat diubah menjadi panas yang menyebabkan
meningkatnya temperatur benda kerja. Ketika temperatur benda kerja di atas titik didih benda
kerja menyebabkan material removal dengan proses penguapan. Dengan power densities pada
EBM 1,55 MW/mm^2 maka pada hakekatnya semua material bisa diproses dengan
menggunakan EBM. Cara tentang bagaimana electron beam yang terfokus menembus benda
kerja tidak sepenuhnya dipahami karena begitu kompleksnya mekanisme yang terjadi. Adapun
dipercayai bahwa permukaan benda kerja meleleh disebabkan karena kombinasi antara tekanan
elektron dan tegangan permukaan. Lelehan benda kerja dihilangkan dan menguap sehingga
material removal rates dari EBM sekitar 10 mm^3/min.

Pulsed electron beam pada 10^4 Hz mengurangi suhu benda kerja diluar bagian yang
dimachining.
Gambar 2 memperlihatkan faktor-faktor yang mempengaruhi kinerja EBM.

Gambar Jumlah pulses versus relative machinability index (Kaczmarek, 1976)

Gambar diatas memperlihatkan power yang dibutuhkan oleh EBM untuk melakukan
pemesinan pada beberapa jenis material. Material yang memiliki tingkat konsumsi power yang
lebih rendah akan membutuhkan jumlah pulses yang lebih kecil dan machinability akan
meningkat jika dibandingkan dengan material dengan tingkat konsumsi power yang lebih tinggi
dengan volume yang sama. Machinability dipengaruhi oleh thermal properties dari material sama
halnya dengan density dan electrical conductivity. Penelitian telah memperlihatkan bahwasanya
peningkatan percepatan tegangan di atas 120 kV tidak efektif.
 Kualitas permukaan yang dihasilkan dari EBM tergantung dari jenis material. Estimasi
kekasaran permukaan dari EBM ketika membuat lubang kecil atau memotong mendekati 1 µm.
Surface layer dari material dipengaruhi oleh temperatur focused beam yang diilustrasikan oleh
lapisan putih berbentuk cincin yang mengelilingi lubang sebagaimana terlihat pada Gambar 5.
Diameter lapisan yang rusak (damaged layer) akan bertambah jika durasi pulse bertambah dan
diameter lubang semakin besar. Heat affected zone pada EBM sekitar 0,25 mm.

2.3.Pengaplikasian

1.Pengeboran
 Steigerwald dan Mayer (1967) menganggap bahwa untuk aplikasi yang berhasil,
reproduktifitas yang ditingkatkan, kecepatan kerja yang lebih besar, dan lubang yang lebih dalam
dengan bentuk yang dikontrol secara akurat semuanya diperlukan. Boehme (1983) membahas
aplikasi pengeboran dengan mesin berkas elektron yang dilengkapi dengan sistem untuk
mengontrol secara numerik kekuatan berkas, fokus dan durasi pulsa, dan gerakan mekanis.
Lubang silinder, kerucut, dan tong dengan berbagai diameter dapat dibor dengan akurasi yang
konsisten dengan kecepatan beberapa ribu lubang per detik. Lubang pada sudut kemiringan
sekitar 15° juga dimungkinkan. Boehme (1983) menyatakan bahwa diameter dan kedalaman
lubang terbesar yang dapat dibor secara akurat oleh EBM masing-masing adalah 1,5 mm dan 10
mm dan rasio aspek kedalaman terhadap diameter biasanya berkisar antara 1:1 hingga 1 :15.
Untuk lubang yang lebih dalam, dalam kisaran 2,5 hingga 7,5 mm, Steigerwald dan Mayer
(1967) menekankan perlunya catu daya yang stabil yang dapat memancarkan kelompok pulsa
yang diperlukan dan bahwa, untuk balok yang dikontrol dengan baik dengan diameter yang
ditentukan, sudut bukaan memiliki pengaruh yang kuat terhadap bentuk lubang yang dihasilkan.
Lubang sekitar 19 mm diproduksi. Drew (1976) menunjukkan lubang bor EB pada sudu turbin
superalloy pada sudut 60° hingga 90°.

2.Perforasi lembaran tipis

Agar perforasi oleh EBM dapat diterima secara ekonomi, 104 hingga 105 lubang per detik
harus diproduksi. Jadi pulsa tunggal yang berlangsung hanya beberapa mikrodetik diperlukan.
Dalam beberapa aplikasi lembaran atau foil diregangkan pada drum yang berputar, yang secara
bersamaan digeser ke arah porosnya. Baris perforasi mengikuti garis heliks dengan demikian
diproduksi. Manipulator yang mampu melakukan gerakan linier dan berputar dalam empat
sumbu digunakan untuk perforasi EBM komponen mesin jet. Foil yang terbuat dari bahan
sintetis telah dilubangi dengan 620 lubang per milimeter persegi untuk aplikasi filter dengan
kecepatan satu lubang setiap 10 s. Perforasi EBM dapat diterapkan pada produksi filter dan
masker tabung televisi berwarna. Aplikasi lain untuk perforasi terletak pada pembuatan saringan,
untuk insulasi suara dan dalam produksi serat kaca.

