ISSN : 0854 – 5405

Jurnal
KERAMIK DAN GELAS INDONESIA
JOURNAL OF THE INDONESIAN CERAMICS AND GLASS

Vol. 26 No. 1 Juni 2017

Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia adalah majalah ilmiah yang diterbitkan dua kali dalam setahun
untuk menyebarluaskan hasil-hasil penelitian dan pengembangan serta ulasan ilmiah tentang
keramik dan gelas kepada lembaga penelitian dan pengembangan, ilmuwan, dan peminat lainnya.
Tulisan dalam Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia dapat dikutip dengan menyebutkan sumbernya.

Penanggung Jawab
Kepala Balai Besar Keramik
Ir. Supomo, M.Sc

Editor in Chief
Ir. Hernawan, MT

Tim Penilai Kelayakan/Mitra Bestari

DR. Handoko Setyo Kuncoro, ST, MT, M.Eng, Ph.D
Dr. Eneng Maryani, S.Si, MT
Dra. Sri Cicih Kurniasih, M.Si
Drs. Fanani Hamzah, MS
Dra. Naniek Sulistarihani, MS
DR. Ir. Aristianto Muslim M. Barus, MSCE
Dr. Diana Rakhmawaty E, M.Si
Prof. Dr. Ir. Tarzan Sembiring
Prof. DR. Ir. Bambang Sunendar Purwasasmita, M.Eng
DR. Aditya Ramelan
Drs. Suhanda
Ir. Subari

Alamat
Balau Besar Keramik
Jl. Ahmad Yani No. 392 Bandung 40272
Telp: (022) 7206221, 7207115, 7206296
Fax: (022) 7205322
e-mail: keramik@bbk.go.id

Berdasarkan SK LIPI No. 742/E/2012dan Nomor Akreditasi : 461/AU2/P2MI/LIPI/08/2012

ditetapkan sebagai majalah berkala ilmiah terakreditasi
 ISSN : 0854 – 5405

Jurnal
KERAMIK DAN GELAS INDONESIA
JOURNAL OF THE INDONESIAN CERAMICS AND GLASS

Vol. 26 No. 2 Desember 2017

DAFTAR ISI

Halaman
1. Studi Awal Pemanfaatan Limbah Lumpur Pengolahan Ilmenit
Sebagai Bahan Magnet
Preliminary Study of Utilization of Ilmenite Processing Mud
Waste as a Magnet Material 52-60
Eneng Maryani, Tiar Ramadhan, Herlina Damayanti
2. Perkembangan Film Tipis Zirkonia: Sifat, Sintesis dan Aplikasi
Progress in Zirconia Thin Films: Properties, Synthesis, and
Application 61-79
Ratih Resti Astari dan Rifki Septawendar
3. Studi Sifat Elektronik Lapisan Nano Tunggal Sic 3c Dengan
Metode Perhitungan Prinsip Pertama
Study of SiC 3C Single Nano Layer Electronic Properties with
First Principle Calculation 80-86
Muhammad Syaifun Nizar dan Ayu Ratnasari
4. Sintesis Precipitated Calcium Carbonated Dengan Asam
Stearat Sebagai Pengubah Permukaan
Synthesis of Precipitated Calcium Carbonated With Acid Stearat
As A Surface Modifier 87-95
Citra Fitriani K, Dede Taufik, Kristanto Wahyudi, dan Hernawan
5. Pembuatan dan Karakterisasi Material Cutting Tools Alumina
Aditif Titania
Fabrication and Characterization Cutting Tools Alumina Aditif
Titania 96-102
Maulid Purnawan, Soewanto Rahardjo, dan M. Sobron Lubis
6. Kesesuaian Sni Dengan Standar Internasional Pada Produk
Kloset Duduk Keramik
Compatibility of Indonesian National Standard (SNI) to
Internastional Standards on WC
Nurhidayati, Ratih Resti Astari, Hendra Kustiawan 103-113
 KATA PENGANTAR

Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia Vol.26 No.2 Desember 2017 ini menyajikan 6
(enam) makalah yang ditulis oleh peneliti Balai Besar Keramik dan instansi litbang lainnya.
Makalah-makalah tersebut membahas pemanfaatan limbah ilmenite sebagai bahan
magnet, kajian film tipis zirconia, simulasi dan perhitungan lebar pita energi lapisan nano
tunggal SiC 3C, sintesis precipitated calcium carbonated dengan asam stearat sebagai
pengubah permukaan, pembuatan material cutting tools alumina aditif titania dan
kesesuaian sni dengan standar internasional pada produk kloset duduk keramik.
Pada makalah pertama barium ferri oksida yang dihasilkan termasuk jenis magnet
keras karena memiliki nilai koersivitas (Hcj) = 0,638-0,711 kOe. Karakteristik magnet
lainnya yaitu nilai induksi remanen (Br) = 0,16-0,22 kG, energi maksimal (Bhmax) = 0,001-
0,01 MGOe dan densitas = 3,43-3,50 g/cm3.
Pada makalah kedua mengkaji lapisan film tipis zirkonia yang memiliki prospek
sangat potensial untuk keramik, seperti konduktor ion oksigen dan sensor oksigen, sebagai
lapisan pembatas termal, untuk lapisan penyangga dalam perangkat superkonduktor, laser,
bidang katalis, sebagai bahan dielektrik, dan untuk penggunaan di bidang biomedis seperti
untuk implan dalam tubuh manusia
Pada makalah ketiga dengan menggunakan prinsip pertama, sifat listrik suatu
bahan pada ukuran skala nano dapat diprediksi dengan simulasi komputasi, sifat elektronik
lapisan tunggal nano SiC 3C dihitung density of state dan struktur pita energi. Hasil
komputasi SiC 3C lapisan nano tunggal dengan ukuran 1,3 x 1,3 nm ukuran sel kristal
3x3x1 didapatkan celah pita energi sebesar -1.7 eV mirip dengan semikonduktor tipe p
dengan pita konduksi minimum berada 8 eV diatas pita valensi.
Pada makalah keempat menunjukkan persen CaCO3 meningkat seiring dengan
penambahan asam stearat dengan persen teritinggi 99,387 %. dalam bubur menentukan
ukuran butir kapur yang dapat dicapai. Selain itu derajat putih (whiteness) dan derajat
kecerahan (brightness) meningkat secara signifikan seiring dengan penambahan asam
stearat, nilai yang tertinggi adalah whiteness 84,61 dan brightness 90,93 dengan
konsentrasi asam stearat 2,5%.
Pada makalah kelima menunjukkan hasil pembakaran pada suhu 1700C dengan
metode substitusi karbon yang bersumber dari sagar silikon karbida yang bertujuan
mengubah TiO2 menjadi TiC, bahan dengan komposisi 97% Al2O3, 3% TiO2 mempunyai
sifat yang lebih baik untuk dijadikan sebagai bahan cutting tools dengan kekerasan (vickers
hardness) 25,21GPa.
Pada makalah keenam hasil analisis gap dengan JIS dan EN, SNI kloset duduk
perlu perlu menambahkan pasal klasifikasi dan mengkaji pengujian serta syarat lulus uji
khususnya uji pembilasan (Bowl Surface Flush Test). Sesuai perkembangan teknologi, SNI
Kloset Duduk juga diharapkan dapat mengakomodir isu penghematan air (water saving
efficiency).
Hasil penelitian dan kajian di atas diharapkan dapat menyumbangkan kemajuan
teknologi keramik di Indonesia, sehingga tidak terlalu tertinggal dengan kemajuan teknologi
keramik di negara lain.

Redaksi
Perkembangan Film Tipis Zirkonia ... Ratih Resti Astari, dkk.

PERKEMBANGAN FILM TIPIS ZIRKONIA: SIFAT, SINTESIS DAN

APLIKASI
Progress in Zirconia Thin Films: Properties, Synthesis, and Application
Ratih Resti Astari dan Rifki Septawendar
Balai Besar Keramik, Jl. Jendral Ahmad Yani No.392 Bandung 40272
Naskah masuk: 20 November 2017, Revisi: 14 Desember 2017, Diterima: 28 Desember 2017

ABSTRAK
L apisan film tipis zirkonia merupakan bahan yang
memiliki sifat dan karakteristik mekanis dan fisis
yang sangat baik, serta sifat listrik dan kimia
yang baik seperti kekerasan yang tinggi,
konduktivitas ionik yang tinggi, indeks bias dan nilai band-gap
yang tinggi, sifat absorpsi yang rendah dan sifat adhesi yang
baik terhadap substrat, stabilitas termal yang tinggi, ketahanan
korosi yang baik, serta bioaktiv dan biokompatibilitas. Oleh
karena itu, lapisan film tipis zirkonia memiliki prospek
penggunaan yang sangat potensial untuk keramik, seperti
konduktor ion oksigen dan sensor oksigen, sebagai lapisan
pembatas termal, untuk lapisan penyangga dalam perangkat
superkonduktor, laser, bidang katalis, sebagai bahan
dielektrik, dan untuk penggunaan di bidang biomedis seperti
untuk implan dalam tubuh manusia. Makalah ini mengulas
sifat-sifat penting lapisan film tipis zirkonia termasuk di
dalamnya sintesis dan penggunaannya.

Kata Kunci: zirkonia, lapisan film tipis, sifat fisis dan mekanis,
sifat listrik, sifat optik, dan sifat kimia

ABSTRACT Z irconia thin films exhibit excellent mechanical and

physical, electrical, chemical properties such as
high hardness, high ionic conductivity, a high
refractive index and band gap values, low absorption and good
adhesion to substrates, thermal stability, corrosion resistance,
and good bioactivity and biocompatibility. Thus, zirconia thin
films have high potential applications in ceramics, as oxygen
ion conductors and sensors, as thermal barrier coatings, for
buffer layers in superconducting devices, laser mirrors, in
catalysis, as gate dielectric materials, and for biomedical field in
deployment as implants for humans. This paper briefly reviews
some properties of zirconia thin films including synthesis and
their some application.

