ANALISIS KOMPOSISI KIMIA DARI KERAMIK

Auger Electron Spectroscopy (AES)

X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)

AUGER ELECTRON SPEKTROSKOPI(AES)

AES adalah teknik spektroskopi yang
sensitif untuk menganalisa elemenelemen pada permukaan dengan
mengukur besarnya energy electron
auger

TRANSISI ELEKTRON DAN EFEK AUGER

Ek = E1 - E2 - E3 *
Dimana:
E1 dan E2 = energi yang mengikat atom yang terionisasi tunggal
E3 *
= energi yang mengikat ionisasi ganda

X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY

(XPS)

XPS juga dikenal sebagai spektroskopi

electron untuk analisa unsure(ESCA)
merupakan suatu teknik yang digunakan
untuk memperoleh informasi kimia di
berbagai permukaan material, dengan
mengukur besarnya energi kinetik elektron
setelah beradiasi dengan sinar-X

Ek = h Eb W
Dimana:
h = energi insiden X ray foton
Eb = energi ikat fotoelektron
W = fungsi kerja spektrometer

AUGER ELECTRON SPEKTROKOPI (AES)

Sampel: solid, konduktor,

semikonduktor
Resolusi sisi: 500 nm
Resolusi kedalaman: 0,5 - 5
nm
Sensitivitas: 0,1 - 1 atomic %
Analisis simpel
Nilai keluaran cepat

X-RAY PHOTOELECTRON
SPECTROSCOPY (XPS)

Sampel: solid, konduktor,

semikonduktor, isolator
Resolusi sisi: 1mm - 40m
Resolusi kedalaman: 0,5 - 5
nm
Sensitivitas: 0,1 - 1 atomic %