24 Masruroh, dkk : Penentuan ukuran Kristal …melalui pendekatan persamaan Debye Scherrer

Penentuan ukuran Kristal (crystallite size) lapisan tipis PZT dengan metode XRD
melalui pendekatan persamaan Debye Scherrer

Masruroh1)*, Algafari Bakti manggara3), Titus Papilaka3) dan Rachmat Triandi T2)
1)
Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Brawijaya
2)
Jurusan Kimia, FMIPA, Universitas Brawijaya
3)
Program pasca sarjana program studi Kimia, FMIPA, Universitas Brawijaya
*email : rafizen_02@yahoo.com

Ukuran kristal (crystallite size) dapat dihitung dengan menggunakan persamaan Debye Scherrer
dengan nilai panjang gelombang, intensitas, 2θ, dan FWHM yang dihasilkan dari uji XRD.
Persamaan Debye Schrerrer menunjukkan bahwa nilai ukuran kristal yang dihasilkan akan
berbanding terbalik dengan nilai FWHM, sedangkan nilai FWHM dipengaruhi oleh intensitas
masing-masing bidang kristal, dimana semakin tinggi intensitas maka nilai FWHM semakin kecil.
Dalam paper ini perhitungan ukuran kristal dilakukan pada lapisan tipis PZT, hasil perhitungan
diperoleh ukuran kristal sebesar 22,22 nm.

Kata kunci: Ukuran Kristal, persamaan Debye Scherrer, XRD.

PENDAHULUAN logam yang ditembak [1]. Gejala

Penentuan karakter struktural material,
baik dalam bentuk pejal atau partikel,
kristalin atau amorf, merupakan
kegiatan inti dalam ilmu material.
Pendekatan umum yang diambil adalah
meneliti material dengan berkas radiasi
atau partikel berenergi tinggi. Radiasi
bersifat elektromagnetik dan dapat
bersifat monokromatik maupun
polikromatik. Dengan memanfaatkan
hipotesa de Broglie mengenai dualitas
frekuensi radiasi dan momentum
partikel, maka gagasan tentang panjang
gelombang dapat diterapkan dalam
eksitasi elektron.
Sinar X adalah suatu radiasi
elektromagnetik dengan panjang
gelombang (λ ≈ 0,1 nm) yang lebih
pendek dari panjang gelombang cahaya
tampak (λ = 400 – 800 nm). Apabila
elektron ditembak dengan cepat dalam
suatu ruang vakum maka akan
dihasilkan sinar X. Radiasi yang
dipancarkan dapat dipisahkan menjadi
dua komponen yaitu (a) spektrum
kontinu dengan rentang panjang
gelombang yang lebar dan (b)
spektrum garis sesuai karakteristik
interferensi dan difraksi adalah hal
umum dalam bidang cahaya.
Percobaan fisika dasar standar untuk
menentukan jarak antar kisis dilakukan
dengan mengukur sudut berkas difraksi
dari cahaya yang diketahui panjang
gelombangnya. Persyaratan yang harus
dipenuhi adalah kisi bersifat periodi
dan panjang gelombang cahaya
memiliki orde yang sama dengan jarak
kisi yang akan ditentukan.
Percobaan ini secara langsung
dapat dikaitkan dengan penerapan sinar
X untuk menentukan jarak kisi dan
jarak antar atom dalam kristal.
Pembahasan difraksi kisi kristal dengan
kisi – kisi tiga dimensional cukup
rumit, namun Bragg
menyederhanakannya dengan
menunjukkan bahwa difraksi ekivalen
dengan pemantulan simetris oleh
berbagai bidang kristal, asalkan
persyaratan tertentu dipenuhi.
Pemanfaatan metode difraksi
memegang peranan penting untuk
analisis padatan kristalin. Selain untuk
meneliti ciri utama struktur, seperti
parameter kisi dan tipe struktur kristal,
 Masruroh, dkk : Penentuan ukuran Kristal …melalui pendekatan persamaan Debye Scherrer
juga dimanfaatkan untuk mengetahui
susunan berbagai jenis atom dalam
kristal, kehadiran cacat, orientasi, dan
ukuran butir. Ukuran Kristal lapisan
tipis PZT dihitung dari hasil XRD
dengan merujuk pada puncak-puncak
pola difraktometer melalui persamaan
Debye Scherrer.
KAJIAN PUSTAKA
Difraksi sinar-X merupakan suatu
teknik yang digunakan menentukan
sistem kristal (kubus, tetragonal,
ortorombik, rombohedral, heksagonal,
monoklin, triklin), kualitas kristal
(kristal tunggal, polikristalin, dan
amorf), simetri kristal, menentukan
cacat kristal, mencari parameter kristal
(parameter kisi, jarak antar atom,
jumlah atom per unit sel), identifikasi
campuran dan analisis kimia [4].
Prinsip kerjanya yaitu ketika sinar-X
yang monokromatik jatuh pada sebuah
kristal maka sinar-X tersebut akan
dihamburkan ke segala arah, tetapi
karena ada keteraturan letak atom-
atom dalam kristal maka pada arah
tertentu saja gelombang hambur akan
berinterferensi konstruktif dan pada
arah lainnya akan berinterferensi
destruktif [1]. Atom-atom dalam
kristal dapat dipandang sebagai unsur
yang membentuk keluarga bidang
datar yang mempunyai jarak
karakteristik antara bidang [3]. Syarat
yang diperlukan agar berkas yang
sejajar ketika dihamburkan atom-atom
kristal akan berinterferensi konstruktif
adalah memiliki beda jarak lintasan
tepat nλ, dimana selisih jarak antara 2
berkas sejajar adalah 2d sin θ, dan
memenuhi persamaan Bragg.
nλ = 2d sin θ (1.1)
Keterangan:
25
λ = panjang gelombang sinar-X (Å)
d = jarak antar kisi (Å)
θ = sudut difraksi (derajat)
n = 1,2,3, dst. (orde difraksi)
Sampel untuk analisis XRD dapat
berupa bubuk, padatan, lapisan tipis,
atau pita. Jumlah minimum sampel
yang diperlukan hanya beberapa
miligram namun dengan jumlah yang
besar (gram) maka akan didapatkan
keakuratan yang lebih baik. Metode
XRD merupakan metode non
destruktif, artinya sampel tidak rusak
padat saat dianalisis dan dapat
dipergunakan untuk analisis yang
lainya.
Hasil analisis dengan XRD
adalah berupa difraktogram yang
berupa susunan garis atau puncak
dengan intensitas dan posisi berbeda-
beda yang spesifik pada material yang
dianalisis. Tiap fase kristalin
mempunyai susunan difraktogram
yang karakteristik, maka dapat
digunakan sebagai sidik jari untuk uji
identifikasi [3]. Penentuan kesesuaian
struktur kristal yang terbentuk
dilakukan dengan mencocokkan setiap
puncak yang muncul pada
difraktogram pada nilai sudut 2θ dan d
tertentu hasil analisis dengan data dari
JCPDS (Joint Committee Powder
Diffraction Standar) sehingga
diperoleh informasi orientasi bidang
kristal yang terbentuk. Jika semua
orientasi bidang kristal teridentifikasi
dipastikan struktur kristal terdapat
kesesuain.
Difraksi sinar X dapat
digunakan untuk menentukan ukuran
kristal (crystallite size) dengan fase
tertentu [3]. Penentuannya merujuk
pada puncak-puncak utama pola
difraktogram melalui pendekatan
persamaan Debye Scherrer yang
dirumuskan:
26 Masruroh, dkk : Penentuan ukuran Kristal …melalui pendekatan persamaan Debye Scherrer