3 .Penempatan
 Slot persegi panjang 0,2 kali 6,35 mm dalam pelat baja tahan karat setebal 1,57 mm
diproduksi dalam 5 menit menggunakan 140 kV, 120 A, lebar pulsa 80 s, dan frekuensi 50 Hz.
Tingkat slotting tergantung pada ketebalan benda kerja. Dalam hal ini baja tahan karat setebal
0,05 mm dipotong pada kecepatan 100 m/menit, sedangkan baja tahan karat setebal 0,18 mm
dipotong pada 50 m/menit menggunakan kondisi pemesinan yang serupa.

4. Fabrikasi sirkuit terpadu.

Birnie dan Champney (1967) menarik perhatian untuk menggunakan teknologi berkas
elektron dalam mencoret sirkuit film tipis untuk industri elektronik. Sebuah rekening rinci untuk
pembuatan sirkuit terpadu telah disajikan oleh Yew et al. (1994). Balok diposisikan secara akurat
dengan menggunakan kumparan defleksi di lokasi di mana pola akan ditulis, dengan
memaparkan film penahan elektron yang dilapisi baik pada blank mask krom atau wafer, untuk
menghasilkan definisi litografi yang diperlukan. Sebuah berkas elektron energi sekitar 10 sampai
20 kV baik dapat memutuskan ikatan antara molekul polimer atau menyebabkan ikatan silang
dalam polimer.

Dengan timbulnya salah satu dari kondisi ini, kelarutan berubah ketika film penahan
direndam dalam pengembang, biasanya pelarut untuk penahan. Karena perbedaan kelarutan
antara polimer resistan asli dan yang terpapar, terjadi penghilangan material yang berbeda.
Dengan demikian diperoleh pola polimer yang halus, yang digunakan sebagai masker aktif untuk
menghindari penggoresan yang tidak diinginkan dari masker sirkuit terpadu. Pembuatan pola
dapat dilakukan dengan pemindaian vektor. Dengan demikian, berkas elektron dibelokkan hanya
ke lokasi di mana penolakan elektron akan diekspos. Segera setelah sistem defleksi
menyelesaikan pemosisian berkas, di tempat yang diperlukan, aksi berkas elektron dimulai.
Dengan metode scan raster, dijelaskan oleh McGeough (1988), pola chip dibagi menjadi sub
bidang. Berkas elektron dalam raster, seperti yang digunakan pada televisi, memindai setiap
subbidang. Berkas elektron dihidupkan dan dimatikan sepanjang setiap garis raster sesuai
kebutuhan. Pola yang diperlukan sepenuhnya dibentuk oleh efek gabungan dari paparan berkas
elektron dan pengembangan resistensi selanjutnya. Gambar 5.48 menunjukkan aplikasi tipikal di
mana EBM digunakan untuk pengukiran sirkuit hibrid elektronik mini dengan jejak selebar 40
m.
 Pemrosesan wafer langsung oleh EBM diperlukan untuk ukuran fitur di bawah satu atau dua
mikron. Lebar garis sekecil beberapa ratus angstrom juga dapat ditulis dengan teknik berkas
elektron pada kecepatan setinggi 20 MHz. Pengolahan wafer langsung sistem elec tron beam
mampu menghasilkan 22 wafer per jam.

2.4 Keuntungan dan Kerugian

Keuntungan

 Pengeboran dimungkinkan dengan kecepatan tinggi (hingga 4000 lubang per detik).
 Proses ini mampu mencapai akurasi dan pengulangan yang tinggi Tidak ada batasan yang
dikenakan oleh kekerasan benda kerja, keuletan, dan reflektifitas permukaan.
 Proses menghasilkan hasil akhir permukaan terbaik dibandingkan dengan yang lain
Parameter pengeboran dapat dengan mudah diubah selama pemesinan. 0,1 mm untuk
posisi lubang dan 5 persen untuk diameter lubang.
 Tidak ada kesulitan yang dihadapi dengan sudut lancip.
 Biayanya relatif kecil dibandingkan dengan proses lain yang digunakan untuk
menghasilkan lubang yang sangat kecil.

Kekurangan

 Biaya peralatan modal tinggi

 Untuk mengoperasikan mesin berkas electron,diperlukan operator dengan keahlian tinggi
 Mengkonsumsi daya tinggi dalam pengoperasiannya

BAB III

PENUTUP
3.1 Kesimpulan

Setelah penulis membaca dari referansi yang di dapatkan dan dari penyusunan makalah
ini,maka penulis dapat menyimpulkan bahwa penulis pada akhirnya dapat mengetahui tentang
proses pemesinan electron beam machining,baik dari sejarah,komponen,pengaplikasian dan
keuntungan kekurangan pemesinan tersebut.

3.2 Saran

Setelah mengetahui apa itu proses pemesian electron beam machining serta komponen
dan pengaplikasiannya,di harapkan nantinya kita dapat mengoperasikan mesin tersebut dengan
benar sesuia prosedur yang berlaku serta tetap menerapkan system keselamatan dan kesehatan
kerja (K3).Dan kepada teman-teman mahasiswa,dianjurkan agar mengikuti perkuliahan dengan
baik maupun saat diskusi berlangsung.

DAFTAR PUSTAKA
https://pdfcoffee.com/download/makalah-mesin-non-konvensionaldocx-pdf-free.html

https://www.academia.edu/35591451/
TEORI_PEMESINAN_ELECTRON_BEAM_MACHINING_EBM