OPTIMASI DARI MEMS PIEZO-ELECTRIC SENSOR

UNTUK APLIKASI SMART TEXTILE

MUHAMMAD HASSAN REHMAN

a
ay
al
M

LAPORAN PENELITIAN DIKIRIMKAN SEBAGIAN Pemenuhan

PERSYARATAN ATAS
s

GELAR MAGISTER TEKNIK (INDUSTRI ELEKTRONIK

ita

DAN KONTROL)
rs

FAKULTAS TEKNIK
ve

UNIVERSITAS MALAYA
KUALA LUMPUR
ni
U

2018
 UNIVERSITAS MALAYA

PERNYATAAN PUSTAKA ASLI

Nama Kandidat: Muhammad Hassan Rehman.

Pendaftaran / Matrik No: KGK150008

Nama Gelar: Master of Engineering (Elektronik dan Kontrol Industri)

Judul Makalah Proyek / Laporan Penelitian / Disertasi / Skripsi:

OPTIMASI SENSOR LISTRIK MEMS PIEZO UNTUK APLIKASI SMART TEXTILE

Bidang studi: TEKNOLOGI LISTRIK MIKRO

Saya dengan sungguh-sungguh dan dengan tulus menyatakan bahwa:

(1) Saya adalah satu-satunya penulis / penulis Karya ini;

(2) Karya ini asli;
(3)

a
Setiap penggunaan karya yang mengandung hak cipta dilakukan dengan cara pemanfaatan yang adil dan untuk
ay
tujuan yang diizinkan dan kutipan atau kutipan apa pun dari, atau referensi atau reproduksi dari karya hak cipta
apa pun telah diungkapkan secara tegas dan memadai dan judul Karya beserta judulnya. kepenulisan telah
al
diakui dalam Karya ini;
M

(4) Saya tidak memiliki pengetahuan yang sebenarnya dan juga tidak seharusnya mengetahui secara wajar bahwa
pembuatan karya ini merupakan pelanggaran atas karya hak cipta apa pun; Dengan ini saya menyerahkan semua
(5) dan setiap hak dalam hak cipta atas Karya ini ke Universitas Malaya ("UM"), yang selanjutnya akan menjadi pemilik
s

hak cipta dalam Karya ini dan bahwa setiap reproduksi atau penggunaan dalam bentuk apa pun atau dengan cara
ita

apa pun adalah dilarang tanpa persetujuan tertulis dari UM yang pertama kali dimiliki dan diperoleh;
rs

(6) Saya sepenuhnya menyadari bahwa jika dalam proses pembuatan Karya ini saya telah melanggar hak cipta apa
pun baik sengaja atau tidak, saya dapat dikenakan tindakan hukum atau tindakan lain yang mungkin ditentukan
ve

oleh UM.
ni

Tanda Tangan Kandidat Tanggal

U

Berlangganan dan dengan sungguh-sungguh diumumkan

sebelumnya, Tanda Tangan Saksi Tanggal

Nama:
Penunjukan:

ii
 ABSTRAK

Sensor berbasis kantilever piezoelektrik MEMS untuk aplikasi tekstil pintar adalah

berguna untuk memantau berbagai parameter fisiologis. Terutama tekanan darah

perlu dilakukan pengukuran yang merawat kondisi kritis seperti hipotensi dan hipertensi

dan itu dapat menyebabkan gagal jantung dan serangan, stroke, pusing dan syok. Tekanan darah

diukur dalam satuan milimeter merkuri (mmHg). Selama setiap jantung berdetak darah

tekanan bervariasi antara sistolik (maksimum) dan diastolik (minimum). Karena itu langsung

ukuran detak jantung dapat dianggap sebagai penentuan tekanan darah.

Tekanan sistolik manusia normal adalah 120mmHg dan tekanan diastolik 80mmHg. Untuk

aplikasi pemantauan tekanan darah, industri perawatan kesehatan menggabungkan kemeja pintar dengan

sensor kompatibel yang dibutuhkan untuk beroperasi dalam kisaran 50mmHg-180mmHg.

a
ay
Sensor berbasis kantilever piezoelektrik MEMS banyak digunakan dalam pengukuran tekanan darah

karena memberikan sensitivitas yang lebih tinggi terhadap tekanan, sensitivitas merdu, struktur sederhana dan
al
M

berukuran mikro. Dalam proyek penelitian ini, Kantilever piezoelektrik MEMS berbentuk U berbasis

Sensor dirancang dan didemonstrasikan menggunakan perangkat lunak COMSOL Multiphysics. Hasil
s
ita

yang didapat dari simulasi adalah defleksi kantilever berbentuk U saat normal

tekanan diastolik 80mmHg diterapkan. Antara lain bahan piezoelektrik Timbal

rs

Zirkonat Titanate (PZT-5H) sebagai lapisan penginderaan kantilever berbentuk U memberi lebih baik
ve

sensitivitas pada kondisi diastolik (80mmHg) yang menunjukkan perpindahan dan potensial listrik
ni

dari 11.456 µ m dan 2.0523V yang 41,40 lebih tinggi dari kantilever berbentuk persegi panjang. Untuk
U

Kesimpulannya, sensor berbasis kantilever MEMS piezoelektrik berhasil dirancang,

disimulasikan dan dioptimalkan. Parameter pengoptimalan juga telah dilakukan pada perbedaan

Panjang kantilever yang semakin panjang memberikan defleksi yang lebih besar pada kondisi diastolik

dan meningkatkan sensitivitas sensor karena distribusi tegangan yang seragam

permukaan kantilever. Sedangkan dengan menggunakan kantilever berbentuk U seukuran kantilever

mengurangi dan memberikan kinerja yang lebih baik dibandingkan dengan kantilever berbentuk persegi panjang.

aku aku aku

 ABSTRAK

MEMS sensor cantilever piezoelektrik berasaskan aplikasi tekstil pintar berguna

untuk mengukur pelbagai parameter fisiologi. Terutamanya tekanan darah yang

diperlukan untuk mengukur yang merawat keadaan kritikal seperti hipotensi dan

hipertensi dan ia boleh menyebabkan kegagalan jantung dan serangan, stroke, pening dan

kejutan. Tekanan darah diukur dalammilimeter merkuri (mmHg). Semasa setiap jantung

denyut tekanan darah berbeza-beza antara sistolik (maksimum) dan diastolik

(minimum). Oleh itu, pengukuran langsung denyutan jantung boleh sebagai sebagai

penentuan darah tekanan.Tekanan sistolik manusia biasanya 120mmHg dan tekanan

diastolik ialah 80mmHg. Untuk aplikasi tekanan darah, industri penjagaan

kesihatan gabungan baju pintar dengan sensor serasi yang diperlukan untuk

a
ay
beroperasi dalam lingkungan 50mmHg-180mmHg. Sensor piezoelektrik MEMS

cantilever berdasarkan secara meluas dalam pengukuran darah kerana ia

al
M

memberikan sensitivitas yang lebih tinggi kepada tekanan, kepekaan tunas, struktur mudah

dan saiz mikro. Dalam projek penyelidikan ini, sensor berasaskan cantilever MEMS peka
s
ita

bentuk U direka bentuk dan ditunjukkan menggunakan perisian COMSOL

Multifisika. Keputusan yang diambil perusahaan simulasi adalah pesongan rasuk

rs

kantilever berbentuk U ketika tekanan diastolik 80mmHg digunakan secara normal. Di antara
ve

bahan piezoelektrik yang lain, Lead Zirconate Titanate sebagai lapisan penginderaan
ni

bentuk julur memberikan kepekaan yang lebih baik pada keadaan diastolik
U

(80mmHg) menunjukkan anjakan dan potensi elektrik 11.456 μ m dan 2.0523V iaitu

41.40% lebih tinggi di julur berbentuk segi empat. Untuk kesimpulan, sensor

berasaskan kantilever MEMS Piezoelektrik berjaya direka, disimulasikan dan disimulasikan

dioptimumkan. Parameter pengoptimuman juga telah dilakukan pada panjang cantilever

yang berbeza yang menunjukkan bahawa pesongan lebih penjang memberikan pesongan

pada keadaan diastolik dan meningkatkan kepekaan sensor kerana pengagihan seragam

iv
 stres di seluruh permukaan permukaan. Dengan menggunakan kantilever berbentuk julur

U saiz cantilever, berkurangan dan memberikan prestasi yang lebih baik berbanding

dengan kantilever berbentuk segi empat tepat.

a
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

v
 PENGAKUAN

Pertama, saya ingin menggunakan kesempatan ini untuk mengungkapkan rasa terima kasih yang sebesar-besarnya dan

salam untuk pembimbing saya, Profesor Madya Dr Norhayati Binti Soin atas bimbingannya

dan dorongan terus-menerus selama proyek penelitian ini berlangsung. Sarannya

karena proyek penelitian saya terbukti menjadi upaya penting menuju keberhasilan proyek saya.

Selanjutnya, saya sangat berhutang budi kepada orang tua saya atas dorongan terus menerus mereka dan

dukung. Sikap penuh kasih dan perhatian mereka telah menjadi kekuatan pendorong untuk upaya ini dan tidak

ucapan syukur saja sudah cukup.

a
ay
Terima kasih khusus kepada saudara dan saudari atas cinta dan dukungan tanpa syarat mereka.

Terima kasih, juga untuk semua teman, kerabat, dan kolega saya atas dukungannya.
al
M

Akhirnya, saya mengucapkan terima kasih yang khusus kepada fakultas teknik atas
s
ita

menyetujui proyek penelitian saya dan menyediakan sumber tak terbatas untuk saya.
rs
ve
ni
U

vi
 DAFTAR ISI

ABSTRAK aku aku aku

ABSTRAK iv

PENGAKUAN vi

DAFTAR ISI vii

DAFTAR GAMBAR ix

DAFTAR TABEL xii

DAFTAR SIMBOL DAN SINGKATAN BAB 1: xiii

PENGANTAR 1

1.1 Pendahuluan 1

1.2 Pernyataan Masalah 2

1.3 Tujuan 3

1.4 Ruang Lingkup Proyek 3

1.5 Organisasi Tesis 4

a
BAB 2: TINJAUAN LITERATUR 5
ay
2.1 Pendahuluan 5

2.2 Teknologi MEMS 5

al
2.3 Tekstil pintar 8
M

2.4 Sensor piezoelektrik: 15

2.5 Prinsip Transduksi piezoelektrik 17

s

2.6 Bahan piezoelektrik 19

ita

2.7 Struktur Sensor piezoelektrik: 20

2.8 Struktur Kantilever Bentuk U. 22

rs

2.9 Studi Sebelumnya tentang Tekstil Cerdas 23

ve

2.10 Ringkasan 26

BAGIAN 3: METODOLOGI 32
ni

3.1 Pendahuluan 32
U

3.2 Diagram Alir Studi 32

3.3 Parameter Struktur Sensor Piezoelektrik Mems 34

3.4 Parameter Kantilever Desain berbentuk U. 35

3.5 Pengembangan Kantilever Berbentuk U pada Software COMSOL Multiphysics 36

3.6 Pengaturan simulasi 42

3.7 Ringkasan 45

BAB 4: HASIL DAN DISKUSI 46

4.1 Pendahuluan 46

vii
 4.2 Analisis dan Diskusi Kantilever Berbentuk U untuk Bahan Piezoelektrik yang Berbeda
46

4.2.1 Kasus I: Timbal Zirkonat Titanate (PZT-5H) Kasus II: 46

4.2.2 Barium Titanate (BaTiO 3) 54

4.3 Analisis dan Diskusi Kantilever Berbentuk U piezoelektrik pada Panjang Berbeda
64

4.3.1 Kasus I: Kantilever Berbasis PZT-5H Kasus II: Barium Titanate (BaTiO 3) 64

4.3.2 Kantilever Berbasis 68

4.4 Diskusi 75

BAB 5: KESIMPULAN DAN SARAN 78

5.1 Kesimpulan 78

5.2 Rekomendasi 79

REFERENSI 80

a
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

viii
 DAFTAR GAMBAR

Gambar 2. 1 Skala dimensi MEMS (Nguyen et al., 2013) Gambar 2. 2 5

Skema desain komponen MEMS (Allen, 2007) 6
Gambar 2. 3 Komponen sistem tekstil pintar yang dapat dikenakan (Drd. Eng. Vlad Dragos DIACONESCU et
al., 2015) 10
Gambar 2. 4 Hubungan antara input / output sensor 11
Gambar 2. 5 (a) Motherboard anyaman yang dapat dikenakan (b) Detail kaos pintar (Agarwal & Agarwal, 2011)
13
Gambar 2. 6 Langkah konversi energi material piezoelektrik (Alaei, 2016) Gambar 2. 7 17
Gangguan muatan netral ("Dasar-dasar Teknologi Piezo,") Gambar 2. 8 Orientasi kutub pada 18
monokristalin dan polikristalin (Caliò, 2013) Gambar 2. 9 Proses polarisasi dan polarisasi 18
bertahan (Caliò, 2013) Gambar 2. 10 Struktur microcantilever umum (KNJ et al., 2013) 19
20

Gambar 3. 1 Diagram alir untuk desain sensor berbasis kantilever piezoelektrik untuk tekstil pintar
32
Gambar 3. 2 Diagram alir untuk mengembangkan kantilever berbentuk U pada COMSOL 33
Gambar 3. 3. Model 3D sensor kantilever piezoelektrik MEMS (KNJ et al., 2013)
34
Gambar 3. 4 Model 3-D sensor berbasis kantilever piezoelektrik MEMS berbentuk U Gambar 3. 5 Kantilever 37

a
berbentuk U dengan L = 290 µ m, W = 90 µ m dan T = 5,5 µ m Gambar 3. 6 Kantilever berbentuk U dengan L = 300 µ 37
m, W = 90 µ m dan T = 5,5 µ m Gambar 3. 7 Kantilever berbentuk U dengan L = 310 µ m, W = 90 µ m dan T = 5,5 µ m 38
ay
Gambar 3. 8 Kantilever berbentuk U dengan L = 320 µ m, W = 90 µ m dan T = 5,5 µ m Gambar 3. 9 Kantilever 38
berbentuk U dengan L = 330 µ m, W = 90 µ m dan T = 5,5 µ m Gambar 3. 10 Bahan piezoelektrik digunakan sebagai 39
al
lapisan penginderaan 39
40
M

Gambar 3. 11 Polysilicon digunakan sebagai lapisan struktural 41

Gambar 3. 12 SiO 2 digunakan sebagai lapisan antarmuka 41
s

Gambar 3. 13 Tekanan beban diterapkan di atas lapisan penginderaan Gambar 3. 43

43
ita

14 Menerapkan batasan tetap

Gambar 3. 15 Pemilihan bahan piezoelektrik Gambar 3. 44
16 Pemilihan bahan elastis linier 44
rs

Gambar 3. 17 Pemilihan meshing untuk sensor berbasis kantilever MEMS Piezoelektrik 45

ve

Gambar 4.2. 1 Tekanan Terapan 50mmHg Gambar 4.2. 2 47

Tekanan Terapan 60mmHg Gambar 4.2. 3 Tekanan Terapan 47
48
ni

70mmHg Gambar 4.2. 4 Tekanan Terapan 80 mmHg Gambar 4.2.

5 Tekanan Terapan 90 mmHg Gambar 4.2. 6 Tekanan Terapan 48
U

100mmHg Gambar 4.2. 7 Tekanan Terapan 110mmHg Gambar 48

4.2. 8 Tekanan Terapan 120mmHg Gambar 4.2. 9 Tekanan 48
Terapan 130mmHg Gambar 4.2. 10 Tekanan Terapan 140mmHg 48
Gambar 4.2. 11 Tekanan Terapan 150mmHg Gambar 4.2. 12 48
Tekanan Terapan 160mmHg Gambar 4.2. 13 Tekanan Terapan 49
170mmHg Gambar 4.2. 14 Tekanan Terapan 180mmHg Gambar 49
4.2. 15 Grafik Perpindahan vs Tekanan Gambar 4.2. 16 Tekanan 49
Terapan 50mmHg Gambar 4.2. 17 Tekanan Terapan 60mmHg 49
49
49
50
51
51

ix
 Gambar 4.2. 18 Tekanan Terapan 70mmHg Gambar 4.2. 51
19 Tekanan Terapan 80mmHg Gambar 4.2. 20 Tekanan 51
Terapan 90mmHg Gambar 4.2. 21 Tekanan Terapan 52
100mmHg Gambar 4.2. 22 Tekanan Terapan 110mmHg 52
Gambar 4.2. 23 Tekanan Terapan 120mmHg Gambar 52
4.2. 24 Tekanan Terapan 130mmHg Gambar 4.2. 25 52
Tekanan Terapan 140mmHg Gambar 4.2. 26 Tekanan 52
Terapan 150mmHg Gambar 4.2. 27 Tekanan Terapan 52
160mmHg Gambar 4.2. 28 Tekanan Terapan 170mmHg 53
Gambar 4.2. 29 Tekanan Terapan 180mmHg 53
53
53
Gambar 4.2. 30 Grafik Potensi Listrik vs Tekanan Gambar 4.2. 31 54
Tekanan Terapan 50mmHg 55
Gambar 4.2. 32 Tekanan Terapan 60mmHg Gambar 4.2. 55
33 Tekanan Terapan 70mmHg Gambar 4.2. 34 Tekanan 55
Terapan 80mmHg Gambar 4.2. 35 Tekanan Terapan 55
90mmHg Gambar 4.2. 36 Tekanan Terapan 100mmHg 56
Gambar 4.2. 37 Tekanan Terapan 110mmHg Gambar 56
4.2. 38 Tekanan Terapan 120mmHg Gambar 4.2. 39 56
Tekanan Terapan 130mmHg Gambar 4.2. 40 Tekanan 56

a
Terapan 140mmHg Gambar 4.2. 41 Tekanan Terapan 56
150mmHg Gambar 4.2. 42 Tekanan Terapan 160mmHg
ay 56
Gambar 4.2. 43 Tekanan Terapan 170mmHg Gambar 57
4.2. 44 Tekanan Terapan 180mmHg 57
al
57
57
M