gelombang, intensitas, 2θ, dan FWHM

(1.2)
D=
Hasil modifikasi persamaan Debye
Scherrer digunakan untuk menentukan
satu nilai ukuran kristal [2].
Persamaan modifikasi Debye Scherrer
dirumuskan sebagai berikut:
ln β = ln = ln + ln
Keterangan:
D = ukuran kristal
K = faktor bentuk dari kristal (0,9-1)
λ = panjang gelombang dari sinar-X
(1,54056 Å)
β = nilai dari Full Width at Half Maximum
(FWHM) (rad)
θ = sudut difraksi (derajat)
yang dihasilkan dari uji XRD.
HASIL DAN PEMBAHASAN
Gambar 1 menunjukkan difraktogram
lapisan tipis PZT. Puncak-puncak yang
muncul semua teridentifikasi dan terdapat
kesesuaian dengan data standar dari
JCPDS No. 33-784 yang mengindikasikan
bahwa struktur perovskit dari PZT dengan
orientasi bidang kristal (001), (110), (111),
(1.3) (200), (201) & (210), (211), (002), dan
(310) yang spesifik untuk struktur kristal
perovskit PZT. Munculnya sebaran
orientasi bidang kristal menunjukkan
bahwa serbuk PZT yang dihasilkan
memiliki struktur polikristalin.

orientasi
komposisi
2θ bidang 1/cos θ FWHM (β) rad ln 1/cos θ (x) ln β (y)
Zr/Ti
kristal
22,17644 100 1,018421872 0,007679 -4,86928 0,018254
31,20162 110 1,037784671 0,004538 -5,39537 0,037088
38,46446 111 1,058814485 0,006981 -4,96459 0,057150
44,76889 50:50 200 1,079252188 0,011169 -4,49459 0,076268
50,42724 201,210 1,103466935 0,015358 -4,17613 0,098457
55,81587 211 1,128667079 0,006283 -5,06995 0,121037
64,94961 022 1,182987094 0,011169 -4,49459 0,168043

