TUGAS FILSAFAT PENDIDIKAN IPA

Implementasi Kajian Filsafat

( Ontologi, Epistemologi, Aksiologi )

Karakteristik Sifat Optik Lapisan Tipis TiO2 Doping Indium yang Disiapkan dengan
metode Spin Coating

Disusun Oleh :

IWAN DAHLAN

( I2E.016.015 )

PROGRAM STUDI MAGISTER PENDIDIKAN IPA

PROGRAM PASCASARJANA

UNIVERSITAS MATARAM

2016
 IMPLEMENTASI KAJIAN FILSAFAT

( Ontologi, Epistemologi, Aksiologi )

Karakteristik Sifat Optik Lapisan Tipis TiO2 Doping Indium yang Disiapkan dengan metode
Spin Coating

Oleh : Iwan Dahlan ( I2E. 016.015 )

1. Latar Belakang
Akhir-akhir ini keberadaan handphone bukan lagi mejadi barang mewah karena
hampir semua orang dari berbagai status, golongan, pekerjaan dan usia bisa memilikinya.
yang tebaru adalah maraknya penggunaan smartphone yang memiliki desain layar yang
relatif tipis dan rentan goresan atau kerusakan, menyikapi hal tersebut penggunaan
material transparan dapat menjadi alternatif untuk melindungi layar Handphone atau
Gadget, akan tetapi pelapisan permukaan hasil pabrikasi yang beredar dewasa ini relatif
mahal dan kurang sensitif, oleh karena itu pelapisan permukaan menggunakan TiO2
doping Indium diharapkan dapat mejadi satu solusi untuk mengatasi permasalan tersebut.