Gambar 4.2. 45 Grafik Perpindahan vs Tekanan Gambar 4.2. 46 58

Tekanan Terapan 50mmHg Gambar 4.2. 47 Tekanan Terapan 59
s

60mmHg Gambar 4.2. 48 Tekanan Terapan 70mmHg Gambar 4.2. 59

49 Tekanan Terapan 80mmHg Gambar 4.2. 50 Tekanan Terapan 59
ita

90mmHg Gambar 4.2. 51 Tekanan Terapan 100mmHg Gambar 59

4.2. 52 Tekanan Terapan 110mmHg Gambar 4.2. 53 Tekanan 60
rs

Terapan 120mmHg Gambar 4.2. 54 Tekanan Terapan 130mmHg 60

Gambar 4.2. 55 Tekanan Terapan 140mmHg Gambar 4.2. 56 60
ve

Tekanan Terapan 150mmHg Gambar 4.2. 57 Tekanan Terapan 60

160mmHg Gambar 4.2. 58 Tekanan Terapan 170mmHg Gambar 60
4.2. 59 Tekanan Terapan 180mmHg 60
ni

61
61
U

61
61
Gambar 4.2. 60 Grafik Potensi Listrik vs Tekanan 62
Gambar 4.2. 61 Grafik Perpindahan kedua bahan piezo vs Tekanan Gambar 4.2. 62 Grafik 63
Potensi Listrik dari kedua bahan piezo vs Tekanan 64

Gambar 4.3. 1 Panjang Kantilever 290 µ m Gambar 65

4.3. 2 Panjang Kantilever 300 µ m Gambar 4.3. 3 65
Panjang Kantilever 310 µ m Gambar 4.3. 4 Panjang 65
Cantilever 320 µ m Gambar 4.3. 5 Panjang kantilever 65
330 µ m 65
Gambar 4.3. 6 Grafik Panjang Kantilever PZT-5H vs Perpindahan 66

x
 Gambar 4.3. 7 Panjang Cantilever 290 µ m Gambar 4.3. 67
8 Panjang Cantilever 300 µ m Gambar 4.3. 9 Panjang 67
Kantilever 310 µ m Gambar 4.3. 10 Panjang Cantilever 67
320 µ m Gambar 4.3. 11 Panjang Kantilever 330 µ m 67
67
Gambar 4.3. 12 Grafik Panjang Kantilever PZT-5H vs Potensi Listrik Gambar 4.3. 13 Panjang 68
Kantilever 290 µ m Gambar 4.3. 14 Panjang Cantilever 300 µ m Gambar 4.3. 15 Panjang Kantilever 69
310 µ m Gambar 4.3. 16 Panjang Cantilever 320 µ m Gambar 4.3. 17 Panjang Cantilever 320 µ m 69
69
69
69
Gambar 4.3. 18 Grafik Panjang BaTiO 3 kantilever vs Perpindahan Gambar 4.3. 19 70
Panjang Cantilever 290 µ m 71
Gambar 4.3. 20 Panjang Kantilever 300 µ m Gambar 71
4.3. 21 Panjang Kantilever 310 µ m Gambar 4.3. 22 71
Panjang Kantilever 320 µ m Gambar 4.3. 23 Panjang 71
Kantilever 330 µ m 71
Gambar 4.3. 24 Grafik Panjang BaTiO 3 Kantilever vs Potensi Listrik 72
Gambar 4.3. 25 Grafik Perpindahan kedua bahan piezo vs Panjang Cantilever
74

a
Gambar 4.3. 26 Grafik Potensi Listrik kedua bahan piezo vs Panjang Cantilever
74
ay
Gambar 4.4. 1 Perbandingan nilai perpindahan yang disimulasikan pada kondisi diastolik antara kantilever
al
berbentuk U dan kantilever persegi panjang 76
Gambar 4.4. 2 Perbandingan nilai potensial listrik simulasi pada kondisi diastolik antara kantilever berbentuk
M

U dan kantilever persegi panjang 76

Gambar 4.4. 3 Perbandingan simulasi nilai perpindahan pada panjang kantilever yang berbeda perbandingan antara
77
s

kantilever berbentuk U dan kantilever berbentuk persegi panjang

ita
rs
ve
ni
U

xi
 DAFTAR TABEL

Tabel 2. 1 Penerapan MEMS (Watch, 2002). Tabel 2. 2 Tahapan 7

tekanan darah (Association, 2015) 12
Tabel 2. 3 Sumber energi mekanik dalam kehidupan sehari-hari yang dapat dimanfaatkan untuk energi listrik
16
Tabel 2. 4 Pekerjaan sebelumnya tentang tekstil pintar, sensor dan aplikasi 26

Tabel 3. 1 Bahan yang digunakan dalam berbagai lapisan sensor tekstil pintar Tabel 3. 2 35
Parameter Sensor berdasarkan (KNJ et al., 2013) Tabel 3. 3 Panjang kantilever yang 35
berbeda 36
Tabel 3. 4 Bahan yang digunakan dalam U-Shaped Cantilever 40
Tabel 3. 5 Sifat bahan piezoelektrik 42

Tabel 4. 1 Parameter Kantilever berbentuk U. 46

Tabel 4. 2 Perbedaan Displacement Material Piezoelektrik dan Nilai Potensi Listrik pada Kondisi Diastolic
62
Tabel 4. 3 Nilai Perpindahan dan Potensi Listrik PZT-5H untuk panjang kantilever yang berbeda pada kondisi
diastolik 72
Tabel 4. 4 Nilai Perpindahan dan Potensi Listrik BaTiO 3 untuk panjang kantilever yang berbeda pada kondisi
diastolik 73

a
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

xii
 DAFTAR SIMBOL DAN SINGKATAN

MEMS : Sistem mikro-elektromekanis

IC : Sirkuit terpadu

MST : Teknologi sistem mikro

MM : Mesin mikro

MOEMS : Sistem Mikro-Opto-elektromekanis

MEMBAHAYAKAN : Mesin mikro rasio aspek tinggi

HBP : Tekanan darah tinggi

PZT : Timbal Zirkonat Titanate

BaTiO 3 : Barium Titanate

a
k : Konstan Musim Semi
ay
F : Kekuatan
al
X : Perpindahan
M

E : Modulus Young

L : Panjang kantilever
s
ita

mmHg : milimeter merkuri

rs

W : Lebar kantilever
ve

t : Ketebalan kantilever

SiO 2 : Silikon dioksida

ni
U

EKG : elektrokardiogram

VCO : Osilator yang dikendalikan tegangan

σ : Stres yang diterapkan

PVDF : Tepung Polyvinlidene

ZnO : Seng Oksida

S : Sensitivitas

xiii
 FSR : Resistor Penginderaan Paksa

MEMBELAI : Polyethylene terephthalate

FBG Sensor Grating Fiber Bragg

PAK : Resonansi magnetis

HR : Denyut Jantung

BP : Tekanan darah

Tekstil elektronik : Tekstil elektronik

a
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

xiv
 BAB 1: PENGANTAR

1.1 Pendahuluan

Di Malaysia di antara 3 penyakit teratas salah satunya hipertensi ini (Lauren, 2018). Itu

lebih umum disebut tekanan darah tinggi dan merupakan penyebab utama penyakit lain

seperti masalah jantung dan semacamnya. Baru-baru ini dilaporkan bahwa sekitar 3,5 juta orang Malaysia

tidak sadar bahwa mereka mengalami masalah seperti itu dan menderita hipertensi. Beberapa

sekitar 2,3 juta orang datang ke klinik untuk pengobatan sementara banyak lainnya

bahkan tidak menyadari bahwa mereka sedang mengalami masalah (Abdul-Razak et al., 2016).

Tekanan darah tinggi (atau HBP) juga dikenal sebagai "Silent Killer". Biasanya darah tinggi

Aliran darah disebabkan oleh tekanan darah, yang menyerang dinding pembuluh darah. Pengukuran

a
tekanan darah diperlukan untuk mengobati kondisi kritis seperti hipotensi dan
ay
hipertensi dan itu dapat menyebabkan serangan jantung, stroke, kegagalan dan pusing syok
al
diperlukan untuk mengukur tekanan darah (DevaPrasannam & JackulineMoni, April-2014).
M

Perangkat yang ada harganya mahal dan berisi lebih banyak komponen dan itu sulit

untuk menangani pemantauan rawat jalan dalam waktu lama dari gerakan jantung dan fungsinya.
s
ita

Sementara perawatan kesehatan merupakan salah satu sektor yang paling menarik untuk berkontribusi
rs

pertumbuhan pasar dan teknologi sensor MEMS baru dengan potensi tinggi. Dapat dikenakan,
ve

sensor sekali pakai dan portabel untuk perawatan kesehatan, serta aktivitas fisik juga terasa

dan untuk kesejahteraan pada umumnya digunakan untuk monitoring, misal nafas, tekanan darah, jantung
ni

menilai dan melakukan diagnosis penyakit tertentu (Bogue, 2014).

U

Ide tekstil cerdas telah diperkenalkan beberapa tahun yang lalu dan banyak digunakan di

90-an. Ada perkembangan luar biasa dari bahan pintar dan elektronik yang dibawa

potensi intrinsik di bidang teknologi tekstil untuk aplikasi teknologi tinggi tingkat lanjut,

meliputi segmen pasar yang jauh dari dunia tekstil konvensional. Terbaik

Contohnya adalah pertumbuhan kain baru yang cerdas dan penginderaan (Henock, 2011).

1
 Salah satu tekstil pintar adalah kemeja pintar yang juga diartikan sebagai “kemeja yang berpikir”, adalah kemeja

kabel dengan serat konduktif dan optik untuk mengumpulkan informasi dan fungsi biomedis

seperti komputer. Sensor dapat diintegrasikan dengan teknologi interkoneksi yang dikembangkan dan

sensor digunakan untuk memantau nyanyian vital: laju pernapasan, detak jantung, elektrokardiogram

(EKG), suhu dan oksimetri nadi, antara lain. Salah satu aplikasi terbanyak

di tekstil pintar adalah telemedicine, berbagai jenis sensor medis, langsung dimasukkan

tekstil pintar telah dibuat dan digunakan oleh ilmuwan. Sensor seperti tekanan darah,

elektroda respirasi, oksimeter denyut, respon kulit galvanik hanyalah beberapa contoh

yang biomedis (Agarwal & Agarwal, 2011).

Baju pintar memiliki berbagai sensor berbasis piezoelektrik, kapasitif, piezo resistif

struktur kantilever berbasis elemen penginderaan dan dengan bantuan fabrikasi sablon

a
ay
Metode struktur berdiri bebas ini dibuat di atas substrat (Wei et al., 2012a). Tergantung pada

aplikasi setiap elemen memiliki kelebihan dan kekurangannya masing-masing.

al

1.2 Pernyataan Masalah

M

Sebagian besar penelitian dan sensor yang digunakan dalam smart tekstil berbeda-beda
s

aplikasi seperti detektor gerak dalam kondisi kritis keselamatan, suhu tubuh, darah
ita

tekanan, pemantauan gerakan tubuh, suhu dan elektrokardiogram, Pengendalian

rs

kehilangan air selama olahraga atau aplikasi perawatan kesehatan seperti deteksi inkontinensia dengan
ve

elemen penginderaan yang berbeda. Seperti sensor kapasitif, sensor kelembaban, resistif piezo
ni

sensor dengan struktur kantilever persegi panjang untuk aplikasi yang berbeda. Dalam kapasitif
U

struktur kantilever untuk memantau ketidaksadaran dalam kondisi kritis keselamatan dan mereka temukan

keluar karena kapasitansi parasit dimasukkan ke sirkuit menyebabkan sejumlah kecil kebisingan

dalam output struktur kantilever kapasitif (Wei et al., 2012b). Serta piezoelektrik

sensor juga dengan struktur persegi panjang untuk memantau parameter fisiologis (KNJ et

al., 2013). Persegi panjang memiliki mode frekuensi Eigen yang lebih tinggi jika dibandingkan

dengan struktur kantilever lain tetapi lebih sedikit perpindahan dalam kondisi beban menggambarkan lebih sedikit

2
 sensitivitas (Siddaiah et al., 2017). Untuk meningkatkan kepekaan sekaligus mengurangi ukuran

sensor sensor akan dirancang dalam struktur kantilever berbentuk U. Kantilever berbentuk U.

perpindahan struktur lebih pada kondisi beban menggambarkan sensitivitas yang lebih tinggi

(Siddaiah et al., 2017). Kantilever bentuk-U memungkinkan dimensi kantilever menjadi

meminimalkan, terutama lebarnya, kantilever dengan bentuk U akan bertindak sebagai dua identik

kantilever terpisah sesuai dengan kedua kakinya. Kantilever berbentuk U akan berkurang

ukuran sensor dan meningkatkan sensitivitas sensor.

1.3 Tujuan

Tujuan utama dari proyek penelitian ini adalah:

1. Merancang darah kantilever piezoelektrik berbentuk U MEMS

sensor tekanan untuk tekstil pintar dan membandingkan piezoelektrik yang berbeda

a
ay
sensitivitas material untuk sensor. Untuk mencapainya, perpindahan 'X' lebih banyak

dari 7.5263 µ m dan potensial listrik lebih tinggi dari 0.7664V.

al

2. Untuk mendapatkan parameter struktur bentuk MEMS U yang optimal

M

piezoelectric cantilever based sensor dalam pengukuran tekanan darah.

s
ita

1.4 Ruang Lingkup Proyek

Lingkup proyek ini akan mencakup desain piezoelektrik berbentuk U.

rs

sensor berbasis kantilever untuk aplikasi tekstil pintar dengan panjang 'L' dan
ve

Material piezoelektrik hingga spesifikasi yang disebutkan pada bagian 1.3 (1) tercapai.
ni

Struktur kantilever piezoelektrik dirancang berdasarkan (KNJ et al.,

U

2013). Sensor terdiri dari lapisan penginderaan, lapisan struktural dan lapisan antarmuka dengan

berbagai bahan. Lapisan penginderaan sensor terbuat dari bahan piezoelektrik dengan U-

desain berbentuk. Sedangkan lapisan struktural terbuat dari bahan Polysilicon. Terakhir, antarmuka

lapisan terbuat dari SiO 2.

Proyek ini akan dilakukan dengan menggunakan perangkat lunak COMSOL Multiphysics untuk mendesain

sensor kantilever piezoelektrik untuk tekstil pintar. Sensitivitas dan linearitas sensor

3
 akan dianalisis saat tekanan diterapkan. Biasanya tekanan darah manusia bervariasi

antara tekanan darah sistolik dan diastolik. Tekanan yang diterapkan akan berada dalam kisaran

50-180mmHg berdasarkan tekanan darah manusia.

1.5 Organisasi Tesis

Laporan ini terdiri dari 5 bab dan dimulai dengan bab 1 dengan pendahuluan

untuk proyek ini dan pernyataan masalah yang menjadi perhatian. Sedangkan bab 2 lebih fokus pada

tinjauan pustaka terkait dengan teknologi MEMS, tekstil pintar, sensor piezoelektrik,

bahan dan struktur sensor piezoelektrik. Bab 3 akan memiliki diagram alir proyek,

derivasi matematika dan metodologi proyek. Sementara bab 4 akan

membahas hasil yang diperoleh dari simulasi menggunakan software COMSOL Multiphysics.

Terakhir, bab 5 berisi pembahasan tentang bab keseluruhan, kesimpulan dan

a
rekomendasi untuk pekerjaan masa depan.
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

4
 BAB 2: TINJAUAN LITERATUR

2.1 Pendahuluan

Bab ini terdiri dari tinjauan pustaka berbasis teknologi Mems, tekstil pintar.

Sensor piezoelektrik, bahan piezoelektrik, struktur sensor piezoelektrik. Selain daripada

bahwa, perancangan sensor piezoelektrik saat ini dalam pekerjaan penelitian yang berkaitan dengan proyek ini dan

bahan piezoelektrik yang cocok untuk pengukuran tekanan darah akan dibahas.

2.2 Teknologi MEMS

Mikro Elektro-Mekanis Sistem (https: //www.mems

exchange.org/MEMS/what-is.html) adalah teknologi proses yang menggabungkan listrik dan

komponen mekanis untuk membuat perangkat atau sistem terintegrasi kecil. Sirkuit terpadu

(IC) teknik pemrosesan batch digunakan untuk membuat perangkat ini dan memiliki ukuran fitur

a
ay
mulai dari beberapa mikrometer hingga milimeter (Allen, 2007). Kemampuan sistem ini

(atau perangkat) itu dapat merasakan, mengontrol dan menggerakkan pada skala mikro, dan menghasilkan efek pada
al
M

skala makro dengan berfungsi secara individual atau dalam array (Karumuri et al., 2012).

Skala untuk berbagai dimensi ditunjukkan pada Gambar 2.1.

s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 2. 1 Dimensi skala MEMS (Nguyen et al., 2013)

Istilah MEMS berasal dari Amerika Serikat, MEMS juga disebut sebagai

microsystems technology (MST) di Eropa dan Micromachines (MM) di Jepang. MEMS

dengan optik disebut Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems (MOEMS). Terlepas dari

terminologi, faktor penyatuan perangkat MEMS dalam cara pembuatannya. Selagi

5
 perangkat elektronik yang dibuat menggunakan teknologi IC, manipulasi silikon dan lainnya

substrat dengan proses mikromachining untuk membuat komponen mikromekanis.

Proses seperti mesin mikro permukaan dan massal, serta rasio aspek tinggi

micromachining secara selektif menghilangkan bagian silikon atau lapisan tambahan untuk membentuk

komponen elektromekanis dan mekanik (Bedekar & Tantawi, 2017). MEMS ambil

manfaat dari sifat mekanik silikon atau keduanya secara mekanis dan elektrik

properti (van Heeren & Salomon, 2007).

Saat ini, ragam perangkat berbasis EMS sangat luas mulai dari struktur yang sederhana

tanpa bagian yang bergerak, ke perangkat (atau sistem) elektromekanis kompleks dengan banyak komponen

bagian bergerak di bawah kendali mikroelektronika terintegrasi. Di MEMS utama

kriteria penting adalah harus memiliki beberapa elemen yang memiliki fungsi mekanis baik itu

a
ay
dapat dipindahkan atau tidak dapat dipindahkan (Ciuti et al., 2015).
al
Sedangkan elemen fungsional MEMS adalah sensor mikro, mikroelektronika,
M

mikrostruktur mekanis dan aktuator mikro, semuanya terintegrasi ke dalam chip silikon yang sama.