METODE PENELITIAN
Karakterisasi struktur kristal lapisan tipis
PZT diobservasi dengan XRD pada sudut
2θ = 15o - 80o, dengan sumber sinar X dari
logam tembaga (Cu) dengan panjang
gelombang (λ) Kα1 sebesar 0,15406 nm.
Hasil XRD diperoleh difraktogram yang
hasilnya dibandingkan dengan
difraktogram PZT standar dari JCPDS no
33-784 untuk PZT. Perhitungan ukuran
kristal dihitung dengan menggunakan Gambar 1 Difraktogram lapisan tipis PZT
persamaan (1.3) dengan nilai panjang
 Masruroh, dkk : Penentuan ukuran Kristal …melalui pendekatan persamaan Debye Scherrer 27

Ukuran kristal dapat dihitung Hasil perhitungan ukuran kristal lapisan tipis
dengan menggunakan persamaan (1.3) PZT menunjukkan ukuran kristal sebesar 22,22
dengan nilai panjang gelombang, nm.
intensitas, 2θ, dan FWHM yang telah
dihasilkan dari uji XRD. Persamaan Debye
Schrerrer menunjukkan bahwa nilai ukuran
kristal yang dihasilkan akan berbanding
terbalik dengan nilai FWHM, sedangkan
nilai FWHM dipengaruhi oleh intensitas
masing-masing bidang kristal, dimana
semakin tinggi intensitas maka nilai
FWHM semakin kecil. Berdasarkan
persamaan 1.3 dibuat grafik hubungan ln
(1/cos θ) sebagai sumbu x dan ln β sebagai Gambar 2 Grafik hubungan ln (1/cos θ) versus ln β
sumbu y sehingga diperoleh nilai intersep
yang nilainya sama dengan ln (Kλ/D),
maka nilai ukuran kristal (D) = (Kλ /e(nilai KESIMPULAN
intersep)
). Sebagai kesimpulan, paper ini telah
Perhitungan nilai (ln 1/cos θ) dan mendemonstrasikan perhitungan ukuran
(ln β) hasil analisis XRD lapisan tipis PZT kristal dengan menggunakan persamaan
pada semua orientasi bidang kristal Debye Scherrer untuk lapisan tipis PZT.
ditunjukkan pada tabel berikut: Nilai panjang gelombang, intensitas, 2θ,
dan FWHM dihasilkan dari uji XRD. Dari
Dari persamaan modifikasi Debye persamaan modifikasi Debye Schrerrer
Schrerrer pada tabel 1 dibuat grafik dibuat grafik hubungan ln (1/cos θ) sebagai
hubungan ln (1/cos θ) sebagai sumbu x dan sumbu x dan ln β sebagai sumbu y
ln β sebagai sumbu y sehingga diperoleh sehingga diperoleh nilai intersep yang
nilai intersep yang nilainya sama dengan ln nilainya sama dengan ln (Kλ/D), dan nilai
(Kλ/D) seperti ditunjukkan pada Gambar ukuran kristal (D) didapatkan hubungan
2, dan nilai ukuran kristal (D) didapatkan (D) = (Kλ /e(nilai intersep)). Dari hubungan
hubungan D = (Kλ /e(nilai intersep)). Dari nilai intersep, nilai K dan λ maka dapat
grafik diperoleh nilai intersep sebesar - dihitung ukuran Kristal (D). Hasil
5,088 dan nilai K = 0,89 serta λ= perhitungan ukuran kristal lapisan tipis
0,15406 nm. Dari hubungan nilai intersep, PZT menghasilkan ukuran kristal sebesar
nilai K dan λ maka dapat dihitung ukuran 22,22 nm.
Kristal.
Hubungan antara ukuran Kristal, nilai
intersep, K dan λ ditunjukkan oleh
persamaan di bawah ini:

Ukuran Kristal (D) =

= = 22,22 nm
28 Masruroh, dkk : Penentuan ukuran Kristal …melalui pendekatan persamaan Debye Scherrer
DAFTAR PUSTAKA
[1] Cullity, B.D. dan Stock, S.R, 2001.
Element of X-Ray Diffraction. Third
Edition, New Jersey : Prentice Hall.
[2] Monshi, Ahmad., Mohammad, R. F.,
Mohammad, R. M., 2012. Modified
Scherrer Eqquation to Estimate More
Accurately Nano-Crystallite Size
Using XRD. World Journal of Nano
Science and Engineering, Vol. 2, pp.
154-160.
[3] West, Anthony. R., 1989. Solid State
Chemistry and Its Application. New
York: John Wiley and Sons.
[4] Zakaria, 2003. Analisis Kandungan
Mineral Magnetik pada Batuan
Beku dari Daerah Istimewa
Yogyakarta dengan Metode X-Ray
Difraction. Fakultas Keguruan dan
Ilmu Pendidikan, Kendari: Universitas
Haluoleo.
Masruroh, dkk : Penentuan ukuran Kristal …melalui pendekatan persamaan Debye Scherrer 29