Pembentuka

n Lapisan
Tipis dengan
Metode
Spincoating

DISUSUN OLEH:
NAMA : FRIDA MARGARETH HULU
NIM : 160801060
JURUSAN : FISIKA (S-1)
FAKULTAS : MIPA
MATA KULIAH : Film Tipis dan Nano Teknologi
DOSEN : Dr. Ferdinan Sinuhaji, MS

DEPARTEMEN FISIKA

FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM

UNIVERSITAS SUMATERA UTARA

2017
 BAB I

PENDAHULUAN

A. Latar Belakang
Lapisan tipis adalah suatu lapisan yang sangat tipis yang terbuat dari bahan organik,
inorganik, logam maupun campuran metal organik dan memiliki sifat-sifat konduktor,
semikonduktor maupun isolator. Untuk membuat lapisan tipis suatu reagen direaksikan
dengan cara dideposisikan di atas suatu bahan yang disebut substrat yang pada umumnya
berbentuk keping, sehingga sifat bahan awalnya akan berbeda dengan hasil pengendapan
yang diperoleh atau terbentuknya unsur baru. Lapisan tipis umumnya mempunyai
ketebalan 10-6-10-9 meter.
Pembuatan film tipis memberikan manfaat yang sangat besar dalam dunia material,
diantaranya adalah sebagai pelapisan bahan untuk menutupi kelemahan dari bahan yang
dilapisi seperti anti korosi, persiapan material baru sebelum dipabrikasi serta dalam
pengembangan material baru. Ketebalan adalah perbedaan ketinggian antara lapisan dan
subtrat yang dapat diestimasi secara tidak langsung, salah satunya dengan menggunakan
teknik spektroskopi yaitu melalui pengukuran spektrum absorbsi atau transmisi.
Prinsipnya adalah menggunakan interferensi yang terjadi pada lapisan tipis. Dengan cara
ini, ketebalan diestimasi melalui pola interferensi yang muncul pada spektrum yang
diperoleh.
Fabrikasi film tipis sudah sering dilakukan oleh beberapa peneliti sekarang ini. proses
yang biasa digulakuklan untuk fabrikasi film tipis adalah proses deposisi (deposition) dan
proses dalam fase larutan (solution phase. Untuk bahan polimer, fabrikasi film tipis yang
banyak digunakan adalah proses larutan seperti solution casting, doctor blading,
dipcoating dan spincoating. Pada makalah ini, kita akan membahas tentang pembentukan
lapisan tipis melalui proses pemiutaran (spincoating).
 BAB II
ISI
A. Pengertian Spincoating
Spincoating dapat diartikan sebagai pembentukan lapisan melalui proses pemutaran (spin).
Bahan yang akan dibentuk lapisan dibuat dalam bentuk larutan (gel) kemudian diteteskan
di atas suatu substrat yang disimpan di atas piringan yang dapat berputar, karena adanya
gaya sentripetal ketika piringan berputar, maka bahan tersebut dapat tertarik ke pinggir
substrat dan tersebar merata. Selain untuk penumbuhan bahan semikonduktor, teknik spin
coating ini juga dapat digunakan untuk mendeposisi lapisan tipis bahan lainnya seperti
bahan polimer maupun bahan keramik oksida.
Langkah pertama dalam fabrikasi film adalah mempersiapkan suhu deposisi, yaitu
dengan mengatur alat pemanas dan kipas sehingga suhu sel pemanas mencapai
keseimbangan. Perlu diingatkan kembali bahwa yang dimaksud dengan suhu sel pemanas
dalam eksperimen ini adalah suhu udara di dalamnya dan bukan suhu substrat. Hal ini
penting karena dengan penggunaan inset aluminium, suhu substrat akan lebih tinggi
dibanding dengan suhu udara di dalam sel. Sementara suhu sel pemanas dinaikkan, larutan
polimer juga dipanaskan dalam water bath sesuai dengan suhu yang diinginkan. Setelah
udara dalam sel pemenas mencapai suhu yang diinginkan substrat yang telah dibersihkan
dimasukkan ke dalam inset aluminium yang terdapat pada tempat substrat. Substrat
tersebut dilapisi terlebih dahulu dengan lapisan tipis pelarut agar adhesi (wetting) antara
larutan polimer dan substrat meningkat. Proses deposisi dimulai dengan meneteskan
sekitar 0,5 ml larutan polimer hingga menutupi substrat kemudian rotasi spincoater
dimulai.
Untuk memperoleh film tipis dengan kualitas optik yang baik, yakni transparan,
indeks bias yang homogen, dan memiliki permukaan yang halus, maka ada tiga tahap yang
perlu dilakukan, yaitu;
1. Melakukan optimasi parameter fabrikasi film tipis dengan teknik spincoating seperti
jenis pelarut, temperatur substrat, konsentrasi larutan, kecepatan spin, waktu, dan
temperatur fabrikasi
2. Memfabrikasi film tipis dari bahan polimer yang berbeda dengan penyesuaian
parameter fabrikasi di atas
3. Mengukur sifat optik dari film tipis, yaitu koefisien absorbsi dan dispers indeks bias.

B. Penerapan Spincoating
 BAB III
PENUTUP
A. Kesimpulan