Ini ditunjukkan secara skematis pada Gambar 2.2.

s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 2. 2 Skema desain komponen MEMS (Allen, 2007)

Paling menarik atau bisa dikatakan paling menonjol dalam MEMS adalah mikro

sensor dan aktuator mikro dan diklasifikasikan sebagai "transduser", yang didefinisikan sebagai sistem

(atau perangkat) yang mengubah satu bentuk energi ke bentuk lainnya. Sensor mikro biasanya ditentukan

6
 sebagai perangkat yang mengubah sinyal mekanis terukur menjadi sinyal listrik.

Sejumlah besar sensor mikro yang digunakan untuk mengukur gaya inersia, spesies kimia,

medan magnet, tekanan, suhu, biosensor, radiasi dll telah dihasilkan oleh

Pengembang dan peneliti MEMS dalam beberapa dekade terakhir. Hebatnya, banyak di antaranya

sensor miniatur telah menunjukkan kemampuan terbesar melebihi skala makroskopiknya

kategori (Nagod & Halse, 2017). MEMS dengan teknik fabrikasi batch memungkinkan

perangkat dan komponen yang akan diproduksi dengan peningkatan keandalan, kinerja, dan

peningkatan fleksibilitas desain sistem dikombinasikan dengan keuntungan yang jelas berkurang

volume, biaya, berat dan ukuran fisik. Padahal belakangan ini sensor-sensor berbasis silikon sudah

mengatasi pasar dan ini membuat sensor MEMS terus berkembang pesat

(https://www.mems-exchange.org/MEMS/what-is.html).

a
Tabel 2. 1 Penerapan MEMS (Watch, 2002).
ay
Pertahanan Medis Otomotif Komunikasi Elektronik
al

Persenjataan Pengantar obat Sensor kantong udara Filter, sakelar Inkjet

M

sistem sistem dan dan Relai RF pencetak

otot kepala

stimulator
s

Pesawat terbang Prostetik Uap air Gempa terkontrol tegangan

ita

kontrol tekanan dan osilator VCO sensor

tingkat bahan bakar ()
rs

tekanan
sensor
ve

Tersemat Alat pacu jantung Navigasi Laser merdu Massa

sensor sensor penyimpanan

ni

sistem
U

Data Miniatur "Cerdas" Skrup dan Proyeksi

penyimpanan analitis ban pemisah layar
instrumen televisi
Amunisi Ditanamkan Sensor untuk udara Serat optik Drive disk
bimbingan sensor tekanan pengkondisian jaringan kepala

kompresor komponen
Pengawasan Tekanan darah Penangguhan Tampilan proyeksi Avionik
sensor kontrol dalam instrumentasi tekanan
akselerometer dan portabel sensor
dan rem komunikasi
sensor gaya perangkat

7
 Saat ini, MEMS dalam volume tinggi dapat ditemukan di berbagai aplikasi

berbagai pasar Tabel 2.1.

Sementara perawatan kesehatan merupakan salah satu sektor yang paling menarik untuk berkontribusi

pertumbuhan pasar dan teknologi sensor MEMS baru dengan potensi tinggi. Dapat dikenakan,

sensor sekali pakai dan portabel untuk perawatan kesehatan, serta aktivitas fisik juga terasa

dan untuk kesejahteraan pada umumnya digunakan untuk monitoring, misal nafas, tekanan darah, jantung

menilai dan melakukan diagnosis penyakit tertentu; sistem juga termasuk merawat a

pasien yang sakit kronis dan populasi yang menua. Sensor digunakan untuk memantau

penyakit kronis, seperti obesitas, diabetes, hipertensi, gagal jantung, dan tidur

gangguan, adalah elemen utama untuk menjaga kualitas hidup tetap tinggi dan biaya perawatan kesehatan berkurang

(Bogue, 2014).

a
ay
Faktor kunci untuk proliferasi sensor dalam perawatan kesehatan medis adalah ketersediaan

teknologi sensor mikrosistem biaya rendah (misalnya MEMS), dalam banyak kasus, dengan rendah
al

mikrokontroler daya, modul telemetri berbiaya rendah dan efisien. Fitur ini diaktifkan
M

pengembangan solusi yang akurat, kuat, andal, kompak, dan berdaya rendah. Medis
s

perangkat berdasarkan MEMS terdiri dari berbagai sensor yang meliputi suhu,
ita

tekanan, gambar optik, akselerometer, aliran, dispenser mikro pengiriman obat, silikon
rs

mikrofon dan chip mikrofluida, sensor regangan, dan pemanenan energi (Ciuti et al.,
ve

2015).
ni

2.3 Tekstil pintar

U

Dulu tekstil hanya dianggap sebagai salah satu kebutuhan manusia, miliki

dikembangkan sebagai bidang inovatif yang hanya mampu memuaskan keinginan manusia terhadapnya

tingkat tertinggi. Tekstil yang hanya terfokus pada proses persiapan dianggap sebagai

"Tekstil generasi pertama" (Sharapov, 2011).

Setelah perubahan revolusi industri telah bergerak dengan sangat luar biasa

menilai di berbagai bidang teknologi dan sains. Mulai dari mesin uap hingga

8
 perkembangan komputer, mesin elektronik, perkembangan mesin modern di

sektor industri, internet, pembuatan material teknik canggih, komunikasi

ponsel dll.

Ide tekstil cerdas telah diperkenalkan beberapa tahun yang lalu dan banyak digunakan di

90-an. Ada perkembangan luar biasa dari bahan pintar dan elektronik yang dibawa

potensi intrinsik di bidang teknologi tekstil untuk aplikasi teknologi tinggi tingkat lanjut,

meliputi segmen pasar yang jauh dari dunia tekstil konvensional. Terbaik

Contohnya adalah pertumbuhan kain baru yang cerdas dan penginderaan (Henock, 2011).

Konsep dasar tekstil pintar terdiri dari bahan tekstil dan struktur yang indera

dan bereaksi terhadap rangsangan yang berbeda dari kondisi lingkungannya. Secara otomatis merasakan dan

bereaksi dengan tekstil dalam bentuk yang paling sederhana tanpa unit pengendali, dan dalam bentuk yang lebih kompleks

a
ay
bentuk, melalui unit pemrosesan fungsi tertentu dapat merasakan, bereaksi dan mengaktifkan

tekstil pintar. Mereka adalah sistem yang terdiri dari berbagai bahan dan peralatan seperti
al

perangkat elektronik, aktuator dan sensor bersama-sama (Berglin, 2013).

M

Ada empat fungsi dasar tekstil pintar (Syduzzaman et al., 2015).

s
ita

1. Sistem atau bahan yang hanya merasakan kondisi lingkungan atau rangsangan

juga dikenal sebagai sistem atau material pintar pasif. Mereka adalah sensor dan muncul
rs

apa yang terjadi pada mereka. Seperti perubahan bentuk, warna, thermal dan elektrik
ve

resistivitas. Jenis bahan tekstil ini kurang lebih mirip dengan high
ni

kinerja dan tekstil fungsional.

U

2. Bahan dan sistem yang menjalankan fungsi indera dan merespons rangsangan

atau kondisi eksternal yang dianggap sebagai bahan pintar aktif. Merasakan dan memberi

reaksi terhadap kondisi eksternal apakah ada fungsi sebelumnya. Ini menunjukkan mereka

baik aktuator maupun sensor terhadap kondisi lingkungan.

3. Sistem dan material yang dapat melakukan tiga fungsi yang disebut sangat cerdas

bahan. Pertama, mereka adalah sensor yang dapat menerima rangsangan dari lingkungan;

9
 Kedua berdasarkan rangsangan memberikan reaksi; Ketiga sesuai dengan

kondisi lingkungan mereka mampu beradaptasi dan membentuk kembali diri mereka sendiri.

4. Materi dengan kecerdasan tingkat tinggi mengembangkan komputer dengan buatan

intelijen. Dalam penyelidikan manusia saat ini, jenis bahan atau sistem ini

tidak sepenuhnya tercapai. Ini dapat dicapai dari koordinasi mereka

struktur dan bahan cerdas dengan antarmuka komputer canggih.

Komponen sistem tekstil pintar yang dapat dikenakan (Gambar 2.3) meliputi:

1. sensor

2. aktuator

3. unit pengolah data

4. sistem komunikasi

a
ay
5. pasokan energi
al
6. interkoneksi
M
s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 2. 3 Komponen sistem tekstil pintar yang dapat dikenakan (Drd. Eng.
Vlad Dragos DIACONESCU et al., 2015)

10
 Modul yang dapat dipasang eksternal penting tekstil cerdas atau cerdas adalah sensor.

Konsep dasar dari sensor adalah mengubah satu jenis sinyal menjadi bentuk lain

sinyal. Berbagai struktur atau bahan sensor yang memiliki kemampuan transformasi

sinyal. Misalnya sensor termal yang mendeteksi perubahan termal. Contoh lainnya adalah

sensor kelembaban yang mengukur kelembaban relatif atau absolut. Sensor regangan yang mengubah

regangkan ke sinyal listrik dan sensor tekanan yang mengubah tekanan menjadi listrik

sinyal. Seri sensor yang mendeteksi konsentrasi dan keberadaan bahan kimia disebut

sensor kimia (Berglin, 2013).

a
ay
al
M
s
ita
rs
ve

Gambar 2. 4 Hubungan antara input / output sensor

ni
U

Industri perawatan kesehatan muncul di area eksplorasi baru secara cerdas atau cerdas

tekstil. Tekstil yang dapat dikenakan yang menggabungkan sensor ini bertujuan untuk menjaga kondisi kesehatan

di cek. Tekstil pintar berfokus pada penggunaan biotelemetri. Monitor proses ini

parameter fisiologis dengan cara pemisahan. Pemantauan kesehatan merupakan perhatian umum

untuk pasien yang membutuhkan perawatan dan bantuan medis berkelanjutan. Mobilitas pasien

telah ditingkatkan dengan pengembangan sistem yang dapat dikenakan untuk pemantauan

11
 parameter fisiologis seperti detak jantung, pernapasan, aktivitas otot, tekanan darah

dan suhu tubuh (KNJ et al., 2013). Terutama tekanan darah perlu dilakukan

mengukur yang mengobati kondisi kritis seperti hipotensi dan hipertensi dan dapat menyebabkannya

gagal jantung dan serangan, stroke, pusing dan syok. Aliran darah yang biasanya tinggi

menyerang dinding pembuluh darah menyebabkan tekanan darah (DevaPrasannam & JackulineMoni,

April-2014). Biasanya darah manusia bervariasi antara sistolik dan diastolik seperti yang ditunjukkan pada

Tabel 2.2.

Tabel 2. 2 Tahapan tekanan darah (Association, 2015)

Kategori tekanan darah Diastolik (mmHg) Sistolik (mmHg)

Normal Kurang dari 80 Kurang dari 120

Tinggi Kurang dari 80 120 - 129

a
Tekanan darah tinggi 80 - 89 130 - 139
ay
Hipertensi (tahap 1)

Tekanan darah tinggi 90 atau lebih tinggi 140 atau lebih tinggi
al

Hipertensi (tahap 2)
M

Krisis Hipertensi Lebih tinggi dari 120 Lebih tinggi dari 180

(mencari perawatan darurat)

s
ita

Untuk memonitor parameter fisiologis beberapa sensor penting digunakan dalam smart
rs

tekstil seperti akselerometer, sensor piezo-listrik, sensor suhu dan cahaya, fleksibel
ve

dan sensor tekanan, dan biosensor ditempatkan di pakaian. Data dikumpulkan oleh
ni

sensor ini, yang kemudian dikirim ke, dengan kabel atau nirkabel, komputer, atau PDA di mana
U

data disimpan (Paradiso et al., 2018). Sensor ini dapat dengan mudah dipasang ke

kemeja pintar. Kemeja pintar telah mengikuti aplikasi komersial (Agarwal & Agarwal,

2011).

1. Menjaga gaya hidup sehat

2. Pemantauan rumah secara terus menerus

3. Pemantauan tanda vital bayi

12
 4. Pemantauan studi tidur

5. Pemantauan tanda vital bagi pasien sakit jiwa

6. Solusi perawatan untuk pertempuran medan perang

7. Perlindungan petugas keamanan publik

Kemeja pintar juga diartikan sebagai “kemeja yang berpikir”, adalah kemeja berkabel dengan konduktif dan

serat optik untuk mengumpulkan informasi biomedis dan berfungsi seperti komputer (Agarwal

& Agarwal, 2011). Sistem yang dapat dikenakan harus merasakan, mengenali, dan mengklasifikasikan

informasi seperti interaksi fisik dengan lingkungan, aktivitas, gerak tubuh dan postur tubuh

dan untuk menggabungkannya dengan parameter fisiologis, seperti sinyal pernapasan, kulit galvanik

impedansi, variabilitas detak jantung, elektrokardiogram, dll. Platform penginderaan ini bisa

memberikan laporan lengkap tentang subjek dalam hal keadaan fisiologis dan aktivitas fisik

a
ay
melalui analisis multivariabel (Paradiso et al., 2017). Detail kemeja pintar
al
arsitektur diilustrasikan pada Gambar 2.5.
M
s
ita
rs
ve
ni
U

(Sebuah) (b)
Gambar 2. 5 (a) Motherboard anyaman yang dapat dikenakan (b) Detail kaos smart (Agarwal &
Agarwal, 2011)

Ada berbagai sensor aplikasi yang digunakan dalam sistem e-tekstil medis. Beberapa penting

Sensor yang digunakan adalah magnetometer, akselerometer, suhu, lentur dan sensor tekanan, dan

mikrofon untuk beberapa aplikasi seperti beam foaming, motion capturing (Agarwal &

Agarwal, 2011).

13
 Salah satu aplikasi paling banyak dalam tekstil pintar adalah telemedicine, berbagai jenis

sensor medis, hak untuk memasukkan tekstil pintar telah dibuat dan digunakan oleh ilmuwan.

Sensor seperti tekanan darah, elektroda pernapasan, oksimeter denyut, respons kulit galvanik

hanyalah beberapa contoh dari biomedis (Agarwal & Agarwal, 2011).

Baju pintar memiliki berbagai sensor berbasis piezoelektrik, kapasitif, piezo resistif

struktur kantilever berbasis elemen penginderaan dan dengan bantuan fabrikasi sablon

Metode struktur berdiri bebas ini dibuat di atas substrat (Wei et al., 2012a). Tergantung pada

aplikasi setiap elemen memiliki kelebihan dan kekurangannya masing-masing. Misalnya (Wei

et al., 2012b) merancang sensor berbasis kantilever kapasitif untuk memantau ketidaksadaran

kondisi kritis keselamatan dan mereka mengetahuinya karena kapasitansi parasit diperkenalkan

ke sirkuit menyebabkan sejumlah kecil kebisingan dalam output struktur kantilever kapasitif.

a
ay
Sedangkan (Kutzner et al., 2013) mendesain sensor kelembaban dimana elektroda berada

dirancang sebagai sepasang kesejajaran paralel atau interdigital. yang cocok untuk aplikasi
al

untuk mengontrol kehilangan air selama perawatan kesehatan atau aplikasi olahraga seperti inkontinensia
M

deteksi.
s

Sedangkan (Giovanelli & Farella, 2016) membangun resistor penginderaan gaya (FSR) untuk
ita

aplikasi yang dapat dikenakan berdasarkan bahan resistif (Velostat) dan tinta konduktif tercetak
rs

elektroda pada substrat polyethylene terephthalate (PET). Periksa respons sensor terhadap
ve

kisaran tekanan 0-2.7Kpa dan struktur sensor adalah struktur interdigital titik tunggal
ni

dengan dimensi titik tunggal (15 × 30mm). Salah satu masalah utama yang ditemukan pada sensor gaya adalah
U

pengulangan dan dapat ditemukan kesalahan ± 50%.

Di antara semua ini, berdasarkan elemen penginderaan piezoelektrik, sensor yang sesuai adalah

desain untuk industri perawatan kesehatan untuk memantau tanda-tanda kesehatan vital dengan mengamati berbagai

parameter fisiologis (misalnya kecepatan pernapasan, suhu tubuh, tekanan darah dan

detak jantung) dan mereka menemukan respons linier yang baik (Wei et al., 2012a).

14
 2.4 Sensor piezoelektrik:

Cara paling menonjol untuk menghasilkan listrik dari lingkungan adalah

pemanenan energi berbasis gerakan (getaran) (Alaei, 2016). Karena menghasilkan file

getaran atau menggunakan getaran alami hampir mudah dicapai. Ada tiga cara untuk melakukannya

mengubah energi getaran menjadi listrik secara elektrostatis, elektromagnetik dan

transduksi piezoelektrik. Dibandingkan dengan dua mekanisme transduksi lainnya yang paling banyak

teknik yang efektif adalah transduksi piezoelektrik karena material piezoelektrik menawarkan

kepadatan daya yang lebih tinggi dan kemudahan aplikasi (Nia et al., 2017). Juga, mereka lebih dari itu

disarankan dan masuk akal untuk implementasi MEMS. Keuntungannya dalam memanen energi

penggunaan bahan piezoelektrik adalah kemudahan aplikasi, tidak ada persyaratan tegangan input,

kepadatan daya tinggi dan teknik fabrikasi yang relatif matang di mikro dan makro-

a
timbangan (Sarma, 2018), (Tian et al., 2018). Ada dua mode kopling piezoelektrik,
ay
artinya cara energi listrik dan energi mekanik terkait. Mode ini
al

disebut mode -31 dan -33, seperti yang ditunjukkan pada gambar. Gaya diterapkan tegak lurus terhadap
M

arah kutub molekul dan tegangan resultan dalam mode -31. Saat dalam mode -33
s

gaya dalam arah yang sama dengan kutub molekul dan tegangan (Anton & Sodano, 2007).
ita

Antara mode dua kopling ini perlu dilakukan perbandingan untuk menentukan material yang mana
rs

paling baik untuk aplikasi pemanenan energi (Anton & Sodano, 2007). Tawaran mode -31
ve

sifat piezoelektrik yang lebih rendah, gaya masukan yang lebih kecil pada pembebanan -31 menyebabkan regangan lebih besar, dalam
ni

situasi gaya rendah menghasilkan lebih banyak tenaga (Rödig et al., 2010). Meskipun menawarkan mode -33
U

sifat piezoelektrik yang lebih baik, tetapi karena kekakuan mekanik yang tinggi membuat kesulitan dalam

meregangkan material dalam kompresi (Anton & Sodano, 2007).