2. Isi
Kajian Ontologi
Titanium dioksida atau titania (TiO2) merupakan semikonduktor yang memiliki
titik leleh dan konstanta dielektrik yang tinggi. TiO2 dapat digunakan sebagai bahan
utama dalam pembuatan alat-alat elektronik dan sensor. TiO2 murni memiliki energy gap
yang lebar (3,2eV-3,8 eV) sehingga hanya memiliki efisiensi fotokatalitik sebesar 5%
dari energi matahari. Agar penggunaan energi matahari dapat efektif, maka perlu
dilakukan usaha untuk memperkecil energy gap dan memperbesar penyerapan cahaya
yang salah satu caranya adalah menggunakan doping. Doping dapat diartikan sebagai
penambahan pengotor pada material dengan tujuan untuk memodifikasi karakteristik
elektroniknya. Tujuan dari penambahan unsur indium pada lapisan tipis diharapkan dapat
meningkatkan daya serap dan menurunkan resistansi permukaan sensor sehingga dapat
meningkatkan sensitivitas dan menurunkan suhu operasi sensor.
 Untuk fabrikasi lapisan tipis TiO2, beberapa metode sudah pernah digunakan,
antara lain adalah Chemical Vapor Deposition (CVD), Solution Gelation (Sol-Gel),
radio-frequency (r-f) sputtering dan Pulse Laser Deposition (PLD). Metode-metode
tersebut memerlukan persyaratan-persyaratan yang cukup komplek. Sebagai
alternatifnya, Spin coating merupakan metode fabrikasi yang dapat digunakan untuk
menumbuhkan lapisan tipis dengan kualitas yang baik dan murah, sehingga metode ini
banyak digunakan. Dalam mengkaji besarnya energy gap lapisan tipis yang diperoleh,
akan digunakan metode optis, yaitu dengan melihat spektrum serapannya. Berdasarkan
pemaparan di atas, maka tujuan penelitian adalah untuk mengetahui karakteristik sifat
optis pada lapisan tipis TiO2 didoping Indium yang ditumbuhkan dengan metode spin
coating.
Kajian Epistemologi
Untuk memperoleh lapisan tipis TiO2 dilaksanakan dalam empat tahap yaitu :
preparasi substrat dan prekursor, penumbuhan film tipis, karakterisasi film tipis dan tahap
terakhir adalah analisa. Pada preparasi substrat, subtrat Si (100) dengan dimensi 3cm x
3cm dicuci dengan menggunakan aceton selama 5 menit. Kemudian, substrat tersebut
dicuci dengan methanol selama 5 menit dan diakhiri dengan 10% HF yang dicampur
dengan de-ionized water (DI water) selama 2 menit. Hal ini bertujuan untuk
menghilangkan lapisan alami SiO2 dari permukaan substrat. Langkah akhir dari preparasi
substrat adalah dengan menyemprotkan gas N2 yang bertujuan untuk mengeringkan
substrat
Pada preparasi prekursor, Pada tahap ini akan dilakukan variasi konsentrasi
larutan dengan cara memvariasi konsentrasi In yaitu 0,1 M; 0,2 M; 0,4 M dan 0,5 M.
Kemudian Larutan yang diperoleh kemudian dicampur dengan Titanium (IV) Isoproxide
atau [Ti{OCH(CH3)2}4] (97%) dengan perbandingan 1:4. Hasil akhirnya berupa gel.
Setiap gel untuk masing-masing konsentrasi akan dibuat lima sampel.
Tahapan berikutnya adalah penumbuhan film tipis. Setelah mempersiapkan
spinner, substrat diletakkan di atas spinner yang kemudian dilapisi dengan wetting layer
TTIP. Langkah selanjutnya, gel diteteskan di atas substrat sebanyak 4-5 tetes, dan
kemudian spinner diputar pada kecepatan 1500 rpm dalam 1 menit. Setelah proses
penumbuhan selesai, lapisan dikeringkan pada 100oC selama 30 menit dengan
 menggunakan furnace. Tahap ini bertujuan untuk menguapkan pelarut sehingga yang
tertinggal di atas substrat merupakan hamparan tipis bahan semikonduktor (TiO2:In).
Tahap akhir dari proses ini adalah pemanasan pada temperatur tinggi 500oC selama 60
menit menggunakan furnace. Tahap ini bertujuan untuk proses kristalisasi bahan
semikonduktor dan pelekatan pada permukaan substrat. Hasil akhir dari proses ini adalah
sampel lapisan tipis TiO2:In.
Dari setiap konsentrasi In akan dihasilkan lima sampel, namun hanya sampel yang
terbaiklah yang akan dikarakterisasi menggunakan High Resolution Xray Diffraction
(HR-XRD), Optical Reflectance Spectroscopy dan Energy Dispersive X-Ray
Spectrometer (EDS). Hasil karakterisasi tersebut dianalisa sehingga dapat ditarik
kesimpulan
Kajian Aksiologi
Manfaat penelitian ini antara lain :
Dapat memperkaya khasanah pengetahuan tentang karakterisrik sifat optik
Dapat menghemat biaya pabrikasi produk lapisan tipis karena teknik spin coating
relatif murah
Diperoleh lapisan tipis baru yang lebih sensitif
.
3. Kesimpulan
1. Pemberian doping bertujuan untuk memperkecil energi gap dan memperbesar
penyerapan cahaya.
2. Spin coating merupakan metode pabrikasi yang dapat digunakan untuk menumbuhkan
lapisan tipis dengan kualitas yang baik dan murah
3. Karakteristik optik akan dapat diketahui dengan melihat spektrum serapannya

Dari hasil analisis implementasi ontologi, epistimologi dan aksiologi dapat

disimpulkan bahwa Karakteristik Sifat Optik Lapisan Tipis TiO2 Doping Indium yang
Disiapkan dengan metode Spin Coating termasuk dalam kajian ilmu.
 DAFTAR PUSTAKA

Agustina Elsa, dkk., 2013, Struktur dan Sifat Optik Lapisan Tipis TiO2 (titanium Oksida)
yang dihasilkan dengan menggunakan metode Elektrodeposisi, Jurnal Fisika Unand,
Vol. 2, ISSN 2302-8491.

Ardhiarisca, O., 2013, Karakteristik optik dan struktur kristal film tipis TiO2 ditumbuhkan
dengan metode spin coating, Skripsi, Jurusan Fisika, FPMIPA Univ Jember, Jember.

Rahmawati, Z., 2010, Deposisi Lapisan Tipis Titanium Dioxide (TiO2) Di atas Substrat Gelas
Dengan Metoda Spray-Coating Untuk Aplikasi Penjernihan Air Polder Tawang,
Skripsi, Jurusan Fisika, FMIPA Univ Diponegoro, Semarang.