Dalam banyak aplikasi konversi energi bahan piezoelektrik memanfaatkan masalah

mode kopling ini. Mereka paling banyak digunakan dalam sensor, transduser, dan aktuator. Di

kasus transduser dan sensor, tegangan atau gerakan mekanis diubah menjadi listrik

sinyal (Rödig et al., 2010). Karena sifat piezoelektrik berada pada tingkat atom. Perangkat

15
 berdasarkan pemanenan energi dapat dibuat cukup kecil untuk menggantikan baterai. Bahkan di daerah

yang tidak pernah terpikir mungkin, seperti tubuh manusia (Wang, 2011). Tabel 2.3 memberikan beberapa

sumber energi mekanik dimana piezoelektrik dapat diterapkan. Pemanenan energi

bahan piezoelektrik yang digunakan di area ini dapat berupa robot, sensor daya, laptop, dan

elektronik pribadi, mengganti kebutuhan baterai, dan dengan demikian menghilangkan dan mengurangi

pemeliharaan.

Tabel 2. 3 Sumber energi mekanik dalam kehidupan sehari-hari yang dapat dipanen untuk
energi listrik

Manusia Industri Transportasi Infrastruktur Lingkungan Hidup

tubuh / gerak
Darah Motor, Jalan, jembatan, Ban, peddles, Sayap, akustik
aliran / tekanan, kompresor, air / gas mobil, gelombang, samudra

Pernafasan, pompa, pipa, AC pesawat, rem, arus / gelombang…

a
Gerakan lengan, getaran, sistem… melatih…

Gerakan jari, kebisingan dicing

ay
Jogging, dan memotong ...

Penghembusan…
al
M

Umumnya, tiga langkah utama dilibatkan selama bekerja dengan bahan piezoelektrik
s

adalah (Alaei, 2016).

ita

1. Menjebak tegangan mekanis dari sumber ambien.

rs

2. Mengubah tegangan mekanik menjadi energi listrik.

ve

3. Menyimpan dan memproses daya yang dihasilkan untuk digunakan nanti.

ni

Oleh karena itu, langkah-langkah berikut harus dipertimbangkan dalam pemodelan piezoelektrik
U

pemanen. Untuk meramalkan fungsinya, pendekatan penting adalah pemodelan. Namun, bahkan

meskipun kepadatan daya bahan piezoelektrik lebih besar dari bahan lainnya, tetap saja

daya dihasilkan dalam skala mikro. Jadi, penggunaan bahan semacam itu di perangkat bertenaga sendiri

daya keluaran mereka harus ditingkatkan. Daya keluaran harus ditingkatkan dengan cara yang berbeda.

Menggunakan konfigurasi mekanis piezoelektrik yang berbeda, material piezoelektrik dan

sirkuit listrik akan meningkatkan daya dan memungkinkan kita untuk nirkabel dan mandiri yang lebih baik

16
 sistem bertenaga. Tiga langkah utama dalam konversi energi bahan piezoelektrik sebagai

ditunjukkan pada Gambar 2.6.

Gambar 2. 6 Langkah konversi energi material piezoelektrik (Alaei, 2016)

Efek piezoelektrik pertama berbasis aplikasi praktis pada tahun 1917 ketika Perancis

fisikawan dan matematikawan, Paul Langevin, menyarankan untuk mendeteksi objek bawah air

a
ay
dengan menggunakan perangkat mulai gema ultrasonik. Setelah tahun 1945 lingkup transduser piezoelektrik
al
diperpanjang dengan cepat. Berbagai bidang baru seperti terapi medis ultrasonik dan
M

diagnostik, garis penundaan ultrasonik, pengukur level, dan sistem untuk kontrol industri

sifat zat kimia dan fisik serta perangkat lain dengan berbagai aplikasi
s
ita

ditemukan untuk transduser piezoelektrik. Dalam bahasa teknis juga ada konsepnya

“Sensor” yang setara dengan konsep “transduser primer” (Sharapov, 2011).

rs

2.5 Prinsip Transduksi piezoelektrik

ve

Teori umum piezoelektrik adalah kopling mekanik dan listrik

ni

energi di kelas khusus kristal dan keramik. Ketika tegangan mekanis dihasilkan dari
U

stres yang dihadapi oleh bahan piezoelektrik, tegangan ini diubah menjadi tegangan atau arus listrik.

Efek dasarnya berkaitan erat dengan momen dipol listrik pada benda padat yang menunjukkan a

pemisahan muatan lokal. Berdasarkan struktur fundamental kisi kristal mekanisme ini

terjadi ketika polarisasi yang diinduksi dan medan listrik diproduksi melintasi

kristal piezoelektrik karena tekanan mekanis. Bahan piezoelektrik terdiri dari

keseimbangan muatan di mana muatan positif dan negatif dipisahkan, tetapi muatan keseluruhan adalah

17
 netral secara elektrik karena terganggu secara simetris. Ketika kekuatan eksternal, seperti kita,

tekanan fisik atau tekanan mekanis diterapkan, ini mengganggu keseimbangan muatan dan

deformasi pada struktur internal (Abdal & Leong, 2017).

Gambar 2. 7 Gangguan muatan netral ("Dasar-dasar Teknologi Piezo,")

a
ay
Oleh karena itu, tuntutan dipisahkan dan netralitas terganggu, menghasilkan a
al

kepadatan muatan permukaan, yang dapat dikumpulkan melalui elektroda (Minazara et al., 2008).
M

Piezoelektrik bergantung pada simetri kristal, orientasi kerapatan dipol,

s

dan tekanan mekanis yang diterapkan. Dalam kristal-mono, semua sumbu kutub dipol disejajarkan menjadi satu
ita

jalan. Bahkan kristal yang dipotong-potong menunjukkan simetri. Padahal, ada

rs

daerah berbeda dalam material dalam polikristalin yang memiliki sumbu kutub berbeda dan
ve

dalam kristal tidak ada polarisasi bersih. Perbedaan ini ditunjukkan pada gambar 2.8 dan 2.9
ni
U

Gambar 2. 8 Orientasi kutub pada monokristalin dan polikristalin (Caliò, 2013)

18
 Gambar 2. 9 Proses polarisasi dan polarisasi bertahan (Caliò, 2013)

Efek piezoelektrik dapat dicapai dalam polikristalin, sampel dipanaskan hingga

curie point untuk partikel bergerak bebas. Medan listrik yang kuat diterapkan selama panas menyala

sampel untuk mendorong semua dipol di kerak bumi agar berbaris dalam satu jalur. Saat dihapus

medan listrik, kebanyakan dipol terkunci ke dalam konfigurasi serupa dan mencapai permanen

polarisasi bersih.

a
ay
2.6 Bahan piezoelektrik
al

Seperti yang telah dibahas sebelumnya di bawah bahan piezoelektrik deformasi mekanis
M

menghasilkan listrik. Ada lebih dari 200 bahan piezoelektrik yang dibuat dengan kombinasi
s

bahan yang berbeda. Karena konstanta piezoelektriknya yang berbeda, generator

ita

tegangan yang berbeda. Oleh karena itu, sangat penting untuk memilih bahan yang sesuai. Sana
rs

adalah tiga kelompok bahan piezoelektrik yang berbeda: polimer piezoelektrik, piezoelektrik
ve

kristal tunggal dan keramik piezoelektrik (Porcelli & Victo Filho, 2018).
ni

Bahan piezoelektrik yang paling terkenal adalah di bidang keramik piezoelektrik

U

pemanenan energi dan piezoelektrik. Penggabungan lebih mudah, biaya rendah dan pertunjukan

sifat piezoelektrik yang lebih baik terkait dengan bahan piezoelektrik lainnya telah dibuat

mereka adalah pilihan yang baik dalam perangkat penghasil energi. Keramik piezoelektrik pertama adalah

Barium Titanate (BaTiO3) yang ditemukan di laboratorium; tetapi Lead Zirconate Titanate

juga dikenal sebagai keramik PZT menjadi bahan yang paling umum dan populer untuk penginderaan,

transduksi dan aktuasi getaran, logam pintar, kebisingan dan kontrol aktif kesehatan

(Benjeddou, 2018).

19
 Keramik piezoelektrik dipilih berdasarkan karakteristik mekanik

energi diterapkan pada mereka. Keramik piezo memiliki keunggulan berikut tetapi satu keunggulan utama

adalah integrasi yang mudah ke lembaran nyaring dapat dengan mudah ditanam pada struktur kantilever,

karena ini salah satu struktur mekanik yang paling banyak digunakan dalam berbagai aplikasi (Alaei,

2016).

2.7 Struktur Sensor piezoelektrik:

Struktur yang sangat sederhana dari sensor piezoelektrik adalah struktur kantilever dan

Prinsip utama kantilever adalah sensor merespon secara mekanis ketika ada perubahan

dalam parameter eksternal seperti suhu, tekanan, dan adsorpsi molekul. Karena itu

desain sederhana dan struktur kantilever sensitivitas merdu menunjukkan kompetensi yang unggul

dibandingkan dengan penginderaan lain (KNJ et al., 2013). Selama beberapa dekade terakhir, sensor kantilever memiliki

a
peran vital karena throughputnya, deteksi elemen target, dan sensitivitas tinggi.
ay
Struktur kantilever beroperasi di berbagai perangkat karena dapat bekerja di keduanya d 31 dan d 33
al

mode. Kantilever adalah batang persegi panjang yang dipasang di satu ujung dan ujung lainnya bebas bergerak
M

saat mengalami stres atau tekanan. Saat massa diserap atau diendapkan
s

permukaan kantilever menunjukkan beberapa defleksi (Serene et al., 2018).

ita
rs
ve
ni
U

Gambar 2. 10 Struktur mikrokantilever umum (KNJ et al., 2013)

20
 Struktur sensor yang digunakan untuk memantau tekanan darah manusia adalah kantilever

struktur karena memiliki konstanta gaya rendah untuk mengukur tekanan atau tegangan dengan ditingkatkan

sensitivitas (Ghosh et al., 2013).

Ketika ujung bebas kantilever mengalami gaya (F) kemudian defleksi pada ujung bebas X

adalah:

FL3
X=
3 EI (2.1)

Dimana, L = panjang kantilever; µ m

F = gaya yang diterapkan: N

1
I = momen Inersia = wt 3; m 4
12

E = modulus elastisitas kristal; N / m 2

Dimana, t = ketebalan kantilever; µ m

a
ay
w = lebar kantilever; µ m
al
Begitu,

FL3 1 = FL 3
M

X= E wt 3 = 4 FL 3 (2.2)
3 E 1 wt 3 E wt 3
12 4
s
ita

Oleh karena itu, defleksi kantilever di ujung bebas,

rs

X∝F (2.3)
ve

F
Karena, kekakuan kantilever atau konstanta sprint K =; N / m
X
ni

Kemudian sensitivitas kantilever,

U

S∝ l3
wt 3 (2.4)

Oleh karena itu, sensitivitas struktur kantilever ditingkatkan dengan mengurangi ketebalan dan

lebar kantilever dan panjang kantilever (Panwar et al., 2017).

21
 2.8 Struktur Kantilever Bentuk U.

Perangkat berbasis MEMS yang paling sederhana adalah microcantilever. Aplikasinya beragam

dari kantilever di area sensor telah dieksplorasi oleh banyak peneliti. Berbagai kelompok

juga telah menunjukkan kemungkinan menggunakan berbagai bentuk microcantilever untuk

pemantauan parameter fisiologis (Vashist, 2007). Jadi, untuk meningkatkan

kinerja sistem, telah diusulkan oleh banyak kelompok (Arregui, 2009) untuk digunakan

struktur kantilever bentuk U di mana piezoelektrik menggunakan seluruh permukaan

penopang. Kantilever bentuk-U memungkinkan dimensi kantilever diminimalkan, khususnya

lebarnya. Jika L >> W, di mana l adalah panjang kantilever dan w adalah lebar setiap kaki, kantilever tersebut

dengan bentuk U akan bertindak sebagai dua kantilever terpisah yang identik sesuai dengan kedua kakinya

(Arregui, 2009).

a
Dari persamaan Stoney sensitivitas kantilever dapat ditingkatkan sebesar
ay
mengubah bahan kantilever atau geometri kantilever. Persamaan Stoney juga menyarankan
al

untuk perpindahan mereka defleksi diinduksi di kantilever berbanding lurus dengan

M

panjang kantilever dan berbanding terbalik dengan ketebalannya. Dengan kata lain, oleh
s

meningkatkan panjang kantilever atau mengurangi ketebalannya, defleksi dapat ditingkatkan

ita

karena defleksi yang tinggi menunjukkan sensitivitas yang tinggi (Ansari & Cho, 2008).
rs

Persegi panjang memiliki mode frekuensi Eigen yang lebih tinggi jika dibandingkan dengan
ve

kantilever berbentuk U dan perpindahan struktur kantilever berbentuk U lebih banyak pada beban
ni

kondisi yang menggambarkan sensitivitas yang lebih tinggi. Secara keseluruhan struktur kantilever berbentuk U ini
U

memiliki sensitivitas yang lebih tinggi untuk kondisi beban jika dibandingkan dengan struktur persegi panjang

(Siddaiah et al., 2017)

22
 2.9 Studi Sebelumnya tentang Tekstil Cerdas

Banyak penelitian sebelumnya dilakukan pada tekstil pintar untuk aplikasi yang berbeda seperti

Penginderaan kelembaban, penginderaan gerak, dan pengukuran parameter fisiologis dengan menggunakan

Sensor yang berbeda dengan elemen penginderaan yang berbeda seperti piezoelektrik, piezo resistif, dan

kapasitif. Salah satu penelitian sebelumnya yang dilakukan oleh Jaisree Meenaa Pria KNJ, Sowmya S, dan

Steffie ManoChandra Devi K, Meenakshi Sundaram N pada simulasi berbasis kantilever

sensor untuk aplikasi tekstil pintar. untuk mengukur parameter fisiologis seperti darah

tekanan. Perbandingan antara tiga bahan piezoelektrik Timbal Zirkonium Titanate,

Bismuth Germanate dan Barium Sodium Niobate. Hasil percobaan yang dioptimalkan

menunjukkan bahwa PZT lebih sensitif terhadap variasi tekanan darah yang menunjukkan peningkatan

potensial listrik dan perpindahan masing-masing 0,2753V dan 3,8935um (KNJ et al.,

a
2013).
ay
Sebuah penelitian yang dilakukan oleh Lokesh Singh Panwar, Sachin Kala, Sushant Sharma, Varij
al

Panwar, Shailesh Singh Panwar pada desain sensor tekanan darah piezoelektrik MEMS.
M

Menggunakan tiga bahan material piezoelektrik Timbal Zirkonium Titanate (PZT-5A), Bismuth
s

Germanate dan Barium SodiumNiobate sebagai lapisan penginderaan sensor berbasis kantilever. Itu
ita

simulasi yang dioptimalkan menunjukkan PZT-5A menunjukkan potensi listrik maksimum di seluruh
rs

elektroda sensor dan perpindahan 2.52V dan 4.95 µ m untuk tubuh manusia normal
ve

tekanan darah diastolik (80mmHg) antara lain bahan piezoelektrik digunakan sebagai a
ni

merasakan lapisan kantilever (Panwar et al., 2017).

U

Proses fabrikasi untuk struktur kantilever kapasitif untuk kain pintar

aplikasi dilakukan oleh Yang Wei, Russel Torah, Kai Yang, Steeve Beeby dan John

Tudor.

Layar kantilever berdiri bebas kapasitif yang dicetak digunakan sebagai detektor gerakan di

pakaian untuk memantau aktivitas jika pemakainya tidak sadar dalam aplikasi kritis keselamatan

dilakukan oleh Yang Wei, Russel Torah, Kai Yang, Steeve Beeby dan John Tudor. Hasil dari

23
 Artikel tersebut menunjukkan bahwa kapasitansi yang lebih besar memiliki kebisingan yang lebih rendah menunjukkan respon terbaik karena

itu memiliki frekuensi resonansi terendah (215Hz) (Wei et al., 2012b). Ini memiliki gerakan terbaik

respon sensor diuji karena relatif dekat dengan frekuensi manusia

gerakan.

Sebuah penelitian yang dilakukan oleh Yang Wei, Russel Torah, Kai Yang, Steve Beeby dan John

Tudora, untuk fabrikasi sensor kelembaban dengan menggunakan teknik sablon. Hasil

menunjukkan bahwa pembuatan sensor kelembaban biaya rendah pada kain dengan menggunakan sablon

teknik (Kutzner et al., 2013). Aplikasi yang dapat dipikirkan adalah aplikasi perawatan kesehatan seperti

deteksi inkontinensia atau kontrol kehilangan air selama olahraga.

Pekerjaan penelitian yang dilakukan oleh Ali Eshkeiti untuk membuat produk wearable yang dapat direntangkan

sensor untuk memantau suhu, elektrokardiogram dan gerakan tubuh (Eshkeiti,

a
2015).
ay
Pembuatan struktur kantilever piezoelektrik dengan menggunakan sablon
al

teknik untuk aplikasi sensor kain pintar dilakukan oleh Yang Wei, Russel Torah, Kai
M

Yang, Steve Beeby dan John Tudor (Wei et al., 2012a). Output maksimum yang dihasilkan
s

dengan kantilever adalah 38 dan 27 mV pada percepatan 11,76 m / • 2, masing-masing.

ita

Sebuah karya penelitian yang dilakukan oleh D.Lo Presti, C. Massaroni, D. Formica, F. Giurazza,
rs

E. Schena, P. Saccomandi, MA Caponero, M. Muto tentang denyut jantung dan pernapasan

ve

pemantauan selama pemeriksaan MR oleh tekstil pintar bersensor (Presti et al., 2017). Di
ni

Pekerjaan ini, tekstil pintar yang diusulkan berdasarkan enam FBG cocok untuk mengumpulkan jantung
U

aktivitas dan pemantauan pernapasan selama pemeriksaan MR tanpa artefak pada gambar,

memberikan informasi yang berguna tentang kondisi pasien.

Sebuah pekerjaan penelitian yang dilakukan oleh Giovanelli, Davide Farella, Elisabetta untuk membangun kekuatan

sensor resistor (FSR) berdasarkan bahan resistif (Velostat) dan tinta konduktif tercetak

elektroda pada substrat polyethylene terephthalate (PET) untuk aplikasi yang dapat dikenakan dan

periksa respons sensor terhadap tekanan dalam kisaran 0–2,7 kPa. Prinsip kerja FSR didasarkan

24
 tentang variasi konduktivitas sensor itu sendiri (Giovanelli & Farella, 2016).

Paul Strohmeier, Jarrod Knibbe, Sebastian Boring, Kasper Hornbaek selesai

penelitian bekerja pada patch e-tekstil untuk tekanan, hover dan input sentuh, menggunakan kedua kapasitif

dan penginderaan resistif. Tambalan tekstil elektronik dapat dengan mudah disetrika pada sebagian besar tekstil, di mana saja

lokasi. E-tekstil atau z-patch dapat digunakan dalam aplikasi seperti mengontrol pemutar musik, teks

masukan masuk dan permainan (Strohmeier et al., 2018).

a
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

25
 2.10 Ringkasan

Tabel 2.4 menunjukkan ringkasan pekerjaan terkait sebelumnya. Dari tabel, itu bisa

Terlihat berbagai desain sensor memiliki perbedaan struktur dan platform penginderaan untuk berbagai macam

aplikasi tekstil pintar.

Tabel 2. 4 Pekerjaan sebelumnya pada tekstil pintar, sensor dan aplikasi

Penulis / Tahun Aplikasi Struktur dan Parameter Keluaran

Dimensi
Yang Wei, Detektor gerak Struktur: Kepekaan:
Russel Torah, dalam keamanan kritis Berbentuk persegi panjang Kapasitansi Statis
Kai Yang, kondisi. kapasitif
Steve Beeby penopang Contoh 1
dan John struktur Nilai terukur (pF)
Tudora, 3,94 (pF)
2012 Ukuran:

a
Contoh 1 Resonansi eksperimental
ay
Balok (mm) frekuensi (Hz)
9 × 10 760 (Hz)
al
Elektroda (mm)
8×8 Pemodelan resonan
M

frekuensi (Hz)
Contoh 2 780 (Hz)
s

Balok (mm)
ita

12 × 10 Contoh 2
Elektroda (mm) Nilai terukur (pF)
6.02 (pF)
rs

11 × 8
ve

Contoh 3 Resonansi eksperimental

Balok (mm) frekuensi (Hz)

ni

15 × 10 410 (Hz)
Elektroda (mm)
U

14 × 8 Pemodelan resonan
frekuensi (Hz)
440 (Hz)

Contoh 4 Contoh 3
Balok (mm) Nilai terukur (pF)
18 × 10 6,29 (pF)
Elektroda (mm)
17 × 8

26
 Resonansi eksperimental

frekuensi (Hz)
280 (Hz)

Pemodelan resonan
frekuensi (Hz)
280 (Hz)

Contoh 4
Nilai terukur (pF)
7,59 (pF)

Resonansi eksperimental

frekuensi (Hz)
215 (Hz)

Pemodelan resonan
frekuensi (Hz)

a
ay 200 (Hz)

Struktur: Kepekaan:
al

Desain: sepasang Rentang kelembaban:

M

interdigital atau 30% hingga 90%

kesejajaran paralel
(Elektroda) Waktu merespon:
s

Pengendalian air 60 detik hingga 140 detik

ita

C. Kutzner, R. kerugian selama olahraga Parameter:

Lucklum, atau perawatan kesehatan Lebar: 1mm
rs

R.Torah, S. aplikasi seperti (elektroda)

Beeby, J. inkontinensia Ketebalan:
ve

Tudor, deteksi. 125μm

2013 Lapisan antarmuka
ni

ketebalan
U

120μm
Lapisan elektroda

ketebalan
5μm

27
 Struktur: Kepekaan:
Berbentuk persegi panjang MAKSIMUM
piezoelektrik PERPINDAHAN UNTUK
penopang 80 mmHg
struktur (μm)

Ukuran: Barium sodium niobate

Jaisree Meenaa Panjang: 300-350μm 4,8275μm
Pria KNJ, Lebar: 100μm
Sowmya S, dan Ketebalan: 8μm Bismuth Germanate
Steffie Mano Tekanan darah atau 6,5014μm
Chandra Devi suhu tubuh Bahan:
K, Meenakshi Barium natrium Zirkonium Timbal
Sundaram N, niobate.dll Titanate
2013 7,5263μm
Bismut
germanate MAKSIMUM
TEGANGAN

a
Timbal zirkonat UNTUK 80 mmHg

Titanate (V)
ay
Barium sodium niobate
0,2231V
al

Bismuth germanate
M

0,3476V
Zirkonium Timbal
Titanate
s

0.7664V
ita

Struktur: Kepekaan:
rs

Berbentuk persegi panjang Frekuensi resonansi pada

Piezoelektrik
ve

sebuah

Struktur Kantilever akselerasi 11.76

m / s2:
ni

Ukuran:
U

Yang Wei, Contoh satu: Contoh satu:

Russel Torah, Kain pintar Elektroda (mm) 390 Hz
Kai Yang, aplikasi 11 × 8

Steve Beeby Balok (mm) Contoh dua:

dan John Tudor, 12 × 10 260 Hz
2012 PZT (mm)
12 × 10 Maksimal
tegangan keluaran pada sebuah

Contoh dua: percepatan

Elektroda (mm) 11.76m / s2:

14 × 8

28
 .
Balok (mm) Contoh satu:
15 × 10 37 mV
PZT (mm)
15 × 10 Contoh dua:
27 mV
Struktur: Kepekaan:
Resistensi bergelombang dan berliku-liku: 1Ω hingga 1.4Ω,

struktur 1.9Ω, 2.4Ω dan 3.4Ω (W =

1600μm,
Parameter: r = 4000μm)
Lebar: 400μm,
800μm dan 1600μm 2.5Ω, 2.9Ω, 3.6Ω, 4.2Ω
dan 5.2Ω,
Badan pengawas Radius: 2000μm, (W = 1600μm,
Ali Eshkeiti, gerakan, 4000μm, 6000μm r = 8000μm)
2015 suhu dan dan 8000μm
elektrokardiogram 1Ω sampai 1.6Ω, 2.4Ω dan

a
Sudut: 30, 45 dan 3.4Ω
60 derajat (W = 800μm, r = 2000μm)
ay
Garis Peregangan: 2.7Ω, 4.7Ω dan5.5Ω
al

1mm, 2mm, 3mm, (W = 800μm, r = 4000μm)

M

dan 4mm
3,5 Ω, 5 Ω, 5,8 Ω dan
6,5 Ω
s

(W = 800μm, r = 6000μm)
ita

Struktur: Kepekaan:
rs

Berbentuk persegi panjang Kapasitansi Statis

kapasitif Terukur
ve

penopang nilai (pF)

struktur
ni

Yang Wei, Sampel No.1

U

Russel Torah, Ukuran: 3,94 (pF)

Kai Yang, Kain pintar Sampel No.1
Steve Beeby aplikasi Balok (mm) Sampel No.2
dan John Tudor, 9 × 10 6.02 (pF)
2012 Elektroda (mm)
8×8 Sampel No.3
6,29 (pF)
Sampel No.2
Balok (mm) Sampel No. 4
12 × 10 7,59 (pF)

29
 Elektroda (mm)
11 × 8

Sampel No.3
Balok (mm)
15 × 10

Elektroda (mm)
14 × 8

Sampel No. 4
Balok (mm)
18 × 10

Elektroda (mm)
17 × 8

Lokesh Singh Tekanan darah Struktur: Kepekaan:

Panwar, Sachin sensor Berbentuk persegi panjang MAKSIMUM
Kala, Sushant piezoelektrik PERPINDAHAN UNTUK
Sharma, Varij penopang 80 mmHg

a
Panwar, struktur (μm)
Shailesh Singh
ay
Panwar, Ukuran: Barium sodium niobate
2017 Panjang: 300-350μm 1,87μm
al

Lebar: 100μm
M

Ketebalan: 8μm Bismuth Germanate

3,54μm
Bahan:
s

Barium natrium Zirkonium Timbal

ita

niobate.dll Titanate
4,95μm
rs

Bismut
germanate MAKSIMUM
ve

TEGANGAN
Timbal zirkonat UNTUK 80 mmHg
ni

Titanate (V)
U

(PZT-5A) Barium sodium niobate

1.0V
Bismuth germanate
1.42V
Zirkonium Timbal
Titanate
2.52V

30
 D.Lo Presti, C. Pernapasan dan Menggunakan enam FBG Kepekaan:
Massaroni, D. denyut jantung sensor Nilai detak jantung selama
Formika, F. pemantauan apnea dan pernapasan
Giurazza, E. selama MR tenang (~ 0,93 Hz
Schena, P. pemeriksaan oleh a dalam pernapasan tenang
Saccomandi, pintar bersensor dan ~ 0,96 Hz selama
MA Caponero, tekstil apnea); sebaliknya
M. Muto, relawan kedua
2017 menunjukkan

peningkatan detak jantung

selama apnea (~ 1,7 Hz)

dibandingkan dengan detak

jantung pernapasan yang tenang

(~ 0,9 Hz).

Giovanelli, Dapat dikenakan Bahan: Keluaran:

Davide Farella, aplikasi Bahan resistif

Elisabetta, (Velostat) koefisien sudut (the

a
2016 derivative) dari garis yang paling

Tinta konduktif
ay cocok adalah • = 1,3 × 10 −4 V /

elektroda Pa untuk offset 0,9 kPa, dan • = 5,9

× 10 −4 V / Pa untuk 1,8 kPa

al

Bahan substrat:
M

polietilen mengimbangi.

tereftalat (PET)
s

Struktur:
ita

sensor titik tunggal

struktur interdigital
rs

Ukuran:
ve

Satu poin
(15 × 30 mm)
ni
U

N Siddaiah, Biologis dan Struktur: Kepekaan:

B Manjusree, kesehatan Tiga berbentuk U. Pemindahan:
ALGN aplikasi kantilever berpasangan 3.4777 * 10 6 µ m
Aditya,
DV Rama Koti Ukuran:
Reddy, 100 µm * 20µm * 2µm
2017
Bahan:
Silikon (c)
dan
P-silikon

31
 BAGIAN 3: METODOLOGI

3.1 Pendahuluan

Pada bab ini metodologi perancangan dan simulasi piezoelektrik

struktur kantilever dibahas. Bab ini dimulai dengan penjelasan tentang diagram alir

penelitian ini. Selanjutnya, parameter untuk struktur kantilever berbasis piezoelektrik ditentukan.

Setelah itu dilakukan analisis kinerja sensor. Terakhir, menampilkan hasil simulasi menggunakan

COMSOL Multiphysics.

3.2 Diagram Alir Studi

Diagram alir pada Gambar 3.1 menjelaskan prosedur desain penelitian.

Mulailah

a
ay
Tinjauan pustaka tentang tekstil pintar dan sensor piezoelektrik, bahan
dan struktur sensor untuk aplikasi tekstil pintar
untuk memantau tekanan darah
al
M

Tentukan parameter untuk kantilever piezoelektrik MEMS

sensor berbasis struktur
s
ita

Desain kantilever berbentuk U piezoelektrik MEMS

sensor berbasis struktur menggunakan COMSOL
rs

Mensimulasikan desain piezoelektrik berbasis kantilever

ve

sensor menggunakan COMSOL

Optimalkan parameter
ni

Analisis sensor TIDAK

U

kinerja

IYA

Analisis dan pembahasan hasil

Akhir

Gambar 3. 1 Diagram alir untuk desain sensor berbasis kantilever piezoelektrik untuk tekstil pintar

32
 Proyek penelitian ini dimulai dengan membaca semua materi literatur terkait

tekstil pintar, sensor piezoelektrik, penerapan sensor untuk tekstil pintar untuk diukur

parameter fisiologis seperti tekanan darah dan jenis fokus kantilever khusus

pada bentuk U. Melalui proses tinjauan pustaka akan memberikan ide-ide singkat tentang 'bagaimana' dan

'apa' proyek ini akan lakukan. Semua teori terkait dan rumus yang berguna untuk kantilever

berdasarkan sensor piezoelektrik seperti konstanta pegas, dan Persamaan Stoney dikumpulkan selama

tinjauan pustaka.

Memilih dimensi ruang

Memilih fisika

Memilih jenis studi

a
ay
Definisi Variabel
al
M

Mendefinisikan Geometri
s

Mendefinisikan Material
ita

Menyiapkan fisika
rs
ve

Geometri Meshing
ni

Simulasi
U

Analisis Hasil

Gambar 3. 2 Diagram alir untuk mengembangkan kantilever berbentuk U pada COMSOL

Dari semua informasi yang dikumpulkan pada tahap tinjauan pustaka, perancangan sensor

spesifikasi ditentukan. Dari spesifikasi desain, sensor dimodelkan dengan COMSOL

Perangkat lunak multifisika. Berdasarkan diagram alir yang ditunjukkan pada Gambar3.2. Langkah-langkah penting untuk

33
 Simulasi model dalam COMSOL Multiphysics dimulai dengan membangun geometri,

tentukan parameter dan pilih studi terkait tergantung pada kebutuhan proyek,

memilih bahan, mengatur kondisi batas, menghubungkan model, menghitung

parameter yang diinginkan dan akhirnya menganalisis hasilnya. Hasil yang diperoleh dari simulasi

adalah defleksi kantilever yang menunjukkan perpindahan dan potensial listrik.

Untuk membandingkan perilaku dan kinerja kantilever, desain dengan berbeda

bahan dan panjang disimulasikan. Hasil dari simulasi diperoleh dan dilanjutkan

dengan tahap analisis. Lanjut. Diskusi dilakukan berdasarkan hasil yang diperoleh. Akhirnya, a

Kesimpulan dibuat dengan mengacu pada hasil proyek dan rekomendasi proyek penelitian

atau perbaikan di masa depan diusulkan.

3.3 Parameter Struktur Sensor Piezoelektrik Mems

a
ay
Untuk proyek ini, sensor kantilever piezoelektrik MEMS dirancang untuk tekstil pintar

untuk memantau tekanan darah berdasarkan makalah penelitian dengan judul Simulasi Kantilever
al

Sensor Berbasis untuk Aplikasi Tekstil Cerdas oleh (KNJ et al., 2013). Strukturnya adalah a
M

bentuk persegi panjang kantilever.

s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 3. 3. Model 3D sensor kantilever piezoelektrik MEMS (KNJ et al., 2013)

Kantilever yang terintegrasi di atas kain nilon terdiri dari lapisan penginderaan,

lapisan struktural dan lapisan antarmuka. Bahan yang digunakan di berbagai lapisan tekstil pintar

sensor seperti yang ditunjukkan pada Tabel 3.1

34
 Tabel 3. 1 Bahan yang digunakan dalam berbagai lapisan sensor tekstil pintar

Lapisan Bahan

Lapisan penginderaan Barium sodium niobite / Bismuth

Germanate / Timbal zirkonat titanat

Lapisan struktural Polysilicon

Lapisan antarmuka Silikon dioksida

Dimensi kantilever ditetapkan sebagai: panjang kantilever 350um, tebal

kantilever 8um dan lebar kantilever adalah 100um. Biasanya tekanan darah manusia bervariasi

antara minimum (diastolik) dan maksimum (sistolik) selama setiap detak jantung. Normal

tekanan darah diastolik kurang dari 80 mmHg dan tekanan darah sistolik normal kurang dari

a
dari 120 mmHg. Tekanan darah sistolik bisa lebih tinggi dari 160 mmHg dan diastolik
ay
tekanan bisa lebih tinggi dari 100 mmHg seperti yang ditunjukkan pada tabel 3.2. Jadi tekanan yang diterapkan digunakan
al
untuk penelitian ini berkisar dari 50 mmHg (6666.1Pa) hingga 180 mmHg (23998Pa). Tabel 3.2
M

menunjukkan parameter desain sensor (KNJ et al., 2013) untuk model pada Gambar 3.3
s

Tabel 3. 2 Parameter Sensor berdasarkan (KNJ et al., 2013)

ita

Item Spesifikasi

Bentuk kantilever Empat persegi panjang

rs

Panjangnya 300 µ m-350 µ m

ve

Lebar 100µm
ni

Ketebalan 8µm
U

3.4 Parameter Kantilever Desain berbentuk U.

Untuk proyek ini, sebuah kantilever dirancang dalam bentuk U dengan menggunakan perbedaan

bahan piezoelektrik sebagai lapisan penginderaan kantilever untuk tujuan optimasi. Di

merancang kantilever berbentuk U, pertama-tama kita memeriksa sensitivitas sensor dengan menggunakan PZT-5H

dan BaTiO 3 bahan piezoelektrik sebagai lapisan penginderaan kantilever. Berdasarkan hasil keduanya

bahan kemudian pilih bahan piezoelektrik yang cocok sebagai lapisan penginderaan kantilever. Sebagai

35
 disebutkan dalam tinjauan literatur kantilever bentuk-U memungkinkan dimensi kantilever menjadi

memperkecil. Kedua, kami memeriksa sensitivitas berbasis kantilever piezoelektrik berbentuk U.

sensor dengan menggunakan PZT-5H dan BaTiO 3 sebagai lapisan penginderaan kantilever pada panjang yang berbeda

kantilever berkisar dari 290 µ m-330 µ m dan bandingkan hasilnya dengan penelitian sebelumnya

oleh (KNJ et al., 2013) menggunakan kantilever berbentuk persegi panjang dengan panjang berbeda ditunjukkan pada

Tabel 3.2. Parameter struktur kantilever berbentuk U ditunjukkan pada Tabel 3.3.

Tabel 3. 3 Panjang kantilever yang berbeda

Panjang 'L' Ketebalan 'T' Lebar 'W'

290um 5.5 90

300um 5.5 90

310um 5.5 90

320um 5.5

a 90
ay
330um 5.5 90
al
M

3.5 Pengembangan Kantilever Berbentuk U pada Software COMSOL Multiphysics

s

Ketika semua parameter untuk kantilever berbentuk U ditentukan, sensor lengkap

ita

telah dikembangkan menggunakan perangkat lunak COMSOL Multiphysics. Gambar 3.4 menunjukkan tiga-
rs

geometri simetris model sumbu dimensional (3-D) dari sensor berbasis kantilever berbentuk U.
ve

untuk aplikasi tekstil pintar dibangun menggunakan COMSOL Multiphysics Software. Gambar 3.4 -
ni

3.9 menunjukkan kantilever berbentuk U pada panjang kantilever yang berbeda.

U

36
 Lapisan penginderaan

Lapisan antarmuka

Lapisan struktural

Gambar 3. 4 Model 3-D sensor berbasis kantilever piezoelektrik MEMS berbentuk U

a
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 3. 5 Kantilever Berbentuk U dengan L = 290 µ m, W = 90 µ m dan T = 5,5 µ m

37
 a
Gambar 3. 6 Kantilever berbentuk U dengan L = 300 µ m, W = 90 µ m dan T = 5,5 µ m
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 3. 7 Kantilever berbentuk U dengan L = 310 µ m, W = 90 µ m dan T = 5,5 µ m

38
 a
ay
Gambar 3. 8 Kantilever berbentuk U dengan L = 320 µ m, W = 90 µ m dan T = 5,5 µ m
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 3. 9 Kantilever Berbentuk U dengan L = 330 µ m, W = 90 µ m dan T = 5,5 µ m

39
 Dalam proyek penelitian ini material digunakan dalam berbagai lapisan sensor tekstil pintar

seperti yang ditunjukkan pada Tabel 3.4. Bahan polysilicon digunakan sebagai lapisan struktural untuk kontak yang baik

Elektroda dan silikon dioksida digunakan sebagai isolasi tujuan kantilever berbentuk U.

sensor tekanan darah

Tabel 3. 4 Bahan yang digunakan dalam Kantilever Berbentuk U.

Lapisan Bahan

Lapisan antarmuka Silikon dioksida

Lapisan penginderaan Barium Titanate (BaTiO3) /

Timbal zirkonat titanat (PZT-5H)

Lapisan struktural Silikon poli

a
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 3. 10 Bahan piezoelektrik digunakan sebagai lapisan penginderaan

40
 Gambar 3. 11 Polysilicon digunakan sebagai lapisan struktural

a
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 3. 12 SiO 2 digunakan sebagai lapisan antarmuka

41
 Bahan piezoelektrik digunakan dalam sensor berbasis kantilever untuk aplikasi tekstil pintar

untuk memantau tekanan darah. Properti bahan piezoelektrik berikut seperti yang ditunjukkan

di bawah ini pada Tabel 3.5

Tabel 3. 5 Sifat bahan piezoelektrik.

Bahan Timbal Zirkonat Titanate Barium Titanate

(PZT-5H) (BaTiO 3)

Koefisien piezoelektrik d 31 = 274 d 31 = 79

[pC / N] d 33 = 1000 d 33 = 580

Elektromekanis k 31 = 0.39 k 31 = 0.21

Koefisien Kopling k 33 = 0.75 k 33 = 0.49

Izin Relatif (ɛ) 1705 1115

Massa jenis

(g / cm 3) 7.5 5.7

Modulus Young
a
ay
(IPK) 64 67
al
Rasio Poisson 0.31 0.22
M

3.6 Pengaturan simulasi

s

Sensor tekanan darah berbasis kantilever piezoelektrik berbentuk U untuk tekstil pintar
ita

aplikasi dibuat dalam perangkat lunak COMSOLMultiphysics. Materi ditentukan untuk masing-masing
rs

lapisan kantilever. Tekanan beban diterapkan di atas lapisan penginderaan atau permukaan U-
ve

Kantilever berbentuk. Kisaran tekanannya antara 50mmHg hingga 180 mmHg

ni

dikonversi ke satuan Pascal dan mulai dari 6666.1 - 23998Pa. Terakhir, pemilihan batas
U

diterapkan ke batas-batas menerapkan beban batas di atas lapisan penginderaan kantilever dan

menetapkan batasan tetap ke satu sisi kantilever seperti yang ditunjukkan pada Gambar 3.14. Dalam domain

seleksi pilih lapisan penginderaan sebagai bahan piezoelektrik (gambar 3.15) dan lapisan antarmuka

dan lapisan struktural sebagai bahan elastis linier (Gambar 3.16). Gerak struktur adalah

dibatasi dalam arah X dan Y. Sensor berbasis kantilever berbentuk U piezoelektrik adalah

mesh 'Normal' dengan menggunakan meshing yang dikontrol fisika seperti yang ditunjukkan pada 3.17.

42
 a
ay
Gambar 3. 13 Tekanan beban diterapkan di atas lapisan penginderaan
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 3. 14 Menerapkan batasan tetap

43
 a
ay
Gambar 3. 15 Pemilihan bahan piezoelektrik
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 3. 16 Pemilihan bahan elastis linier

44
 Gambar 3. 17. Pemilihan meshing untuk sensor berbasis kantilever MEMS Piezoelektrik

3.7 Ringkasan

a
ay
Bab ini membahas tentang pendekatan metodologi untuk proyek penelitian ini.
al
Awal bab ini dijelaskan diagram alir metodologi yang telah digunakan.
M

Dilanjutkan dengan mendefinisikan parameter struktur berbasis sensor tekanan kapasitif MEMS

pada pekerjaan penelitian yang dilakukan sebelumnya. Selanjutnya, parameter desain kantilever bentuk-U adalah
s
ita

ditentukan dan parameter yang bervariasi dipilih untuk tujuan pengoptimalan. Akhirnya, semua file
rs

desain direalisasikan menggunakan perangkat lunak COMSOL Multiphysics. Parameter yang divariasikan untuk

tujuan studi kinerja adalah panjang kantilever 'L' dan material.

ve
ni
U

45
 BAB 4: HASIL DAN DISKUSI

4.1 Pendahuluan

Bab ini membahas semua hasil simulasi piezoelektrik MEMS berbentuk U.

sensor berbasis kantilever yang telah disimulasikan menggunakan COMSOL Multiphysics

Perangkat lunak. Hasilnya adalah deformasi kantilever berbentuk U saat ada tekanan

diterapkan pada permukaan atas sensor berbasis kantilever berbentuk U piezoelektrik. Perpindahan dan

nilai potensial listrik dari sensor piezoelektrik MEMS berbentuk U dengan piezo berbeda

bahan dan pada panjang 'L' kantilever yang berbeda. Dari hasil yang diperoleh, file

kinerja kantilever berbentuk U dapat dianalisis dan dievaluasi.

4.2 Analisis dan Diskusi Kantilever Berbentuk U untuk Piezoelektrik Berbeda

Bahan

a
ay
Desain pertama kantilever berbentuk U dimulai dengan bahan piezoelektrik yang berbeda

(PZT-5H dan BaTiO 3) dan dimensi kantilever adalah 'L' = 330um, 'T' = 5.5um, dan
al
M

'W' = 90um. Kisaran tekanan yang diterapkan adalah 50mmHg (6666.1Pa) -180mmHg (23998Pa).

Tabel 4. 1 Parameter Kantilever berbentuk U.

s

Bahan Properti Nilai

ita

Satuan

Panjangnya 330 µm
rs

PZT-5H BaTiO 3 Ketebalan 5.5 µm

ve

Lebar 90 µm
ni

4.2.1 Kasus I: Timbal Zirkonat Titanate (PZT-5H)

U

Menggunakan bahan piezoelektrik PZT-5H pada Kasus I sebagai lapisan kantilever yang sensitif.

Tabel 4.1 menunjukkan parameter struktur kantilever piezoelektrik MEMS berbentuk U.

sensor berbasis. Sensor untuk memantau tekanan darah manusia terintegrasi di atas nilon

kain terdiri dari lapisan struktural, lapisan penginderaan dan lapisan antarmuka. Seperti yang ditunjukkan di

Tabel 3.4 Dalam desain yang diusulkan silikon dioksida digunakan sebagai lapisan antarmuka untuk isolasi

Tujuannya, polysilicon digunakan sebagai lapisan struktural untuk elektroda kontak yang baik dan

46
 Bahan piezoelektrik digunakan untuk penginderaan unsur tekanan dan tekanan tubuh manusia

properti piezoelektrik memberikan tegangan keluaran di atasnya karena penginderaan darah manusia

tekanan. Gambar 4.2.1- 4.2.14, menunjukkan nilai defleksi kantilever berbentuk U pada

perbedaan nilai tekanan yang diterapkan pada permukaan atas kantilever PZT-5H dan kisaran

tekanan yang diterapkan adalah 50mmHg hingga 180mmHg. Gambar 4.2.1 menunjukkan nilai maksimum

perpindahan adalah 7.1597 µ m diberikan oleh kantilever pada tekanan darah diastolik rendah yang diterapkan

50mmHg dan sensor memberikan nilai perpindahan maksimum adalah 25.775 µ m

ketika mengalami tekanan darah sistolik tinggi 180mmHg di permukaan atas PZT-5H

penopang. Kami sangat memperhatikan nilai defleksi yang ditunjukkan oleh sensor pada kondisi normal

tekanan darah diastolik (80mmHg) manusia. Pada Gambar 4.2.4, kantilever PZT-5H

menunjukkan nilai perpindahan maksimum adalah 11.456 µm ketika beban batas setara

a
ay
tekanan diastolik normal 80mmHg (10666Pa) diterapkan dan nilai meningkat menjadi

25.775 µ m untuk kondisi sistolik 120mmHg (15999Pa). Warna biru menunjukkan luas
al
M

defleksi minimum. Sedangkan warna merah menunjukkan di mana defleksi maksimum berkembang.
s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.2. 1 Tekanan Terapan 50mmHg Gambar 4.2. 2 Tekanan Terapan 60mmHg

47
 Gambar 4.2. 3 Tekanan Terapan 70mmHg Gambar 4.2. 4 Tekanan Terapan 80 mmHg

a
ay
al
M
s

Gambar 4.2. 5 Tekanan Terapan 90 mmHg Gambar 4.2. 6 Tekanan Terapan 100mmHg
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.2. 7 Tekanan Terapan 110mmHg Gambar 4.2. 8 Tekanan Terapan 120mmHg

48
 Gambar 4.2. 9 Tekanan Terapan 130mmHg Gambar 4.2. 10 Tekanan Terapan 140mmHg

a
ay
al
M
s

Gambar 4.2. 11 Tekanan Terapan 150mmHg Gambar 4.2. 12 Tekanan Terapan 160mmHg
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.2. 13 Tekanan Terapan 170mmHg Gambar 4.2. 14 Tekanan Terapan 180mmHg

49
 Grafik Perpindahan vs Tekanan ditunjukkan pada Gambar 4.2.15. Dari plot

grafik perubahan perpindahan linier dengan tekanan diterapkan. Sebagai tekanan masukan

meningkatkan nilai perpindahan kantilever berbentuk U berbasis bahan PZT-5H juga

meningkat. Perpindahan maksimum dan rata-rata pada kondisi diastolik normal adalah

11.456µm dan 4.93404µm. Menggunakan persamaan (2.2) dari bab 2, dihitung maksimum

nilai perpindahan kantilever adalah 11,445 µ m.

30

25

20
Perpindahan (µm)

15

a
10
ay
5
al
0
5.000 7000 9000 11000 13000 15000 17000 19000 21000 23000 25000
M

Tekanan (Pa)

PERPINDAHAN (µm) Perpindahan Rata-rata (µm)

s
ita

Gambar 4.2. 15 Grafik Perpindahan vs Tekanan

rs
ve

Seperti yang kita ketahui pada Kasus I menggunakan bahan piezoelektrik PZT-5H sebagai lapisan sensitif
ni

kantilever dan kami memeriksa nilai potensial listrik dari kantilever berbentuk U PZT-5H.
U

Gambar 4.2.16- 4.2.29, menunjukkan nilai potensial listrik yang diberikan oleh kantilever berbentuk U.

pada nilai tekanan yang berbeda yang diterapkan pada permukaan atas kantilever PZT-5H dan jangkauannya

tekanan yang diterapkan adalah 50mmHg hingga 180mmHg. Gambar 4.2.16 menunjukkan maksimum dan

nilai minimum potensial listrik adalah1.2827V dan -0.0366V berdasarkan PZT-5H

Kantilever berbentuk U pada tekanan darah diastolik rendah yang diterapkan 50mmHg dan sedangkan

Sensor memberikan nilai potensial listrik maksimum dan minimum adalah 4.6176V dan

- 0.1319V saat mengalami tekanan darah sistolik tinggi 180mmHg di permukaan atas

50
 dari kantilever berbentuk U PZT-5H. Kami lebih fokus pada apa itu potensi Listrik

ditunjukkan oleh sensor pada tekanan darah diastolik normal (80mmHg) manusia. Dalam Gambar

4.2.19, kantilever PZT-5H menunjukkan nilai maksimum dan minimum potensial listrik

2.0523V dan -0.0586V ketika beban batas setara dengan tekanan diastolik normal

80mmHg (10666Pa) diterapkan dan nilai meningkat untuk kondisi sistolik

120mmHg (15999Pa). Warna biru menunjukkan area dengan nilai potensial listrik minimum.

Sedangkan warna merah menunjukkan dimana potensi listrik maksimal dikembangkan.

a
ay
al
M
s

Gambar 4.2. 16 Tekanan Terapan 50mmHg Gambar 4.2. 17 Tekanan Terapan 60mmHg
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.2. 18 Tekanan Terapan 70mmHg Gambar 4.2. 19 Tekanan Terapan 80mmHg

51
 Gambar 4.2. 20 Tekanan Terapan 90mmHg Gambar 4.2. 21 Tekanan Terapan 100mmHg

a
ay
al
M
s

Gambar 4.2. 22 Tekanan Terapan 110mmHg Gambar 4.2. 23 Tekanan Terapan 120mmHg
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.2. 24 Tekanan Terapan 130mmHg Gambar 4.2. 25 Tekanan Terapan 140mmHg

52
 Gambar 4.2. 26 Tekanan Terapan 150mmHg Gambar 4.2. 27 Tekanan Terapan 160mmHg

a
ay
al
M
s

Gambar 4.2. 28 Tekanan Terapan 170mmHg Gambar 4.2. 29 Tekanan Terapan 180mmHg
ita

Grafik Potensi Listrik vs Tekanan ditunjukkan pada Gambar 4.2.30. Dari grafik,
rs

Nilai potensial listrik pada kondisi diastolik adalah 2.0523V. Sebagai tekanan masukan
ve

meningkatkan nilai potensial listrik kantilever berbasis material PZT-5H juga meningkat.
ni

Potensial listrik maksimum dan minimum pada kondisi diastolik adalah 2.0523V dan
U

- 0,0586V. Warna merah menunjukkan dimana potensi listrik maksimum berkembang.

53
 5

4.5

3.5

3
Potensi Listrik (V)

2.5

1.5

0,5

0
6000 8000 10000 12000 14000 16000 18000 20000 22000 24000 26000
Tekanan (Pa)

Gambar 4.2. 30 Grafik Potensi Listrik vs Tekanan

4.2.2 Kasus II: Barium Titanate (BaTiO 3)

a
ay
Dalam kasus II menggunakan BaTiO 3 bahan piezoelektrik sebagai lapisan sensitif berbentuk U.
al

sensor berbasis kantilever. Seperti yang telah kita tunjukkan pada Tabel 4.1 parameter struktural U-
M

kantilever berbentuk. Kantilever yang terintegrasi di atas kain nilon terdiri dari struktur
s

lapisan, lapisan penginderaan dan lapisan antarmuka. Seperti yang terlihat pada Tabel 3.4 Bahan polisilikon yang digunakan
ita

sebagai lapisan struktural untuk kontak elektroda yang baik dan Silikon dioksida digunakan sebagai isolasi
rs

tujuan sensor tekanan darah berbasis kantilever berbentuk U. Pada Gambar 4.2.31-4.2.44.
ve

menunjukkan nilai defleksi kantilever berbentuk U pada nilai tekanan yang berbeda
ni

di permukaan atas BaTiO 3 kantilever dan kisaran tekanan yang diterapkan adalah 50mmHg
U

180mmHg. Gambar 4.2.31 menunjukkan nilai perpindahan maksimum yang diberikan adalah 5.6105µm

dengan kantilever diaplikasikan tekanan darah diastolik rendah 50mmHg dan sedangkan sensor

memberikan nilai displacement maksimal 20.166µm bila mengalami sistolik tinggi

tekanan darah 180mmHg di permukaan atas BaTiO 3 Kantilever berbentuk U. Kami kebanyakan

Memperhatikan berapa nilai defleksi yang ditunjukkan oleh sensor pada tekanan darah diastolik normal

(80mmHg) manusia. Pada Gambar 4.2.44, BaTiO 3 kantilever menunjukkan nilai maksimum

54
 perpindahan adalah 8,9624µm ketika beban batas ekivalen dengan diastolik normal

tekanan 80mmHg (10666Pa) diterapkan dan nilai mencapai 13,444 µ m untuk normal

kondisi sistolik 120mmHg (15999Pa) seperti yang ditunjukkan pada Gambar 4.2.38. Warna biru menunjukkan

area defleksi minimum. Sedangkan warna merah menunjukkan letak defleksi maksimum

dikembangkan.

a
ay
al

Gambar 4.2. 31 Tekanan Terapan 50mmHg Gambar 4.2. 32 Tekanan Terapan 60mmHg
M
s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.2. 33 Tekanan Terapan 70mmHg Gambar 4.2. 34 Tekanan Terapan 80mmHg

55
 Gambar 4.2. 35 Tekanan Terapan 90mmHg Gambar 4.2. 36 Tekanan Terapan 100mmHg

a
ay
al
M
s

Gambar 4.2. 37 Tekanan Terapan 110mmHg Gambar 4.2. 38 Tekanan Terapan 120mmHg
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.2. 39 Tekanan Terapan 130mmHg Gambar 4.2. 40 Tekanan Terapan 140mmHg

56
 Gambar 4.2. 41 Tekanan Terapan 150mmHg Gambar 4.2. 42 Tekanan Terapan 160mmHg

a
ay
al
M
s

Gambar 4.2. 43 Tekanan Terapan 170mmHg Gambar 4.2. 44 Tekanan Terapan 180mmHg
ita
rs

Grafik Perpindahan vs Tekanan ditunjukkan pada Gambar 4.2.45. Dari plot

ve

grafik nilai perpindahan perubahan secara linier terhadap tekanan yang diterapkan. Sebagai
ni

tekanan masukan meningkatkan nilai perpindahan kantilever dengan BaTiO 3 lapisan penginderaan
U

juga meningkat. Pada kondisi diastolik nilai rata-rata dan perpindahan maksimum U-

kantilever berbentuk 3,8670µm dan 8,9624µm masing-masing. Menggunakan persamaan (2.2) dari

Bab 2, nilai yang dihitung dari perpindahan maksimum kantilever berbentuk U adalah

8.9552 µ m.

57
 25

20

15
Perpindahan (µm)

10

0
5.000 7000 9000 11000 13000 15000 17000 19000 21000 23000 25000
Tekanan (Pa)

PERPINDAHAN (µm) Perpindahan Rata-rata (µm)

Gambar 4.2. 45 Grafik untuk Perpindahan vs Tekanan

a
ay
Seperti yang kita ketahui pada Kasus II menggunakan BaTiO 3 bahan piezoelektrik sebagai penginderaan kantilever
al
lapisan dan kami memeriksa nilai potensial listrik dari BaTiO 3 berbasis kantilever berbentuk U.
M

Gambar 4.2.46- 4.2.59, menunjukkan nilai potensial listrik yang diberikan oleh kantilever berbentuk U di

nilai tekanan yang berbeda diterapkan pada permukaan atas kantilever berbentuk U berdasarkan
s
ita

BaTiO 3 lapisan penginderaan dan kisaran tekanan yang diterapkan adalah 50mmHg hingga 180mmHg. Angka
rs

4.2.46 menunjukkan nilai potensial listrik maksimum 0.9659V diberikan oleh U berbentuk
ve

BaTiO 3 kantilever diaplikasikan tekanan darah diastolik rendah 50mmHg dan sedangkan sensor

mengalami tekanan darah sistolik tinggi 180mmHg di permukaan atas berbentuk U.

ni

Biji kantilever menunjukkan nilai potensial listrik maksimum adalah 4.6176V. Kami kebanyakan
U

terfokus berapa nilai potensial listrik yang ditunjukkan oleh sensor pada darah diastolik normal

tekanan (80mmHg) manusia. Pada Gambar 4.2.49, nilai maksimum dan minimum

Potensial listrik 1.5455V dan 0.0394V diberikan oleh BaTiO 3 berbasis berbentuk U.

kantilever, bila beban batas setara dengan tekanan diastolik normal

80mmHg (10666Pa) diterapkan dan nilai meningkat menjadi 2.3183V untuk sistolik normal

kondisi 120mmHg (15999Pa) seperti yang ditunjukkan pada Gambar 4.2.53. Warna biru menunjukkan luas

58
 kantilever dimana nilai minimum potensial listrik dikembangkan. Sedangkan warna merah

menunjukkan luas kantilever berbentuk U dimana nilai potensial listrik maksimumnya

dikembangkan.

a
ay
Gambar 4.2. 46 Tekanan Terapan 50mmHg Gambar 4.2. 47 Tekanan Terapan 60mmHg
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.2. 48 Tekanan Terapan 70mmHg Gambar 4.2. 49 Tekanan Terapan 80mmHg

59
 Gambar 4.2. 50 Tekanan Terapan 90mmHg Gambar 4.2. 51 Tekanan Terapan 100mmHg

a
ay
al
M
s

Gambar 4.2. 52 Tekanan Terapan 110mmHg Gambar 4.2. 53 Tekanan Terapan 120mmHg
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.2. 54 Tekanan Terapan 130mmHg Gambar 4.2. 55 Tekanan Terapan 140mmHg

60
 Gambar 4.2. 56 Tekanan Terapan 150mmHg Gambar 4.2. 57 Tekanan Terapan 160mmHg

a
ay
al
M
s
ita

Gambar 4.2. 58 Tekanan Terapan 170mmHg Gambar 4.2. 59 Tekanan Terapan 180mmHg
rs

Grafik Potensi Listrik vs Tekanan ditunjukkan pada Gambar 4.2.60, menunjukkan

ve

Nilai potensial listrik maksimum dan minimum pada kondisi diastolik adalah 1.5455V. Sebagai
ni

Tekanan masukan meningkatkan nilai potensial listrik berbentuk U berbasis BaTiO3

U

kantilever juga meningkat. Potensial listrik maksimum dan minimum pada tekanan

80mmHg masing-masing adalah 1.5455V dan 0.0394.

61
 4

3.5

2.5
Potensi Listrik (V)

1.5

0,5

0
6000 8000 10000 12000 14000 16000 18000 20000 22000 24000 26000
Tekanan (Pa)

Gambar 4.2. 60 Grafik Potensi Listrik vs Tekanan

a
Tabel 4. 2 Perpindahan bahan piezoelektrik yang berbeda dan nilai Potensi Listrik pada PT
ay
Kondisi diastolik
Bahan BaTiO 3 PZT-5H
al

Simulasi
M

Perpindahan Maksimum
8.9624 11.456
untuk 80mmHg
s

( µ m)
ita

Dihitung

Perpindahan Maksimum
rs

8.9552 11.445
untuk 80mmHg
ve

(µm)

Persentase 0,080% 0,096%

ni

Perbedaan
U

Perpindahan Rata-rata untuk

80mmHg
3.86704 4.93404
( µ m)

Tegangan Maksimum untuk

80mmHg
1.5455 2.9523
(V)

62
 Keseluruhan kinerja sensor berbasis kantilever piezoelektrik berbentuk U pada

defleksi maksimum kantilever, perpindahan dan potensial listrik untuk Zirkonat Timbal

Material piezoelektrik Titanate dan Barium Titanate dirangkum pada Tabel 4.2 di atas.

Berdasarkan hasil di atas seperti terlihat pada Tabel 4.2, dapat diketahui bahwa berbentuk U.

kantilever dengan lapisan penginderaan dari bahan piezoelektrik PZT-5H menunjukkan nilai tertinggi

defleksi adalah 11,456 µ m pada tekanan darah diastolik normal (80mmHg) manusia sebagai

dibandingkan dengan BaTiO 3 bahan piezoelektrik. Ini karena PZT-5H relatif terjaga

sifat piezoelektrik yang tinggi dibandingkan dengan BaTiO 3 bahan piezoelektrik (Anton &

Sodano, 2007). Seperti yang ditunjukkan pada Gambar 4.2.61 dan Gambar 4.2.62 mewakili

perbandingan bahan piezoelektrik (PZT-5H dan BaTiO 3). Timbal Zirkonat Titanate

menunjukkan sensitivitas yang lebih baik memberikan nilai Displacement dan potensial listrik yang lebih tinggi dan memiliki

a
ay
respons yang lebih baik dengan tekanan yang meningkat secara linier karena piezoelektriknya yang relatif besar

koefisien.
al
M

30

25
s

20
ita
Perpindahan (µm)

15
rs

10
ve

0
5.000 10000 15000 20000 25000
ni

Tekanan (Pa)
U

PERPINDAHAN (µm) PZT-5H BaTiO3

Gambar 4.2. 61 Grafik Perpindahan kedua bahan piezo vs Tekanan

63
 5

4.5

3.5

Potensi Listrik (V)

3

2.5

1.5

0,5

0
5.000 10000 15000 20000 25000

Tekanan (Pa)
PZT-5H BaTiO3

Gambar 4.2. 62 Grafik Potensi Listrik dari kedua bahan piezo vs Tekanan

4.3 Analisis dan Diskusi Kantilever Berbentuk U Piezoelektrik pada Perbedaan

Panjangnya

a
4.3.1 Kasus I: Kantilever Berbasis PZT-5H
ay
Dalam Kasus I menggunakan bahan piezoelektrik PZT-5H sebagai lapisan penginderaan kantilever dan
al

periksa perpindahan kantilever berbentuk U pada panjang dan rentang yang berbeda berbentuk U.
M

panjang kantilever dari 290 µ m sampai 330 µ m dengan lebar dan tebal yang sama seperti yang diberikan pada Tabel
s

4.1. Pada Gambar 4.3.1-4.5.5, menunjukkan nilai perpindahan piezoelektrik PZT-5H

ita

kantilever berbentuk U berbasis material dengan panjang yang berbeda dan jumlah tekanan yang diterapkan
rs

adalah tekanan darah diastolik normal 80mmHg. Gambar 4.3.1 menunjukkan diastolik normal
ve

kondisi kantilever berbentuk U memberikan defleksi maksimum sebesar 6.3581 µ m di kantilever

ni

panjang 290 µ m dan panjang kantilever berbentuk U adalah 330 µ m mengalami a

U

tekanan 80mmHg pada permukaan atas kantilever, ini menunjukkan nilai defleksi maksimum

adalah 11.456 µ m. Dari Gambar 4.3.6, Grafik Panjang Kantilever Berbasis PZT-5H

vs Displacement menunjukkan bahwa panjang kantilever menunjukkan defleksi yang lebih besar sebagai

dibandingkan dengan kantilever yang pendek. Warna biru menunjukkan nilai defleksi minimum pada

penopang. Sedangkan warna merah menunjukkan di mana defleksi maksimum berkembang pada U-

kantilever berbentuk.

64
 Gambar 4.3. 1 Panjang Kantilever 290 µ m Gambar 4.3. 2 Panjang Kantilever 300 µ m

a
ay
al
M
s

Gambar 4.3. 3 Panjang Kantilever 310 µ m Gambar 4.3. 4 Panjang Cantilever 320 µ m
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.3. 5 Panjang kantilever 330 µ m

65
 335

330

325

320
Panjang cantileber PZT-5H (µm)

315

310

305

300

295

290

285
6 7 8 9 10 11 12

Perpindahan (µm)

Gambar 4.3. 6 Grafik Panjang Kantilever PZT-5H vs Perpindahan

a
ay
Dari Gambar 4.3.7-4.5.11 menunjukkan nilai potensial listrik dari PZT-5H

bahan piezoelektrik berbasis kantilever berbentuk U dengan panjang yang berbeda dan tekanan yang diterapkan
al

pada kantilever tekanan darah diastolik normal 80mmHg. Gambar 4.3.7 menunjukkan normal
M

Kondisi diastolik (80mmHg) Kantilever berbentuk U memberikan hasil maksimal dan minimum
s
ita

Nilai potensial listrik sebesar 1.3652V dan -0.0567V pada panjang kantilever 290 µ m dan

bila panjang kantilever berbentuk U adalah 330 µ m mengalami tekanan 80mmHg di atas
rs

dari permukaan kantilever menunjukkan nilai potensial listrik maksimum dan minimum
ve

2.0523V dan -0.0586V seperti yang ditunjukkan pada Gambar 4.3.11. Dari 4.3.12, Grafik antara
ni

Panjang kantilever berbasis PZT-5H vs potensial listrik menunjukkan panjang yang lebih panjang
U

kantilever menunjukkan nilai potensial listrik yang tinggi dibandingkan dengan panjang pendek

penopang. Garis biru menunjukkan luas minimal potensial listrik. Sedangkan Merah menunjukkan dimana

potensi listrik maksimum yang dikembangkan.

66
 Gambar 4.3. 7 Panjang Cantilever 290 µ m Gambar 4.3. 8 Panjang Cantilever 300 µ m

a
ay
al
M
s
ita

Gambar 4.3. 9 Panjang Kantilever 310 µ m Gambar 4.3. 10 Panjang Cantilever 320 µ m
rs
ve
ni
U

Gambar 4.3. 11 Panjang Kantilever 330 µ m

67
 335

330

325

320
Panjang Cantileber PZT-5H (µm)
315

310

305

300

295

290

285
1.25 1.35 1.45 1.55 1.65 1.75 1.85 1.95 2.05 2.15

Potensi Listrik (V)

Gambar 4.3. 12 Grafik Panjang Kantilever PZT-5H vs Potensi Listrik

a
4.3.2 Kasus II: Barium Titanate (BaTiO 3) Kantilever Berbasis
ay
Pada Kasus II menggunakan bahan piezoelektrik Barium Titanate sebagai lapisan penginderaan
al
kantilever dan periksa perpindahan kantilever berbentuk U pada panjang dan jarak yang berbeda
M

panjang kantilever berbentuk U dari 290 µ m sampai 330 µ m dengan lebar dan ketebalan yang sama
s

diberikan pada Tabel 4.1. Pada Gambar 4.3.13-4.5.17, menunjukkan nilai perpindahan dari BaTiO 3
ita

bahan piezoelektrik berbasis kantilever berbentuk U dengan panjang dan jangkauan yang berbeda diterapkan
rs

tekanan pada permukaan kantilever adalah tekanan darah diastolik normal 80mmHg. Gambar 4.3.13
ve

terlihat pada kondisi diastolik normal kantilever berbentuk U memberikan defleksi maksimum

dari 4.9803 µ m pada panjang kantilever 290 µ m dan panjang kantilever berbentuk U.
ni
U

330 µ m mengalami tekanan yang diterapkan 80mmHg itu menunjukkan nilai maksimum

defleksi adalah 8,9624 µ m seperti yang ditunjukkan pada Gambar 4.3.17. Dari Gambar 4.3.18, Grafik antar

Panjang kantilever vs displacement berbasis PZT-5H menunjukkan panjang yang lebih panjang

kantilever menunjukkan defleksi yang lebih besar dibandingkan dengan kantilever dengan panjang pendek. Biru

warna menunjukkan nilai perpindahan minimum pada kantilever. Sedangkan warna merah menandakan

dimana defleksi maksimum berkembang pada kantilever berbentuk U.

68
 Gambar 4.3. 13 Panjang Kantilever 290 µ m Gambar 4.3. 14 Panjang Cantilever 300 µ m

a
ay
al
M
s

Gambar 4.3. 15 Panjang Kantilever 310 µ m Gambar 4.3. 16 Panjang Cantilever 320 µ m
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.3. 17 Panjang Cantilever 320 µ m

69
 335

330

325

320
Panjang BaTiO 3 caantilever (µm)

315

310

305

300

295

290

285
4.8 5.3 5.8 6.3 6.8 7.3 7.8 8.3 8.8 9.3

Perpindahan (µm)

Gambar 4.3. 18 Grafik Panjang BaTiO 3 kantilever vs Perpindahan

a
ay
Dari Gambar 4.3.19-4.5.23 terlihat nilai potensial listrik dari Barium tersebut
al
Bahan piezoelektrik Titanate berbasis kantilever berbentuk U dengan panjang berbeda dan diaplikasikan
M

tekanan pada permukaan atas kantilever adalah tekanan darah diastolik normal 80mmHg. Angka

4.3.19 menunjukkan pada kondisi diastolik normal (80mmHg) kantilever berbentuk U memberikan
s
ita

Nilai potensial listrik maksimum dan minimum adalah 1.0263V dan 0.0196 pada kantilever

panjang 290 µ m dan panjang kantilever berbentuk U adalah 330 µ m mengalami sebuah
rs

tekanan yang diterapkan 80mmHg itu menunjukkan nilai maksimum dan minimum listrik
ve

potensialnya adalah 1.5455V dan 0.0394V seperti yang ditunjukkan pada Gambar 4.3.23. Dari 4.3.24, Grafik
ni

Antara Panjang kantilever berbasis PZT-5H vs potensial listrik menunjukkan panjang yang lebih panjang
U

kantilever menunjukkan nilai potensial listrik yang tinggi dibandingkan dengan panjang pendek

penopang. Garis biru menunjukkan luas minimal potensial listrik. Sedangkan Merah menunjukkan dimana

potensi listrik maksimum yang dikembangkan.

70
 Gambar 4.3. 19 Panjang Cantilever 290 µ m Gambar 4.3. 20 Panjang Kantilever 300 µ m

a
ay
al
M
s

Gambar 4.3. 21 Panjang Kantilever 310 µ m Gambar 4.3. 22 Panjang Kantilever 320 µ m
ita
rs
ve
ni
U

Gambar 4.3. 23 Panjang Kantilever 330 µ m

71
 335

330

325

320

Panjang BaTiO 3 kantilever (µm) 315

310

305

300

295

290

285
1 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6

Potensi Listrik (V)

Gambar 4.3. 24 Grafik Panjang BaTiO 3 Kantilever vs Potensi Listrik

a
Tabel 4. 3 Nilai Perpindahan dan Potensi Listrik PZT-5H untuk panjang yang berbeda
ay
kantilever pada kondisi diastolik
al
PZT-5H
Simulasi Dihitung Persentase Maksimum
M

Maksimum Maksimum Perbedaan

Tegangan untuk
Panjangnya Pemindahan Perpindahan untuk b/w
( µ m) untuk 80mmHg 80mmHg Simulasi dan 80mmHg
s

( µ m) ( µ m) dihitung
(V)
Pemindahan
ita

nilai
rs

290 6.3581 6.3522 0,092% 1.3652

ve
ni

300 7.4387 7.4380 0,009% 1.5259

U

310 8.6425 8.6421 0,004% 1.6943

320 9,9787 9.9707 0,080% 1.8683

330 11.456 11.445 0,096% 2.0523

72
 Tabel 4. 4 Nilai Perpindahan dan Potensi Listrik BaTiO 3 untuk panjang yang berbeda
kantilever pada kondisi diastolik

BaTiO 3
Simulasi Dihitung Persentase Maksimum
Maksimum Maksimum Perbedaan Tegangan untuk
Panjangnya Perpindahan untuk Perpindahan untuk b/w 80mmHg
(µm) 80mmHg 80mmHg (µm) Simulasi dan (V)
(µm) dihitung
Pemindahan
nilai

290 4.9803 4.9787 0,032% 1.0263

300 5.8247 5.8239 0,013% 1.1477

a
310 6.7653 6.7585 0,100% 1.2747
ay
al
320 7.809 7.799 0,128% 1.4065
M

330 8.9624 8.9552 0,080% 1.5455

s
ita

Berdasarkan hasil diatas seperti terlihat pada Tabel 4.3 dan 4.4, kantilever berbentuk U dengan
rs

lapisan penginderaan PZT-5H memberikan nilai perpindahan dan potensial listrik yang tinggi sebagai
ve

dibandingkan dengan BaTiO3. Kantilever yang lebih panjang menunjukkan kinerja dan sensitivitas yang lebih baik
ni

sensor meningkat untuk kantilever yang lebih lama yang menunjukkan defleksi yang lebih besar karena seragam
U

distribusi tegangan di seluruh permukaan kantilever. Representasi grafis dari

kedua hasil bahan piezo elektrik terhadap panjangnya seperti yang ditunjukkan di bawah ini pada Gambar 4.3.25

dan 4.3.26.

73
 12.5

11.5

10.5

9.5
Perpindahan (µm)

8.5

7.5

6.5

5.5

4.5

3.5
285 290 295 300 305 310 315 320 325 330 335

Panjang Cantilever (µm)

a
BaTiO3
ay PZT-5H

Gambar 4.3. 25 Grafik Perpindahan kedua bahan piezo vs Panjang

Penopang
al

2.3
M

2.1

1.9
s
ita

1.7
Potensi Listrik (V)

1.5
rs

1.3

1.1
ve

0.9
ni

0.7

0,5
U

285 290 295 300 305 310 315 320 325 330 335

Panjang Cantilever (µm)

BaTiO3 PZT-5H

Gambar 4.3. 26 Grafik Potensi Listrik kedua bahan piezo vs Panjang

Penopang

74
 4.4 Diskusi

Berdasarkan hasil diatas telah dilakukan optimasi sensor, U-

kantilever berbentuk dengan lapisan penginderaan dari bahan PZT-5H memberikan perpindahan yang lebih baik dan

Nilai potensial listrik pada kondisi diastolik 80mmHg dibandingkan dengan penelitian sebelumnya yang dilakukan

oleh (KNJ et al., 2013) menggunakan kantilever berbentuk persegi panjang untuk memantau darah manusia

tekanan. Menurut hasil kantilever PZT-5H memberikan kinerja yang lebih baik pada perbedaan

panjang kantilever mulai dari 290µm-330µm dibandingkan dengan penelitian sebelumnya di PT

panjang yang berbeda berdasarkan Tabel 3.2. Hasil penelitian menunjukkan bahwa, kantilever dengan bentuk U membaik

sensitivitas sensor dan mengurangi ukuran sensor dengan menunjukkan perpindahan dan

nilai potensial listrik sebesar 11,456 µ m dan 2.0523V pada panjang kantilever 330 µ tikar

kondisi diastolik 80mmHg yang lebih dari nilai target. Yang menunjukkan itu

a
ay
kantilever dengan bentuk U memberikan kinerja yang lebih baik untuk memantau tekanan darah manusia

karena kantilever bentuk-U akan bertindak sebagai dua kantilever terpisah identik yang sesuai
al

ke dua kaki dan menunjukkan bahwa kantilever dengan panjang yang lebih panjang memberikan defleksi yang lebih besar dan
M

nilai potensial listrik, meningkatkan sensitivitas sensor karena distribusi seragam

s

Tekanan di seluruh permukaan kantilever. Grafik 4.4.1 –4.4.2 membandingkan perpindahan

ita

dan nilai potensial listrik kantilever PZT-5H berbentuk U pada kondisi diastolik
rs

80mmHg dengan studi Sebelumnya. Grafik 4.4.3 membandingkan nilai perpindahan pada perbedaan
ve

panjang kantilever PZT-5H berbentuk U dengan panjang PZT persegi panjang yang berbeda
ni

kantilever pada kondisi diastolik 80mmHg.

U

75
 14

12 11.456

10

7.5263
8
Perpindahan (µm)

Tekanan (Pa)

Berbentuk U. Berbentuk Persegi Panjang

Gambar 4.4. 1 Perbandingan nilai perpindahan yang disimulasikan pada kondisi diastolik
antara kantilever berbentuk U dan persegi panjang

a
ay
al

2.5
M

2.0523
2
s
ita

1.5
Potensi Listrik (V)

rs

1
0.7664
ve

0,5
ni

0
U

Tekanan (Pa)

Berbentuk U. Berbentuk Persegi Panjang

Gambar 4.4. 2 Perbandingan nilai potensial listrik simulasi pada kondisi diastolik
antara kantilever berbentuk U dan persegi panjang

76
 14

12 11.456

9,9787
10
8.6425

7.4387 7.5263
Perpindahan (µm)

8
6.3581 6.4466

6 5.4863
4.6395
3.8937
4

0
290 300 310 312.5 320 325 330 337.5 340 350

Panjang Cantilever (µm)

Berbentuk U. Berbentuk Persegi Panjang

a
Gambar 4.4. 3 Perbandingan simulasi nilai perpindahan pada panjang kantilever yang berbeda perbandingan antara
kantilever berbentuk U dan kantilever berbentuk persegi panjang
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

77
 BAB 5: KESIMPULAN DAN SARAN

5.1 Kesimpulan

Sensor berbasis kantilever piezoelektrik MEMS berbentuk U untuk tekstil pintar

monitor tekanan darah manusia telah berhasil dirancang dan disimulasikan menggunakan

Perangkat lunak COMSOL Multiphysics. Untuk menganalisis kinerja sensor, berbeda

bahan piezoelektrik digunakan sebagai lapisan penginderaan kantilever. Dari simulasi yang dioptimalkan

Hasil yang diperoleh, PZT-5H menunjukkan potensial listrik maksimum di seluruh elektroda sensor

dan perpindahan untuk tekanan darah diastolik manusia normal (80mmHg) dibandingkan dengan

BaTiO 3. Dimana nilai displas dan potensial listrik sebesar 11,456 µ m dan 2.0523V

pada kondisi diastolik lebih besar dari displacement dan potensial listrik sebelumnya

studi adalah 7.5263 µ m dan 0.7664V dilakukan oleh (KNJ et al., 2013). Saat masukan diterapkan

a
ay
tekanan meningkat, potensial listrik melintasi elektroda dan perpindahan kantilever
al
akhir bebas juga meningkat. Oleh karena itu PZT-5H adalah bahan piezoelektrik yang relatif lebih sensitif
M

untuk MEMS sensor tekanan darah piezoelektrik. Kami menerapkan rentang tekanan yang berbeda

antara tekanan darah rendah sampai tekanan darah tinggi. Potensi listrik yang lebih tinggi mungkin
s
ita

praktis dalam aplikasi yang membutuhkan elemen penginderaan piezoelektrik. Sedangkan bentuk U-

kantilever memungkinkan dimensi kantilever diminimalkan, terutama lebarnya. Jika L >> W,

rs

dengan 'L' adalah panjang kantilever dan 'W' adalah lebar setiap kaki, kantilever dengan bentuk U.
ve

akan bertindak sebagai dua kantilever terpisah identik yang sesuai dengan dua kaki karena ini
ni

Alasan ukuran sensor berkurang dibandingkan dengan desain penelitian sebelumnya. Optimasi
U

dimensi sensor telah dilakukan pada panjang kantilever yang berbeda untuk meningkatkan

sensitivitas sensor. Dari hasil yang diperoleh menunjukkan bahwa kantilever yang lebih panjang memberikan yang lebih baik

kinerja dan meningkatkan sensitivitas sensor untuk kantilever yang lebih lama menampilkan

perpindahan yang lebih besar dan nilai potensial listrik pada kondisi diastolik. Pintar

piezoelektrik berbentuk U kantilever berbasis sensor tekanan darah memiliki perilaku linier tinggi,

fleksibilitas tinggi, sensitivitas tinggi, juga merupakan metode penginderaan non-invasif, jadi PZT-5H

78
 Sensor tekanan darah berbasis kantilever berbentuk U berguna untuk memantau manusia dengan tepat

kesehatan.

5.2 Rekomendasi

Penelitian ini telah berhasil mensimulasikan bentuk kantilever yang berbeda

seperti E-shaped, T-shaped, Pi Shaped atau Coupled Shaped desain kantilever dan

bahan yang berbeda sebagai lapisan penginderaan kantilever seperti PVDF dan ZnO juga bisa

Dianggap karena bahan tersebut ringan dan cocok untuk bahan ringan

aplikasi seperti pakaian yang akan diusulkan untuk penelitian di masa depan. Simulasi berbentuk U

sensor tekanan darah berbasis kantilever juga dapat digunakan untuk parameter kesehatan manusia lainnya

seperti pemantauan suhu tubuh manusia. Selain itu, desain sensornya adalah

sedang disimulasikan menggunakan COMSOL Multiphysics Software perlu dibuktikan dengan fabrikasi

a
ay
sensor. Ini untuk memastikan sensor berbasis kantilever piezoelektrik berbentuk U mampu

berfungsi seperti dalam simulasi.

al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

79
 REFERENSI

Abdal, A., & Leong, K. (2017). Mekanisme Pembengkokan Pra-Tekanan Piezoelektrik untuk
Pemanen Energi Berbasis Dampak. Makalah dipresentasikan di IOP Conference Series: Material Science
and Engineering.

Abdul-Razak, S., Daher, AM, Ramli, AS, Ariffin, F., Mazapuspavina, MY,
Ambigga, KS,. . . Nor-Ashikin, MNK (2016). Prevalensi, kesadaran, pengobatan, kontrol, dan
determinan sosio demografis hipertensi pada orang dewasa Malaysia. BMC kesehatan
masyarakat, 16 ( 1), 351.

Agarwal, BJ, & Agarwal, S. (2011). Tekstil Kinerja Terintegrasi dirancang untuk
Aplikasi Biomedis. Makalah dipresentasikan pada Konferensi Internasional 2011 tentang Rekayasa
dan Teknologi Biomedis IPCBEE.

Alaei, Z. (2016). Peningkatan Daya dalam Pemanenan Energi Piezoelektrik.

Allen, JJ (2007). Pengantar MEMS (MicroElectroMechanical Systems): Sandia

Laboratorium Nasional (SNL-NM), Albuquerque, NM (Amerika Serikat).

a
Ansari, MZ, & Cho, C. (2008). Sebuah studi tentang peningkatan kepekaan persegi panjang
microcantilever digunakan dalam biosensor. Sensor, 8 ( 11), 7530-7544.
ay
Anton, SR, & Sodano, HA (2007). Tinjauan tentang pemanenan listrik menggunakan piezoelektrik
al
bahan (2003–2006). Bahan dan Struktur Cerdas, 16 ( 3), R1.
M

Arregui, FJ (2009). Sensor berdasarkan bahan berstruktur nano: Peloncat.

Association, AH (2015). Memahami Pembacaan Tekanan Darah.

s
ita

Bedekar, VN, & Tantawi, KH (2017). Sensor dan Aktuator MEMS Maju
Mekatronika dan Perangkat MEMS II ( hlm. 195-216): Springer.
rs

Benjeddou, A. (2018). Piezoelektrik nonlinier tergantung lapangan: tinjauan terfokus.

ve

Jurnal Internasional Bahan Cerdas dan Nano, 9 ( 1), 68-84.

ni

Berglin, L. (2013). Tekstil pintar dan teknologi yang dapat dikenakan: Högskolan i Borås.
U

Bogue, R. (2014). Menuju pasar triliun sensor. Ulasan Sensor, 34 ( 2), 137-142.

Caliò, R. (2013). Solusi Pemanenan Energi piezoelektrik. Sensor.

Ciuti, G., Ricotti, L., Menciassi, A., & Dario, P. (2015). Teknologi sensor MEMS untuk
aplikasi yang berpusat pada manusia dalam perawatan kesehatan, aktivitas fisik, keamanan dan penginderaan
lingkungan: tinjauan tentang kegiatan penelitian di Italia. Sensor, 15 ( 3), 6441-6468.

DevaPrasannam, J., & JackulineMoni, D. (April-2014). Desain Berbasis Nanotube

Sensor untuk Aplikasi Biomedis. Jurnal Internasional Penelitian Ilmiah &
Rekayasa, 5 ( 4), 3.

80
 Drd. eng. Vlad Dragos DIACONESCU, A. pe LV-APD, Assoc. prof. eng.
Rodica DIACONESCU Ph D, D. e. IR, & D, Hal. E. AGP (2015). SENSOR UNTUK TEKSTIL
CERDAS.

Eshkeiti, A. (2015). Sensor dpt dipakai cetak baru yang dapat direnggangkan untuk memantau tubuh
gerakan, suhu dan elektrokardiogram, bersama dengan sirkuit pembacaan:
Universitas Michigan Barat.

Dasar-dasar Teknologi Piezo.

Ghosh, A., Roy, S., & Sarkar, C. (2013). Desain dan simulasi berbasis MEMS
sensor tekanan piezoresistif untuk meningkatkan sensitivitas. Makalah dipresentasikan pada Konferensi
Internasional 2013 tentang Teknologi Hemat Energi untuk Keberlanjutan.

Giovanelli, D., & Farella, E. (2016). Resistor penginderaan gaya dan evaluasi teknologi
untuk penginderaan tekanan tubuh yang dapat dikenakan. Jurnal Sensor, 2016.

Henock, D. (2011). Sastra dari sudut pandang tekstil pintar.

https://www.mems-exchange.org/MEMS/what-is.html .

a
ay
Karumuri, SR, Sravani, KG, Sailaja, SD, Sekhar, JV, Srinivas, Y., &
Bhattacharjee, R. (2012). Teknologi Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS). Arsip
al
Penelitian Sains Terapan, 1, 307-314.
M

KNJ, JMP, Sowmya, S., & Mano, S. (2013). Simulasi Sensor Berbasis Kantilever
untuk Aplikasi Tekstil Cerdas.
s

Kutzner, C., Lucklum, R., Torah, R., Beeby, S., & Tudor, J. (2013). Layar novel
ita

mencetak sensor kelembaban pada tekstil untuk aplikasi tekstil pintar. Makalah
dipresentasikan pada Solid-State Sensor, Aktuator dan Sistem Mikro (TRANSDUCERS &
rs

EUROSENSORS XXVII), 2013 Transduser & Eurosensors XXVII: The 17th International
Conference on.
ve

Lauren. (2018). Hipertensi. dari http://health.family.my/types-of-

penyakit / hipertensi
ni
U

Minazara, E., Vasic, D., & Costa, F. (2008). Sepeda panen generator piezoelektrik
getaran energi untuk memasok perangkat portabel. Makalah disajikan pada Prosiding Konferensi
Internasional tentang Energi Terbarukan dan Kualitas Daya (ICREPQ'08).

Nagod, S., & Halse, S. (2017). Evolusi Teknologi MEMS. Evolusi, 4 ( 12).

Nguyen, N.-T., Shaegh, SAM, Kashaninejad, N., & Phan, D.-T. (2013). Rancangan,
fabrikasi dan karakterisasi sistem pengiriman obat berdasarkan teknologi lab-on-a-chip. Ulasan
pengiriman obat lanjutan, 65 ( 11-12), 1403-1419.

81
 Nia, EM, Zawawi, NAWA, & Singh, BSM (2017). Tinjauan tentang energi berjalan
pemanenan menggunakan bahan piezoelektrik. Makalah dipresentasikan di IOP Conference Series: Material
Science and Engineering.

Panwar, LS, Kala, S., Panwar, V., Panwar, SS, & Sharma, S. (2017). Desain
Sensor tekanan darah piezoelektrik MEMS. Makalah dipresentasikan pada Advances in Computing,
Communication & Automation (ICACCA) (Fall), 2017 Konferensi Internasional ke-3.

Paradiso, R., De Toma, G., & Mancuso, C. (2017). Setelan Tekstil Cerdas. Mulus
Pemantauan Perawatan Kesehatan: Kemajuan dalam Perangkat Wearable, Attachable, dan Invisible, 251.

Paradiso, R., De Toma, G., & Mancuso, C. (2018). Setelan Tekstil Cerdas Mulus
Pemantauan Perawatan Kesehatan ( hlm. 251-277): Springer.

Porcelli, EB, & Victo Filho, S. (2018). Induksi Gaya pada Jarak Dilakukan oleh
Bahan piezoelektrik.

Presti, DL, Massaroni, C., Formika, D., Giurazza, F., Schena, E., Saccomandi, P.,. . .
Muto, M. (2017). Pemantauan detak jantung dan pernapasan selama pemeriksaan MR dengan

a
tekstil pintar bersensor. Makalah dipresentasikan pada Instrumentasi dan Pengukuran Teknologi
ay
Conference (I2MTC), 2017 IEEE International.
al

Rödig, T., Schönecker, A., & Gerlach, G. (2010). Sebuah survei tentang keramik piezoelektrik
M

untuk aplikasi generator. Jurnal American Ceramic Society, 93 ( 4), 901-

912.
s

Sarma, K. (2018). Pemanenan Energi dari Sumber Getaran Menggunakan Piezo-MEMS

ita

Penopang. Institut Teknologi Asia.

rs

Serene, IM, RajasekharaBabu, M., & Alex, ZC (2018). Sebuah studi dan analisis
Bahan microcantilever untuk deteksi penyakit. Materi Hari Ini: Prosiding, 5 ( 1), 1219-1225.
ve

Sharapov, V. (2011). Informasi umum tentang sensor piezoelektrik Piezoceramic

ni

Sensor ( hlm. 1-24): Springer.

U

Siddaiah, N., Manjusree, B., Aditya, A., & Reddy, D. (2017). Simulasi Desain dan
Analisis Kantilever Kopling Ganda Berbentuk U dan Persegi Panjang MEMS.

Strohmeier, P., Knibbe, J., Boring, S., & Hornbæk, K. (2018). zPatch: Hibrida
Input eTextile Resistif / Kapasitif. Makalah dipresentasikan pada Prosiding Konferensi Internasional
Kedua Belas tentang Interaksi Berwujud, Tertanam, dan Terwujud.

Syduzzaman, M., Patwary, SU, Farhana, K., & Ahmed, S. (2015). Tekstil pintar dan
teknologi nano: gambaran umum. J. Teks. Sci. Eng, 5, 1000181.

82
 Tian, W., Ling, Z., Yu, W., & Shi, J. (2018). Tinjauan Piezoelektrik Skala MEMS
Pemanen Energi. Ilmu Terapan, 8 ( 4), 645.

van Heeren, H., & Salomon, P. (2007). MEMS: Perkembangan Terbaru, Masa Depan
Petunjuk arah. Sekolah Teknik Mesin dan Manufaktur Wolfson, Universitas
Loughborough, Loughborough.

Vashist, SK (2007). Tinjauan tentang microcantilever untuk aplikasi penginderaan. Jurnal dari
Nanoteknologi Online, 3 ( 11), 1113-1128.

Wang, ZL (2011). Nanogenerators untuk perangkat dan sistem mandiri: Georgia

Institut Teknologi.

Tonton, PFT (2002). Pengantar MEMS (Sistem Mikro-elektromekanis).

Wei, Y., Torah, R., Yang, K., Beeby, S., & Tudor, J. (2012a). Sebuah fabrikasi baru
proses untuk mewujudkan struktur kantilever piezoelektrik untuk aplikasi sensor kain pintar. Makalah
disajikan pada Sensor, 2012 IEEE.

Wei, Y., Torah, R., Yang, K., Beeby, S., & Tudor, J. (2012b). Layar dicetak kapasitif
balok kantilever berdiri bebas digunakan sebagai detektor gerakan untuk sensor yang dapat dikenakan.
Procedia Engineering, 47, 165-169.

a
ay
al
M
s
ita
rs
ve
ni
U

83
 U
ni
ve
rs
ita
s
M
al
ay
a

84