Keywords: zirconia, thin films, mechanical and physical

properties, electrical properties, optical properties, chemical
properties
61
 Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia Vol. 26 No.2 Desember 2017 : 61 - 79

katalis [4, 6, 11], aplikasi biomedis,

I. PENDAHULUAN
refraktori, pigmen dan sebagai
Material keramik seperti zirkonia abrasif/pengikis [3, 5, 12]. Aplikasi
merupakan salah satu material oksida zirkonia sangat tergantung pada
yang banyak digunakan untuk aplikasi struktur kristalnya. Struktur kristal
di industri. Zirkonia murni mempunyai zirkonia ditentukan oleh jenis dan
sifat-sifat yang kurang baik[1], namun kandungan penstabilnya [2, 8, 13].
dengan penambahan oksida yang Yttria merupakan penstabil yang
mempunyai valensi lebih rendah, sifat- banyak dipelajari. Penambahan 2-3%
sifat kurang baik tersebut dapat mol yttria dapat menstabilkan
berubah sehingga menjadi material polikristal tetragonal zirkonia (TZP)
yang lebih potensial untuk berbagai [12] yang mempunyai sifat mekanik
macam aplikasi. Oleh karena itu, tertinggi (~1 GPa) namun mempunyai
zirkonia terstabilisasi menjadi salah ketahanan retak yang rendah (4–5
satu material yang menarik untuk MPa.m1/2) [2, 11, 14]. Sifat fisik
dipelajari dalam ilmu material, karena material yang unggul,
memiliki sifat yang sangat baik biokompatibilitas dan faktor estetika
meliputi konduktivitas ionik yang tinggi yang sangat baik membuat TZP
pada temperatur tinggi [2], kuat tekan menjadi material yang populer di
yang tinggi (1000 MPa – 1800 MPa), antara material keramik lainnya yang
ketahanan retak yang tinggi (8 digunakan dalam aplikasi biomedis
MPa.m1/2 – 13 MPa.m1/2), kekerasan khususnya dalam bidang ortopedi dan
Vickers yang tinggi sekitar 13 GPa - gigi [15,16]. Zirkonia Terstabilisasi
24 GPa, stabibilitas termal yang tinggi Sebagian/Partially stabilized zirconia
(titik didih 2680°C), inert dan (PSZ) dengan kandungan penstabil
biokompatibel, sehingga dapat yang lebih tinggi daripada TZP
diaplikasikan baik untuk tujuan menunjukkan karakteristik ketahanan
struktural maupun fungsional [3, 4, 5, retak yang tinggi (∼10 MPa.m1/2) dan
6, 7, 8, 9, 10]. Aplikasi zirkonia kekuatan mekanik yang lebih rendah
terstabilisasi misalnya untuk (500 MPa). Penambahan yttria hingga
perangkat elektronik temperatur tinggi 8 mol menghasilkan Zirkonia
(solid oxide fuel cells (SOFC), sensor Terstabilisasi Penuh/Fully Stabilized
pH temperatur tinggi, dan lain-lain), Zirconia (FSZ) yang mempunyai
62
Perkembangan Film Tipis Zirkonia ... Ratih Resti Astari, dkk.

konduktivitas ionik yang tinggi di potensial. Karakteristik material

antara zirkonia polimorf lainnya [2, 9, tersebut sangat baik, di antaranya
11, 14]. Oleh karena itu, FSZ sifat mekanik yang tinggi (kekerasan
digunakan sebagai elektrolit pada yang tinggi) [22], konduktivitas ion
SOFC temperatur tinggi [2,15]. Selain yang tinggi [2, 11], sifat optik yang
yttria (Y2O3), scandia (Sc2O3), ceria baik (misalnya indeks bias dan nilai
(CeO2), dan calcia (CaO) sering band gap yang tinggi), penyerapan
ditambahkan untuk menghasilkan FSZ rendah dan adhesi yang baik terhadap
[11, 17, 18, 19]. substrat (kaca, keramik, silikon,
Saat ini, material lapisan tipis polikor, dan safir), stabilitas termal,
merupakan topik yang menarik dan ketahanan korosi [20, 23], bioaktivitas
sedang dikembangkan dalam dan biokompatibilitas [16]. Film
teknologi dan pengetahuan material. zirkonium dioksida (ZrO2) dapat
Penelitian film tipis dan berstruktur diaplikasikan dalam keramik; sebagai
nano untuk permukaan fungsional sensor dan konduktor ion oksigen [2,
ditujukan untuk meningkatkan sifat 11, 24, 25]; sebagai pelapis penahan
permukaan material. Film tipis adalah panas, oksidasi dan korosi untuk
bagian penting dan terintegral dari pelindung baja tahan karat/stainless
material maju, yang memberikan steel [23, 25, 26], pelapis untuk media
kemutakhiran dan meningkatkan film tipis cakram perekaman magnetik
fungsionalitas alat [10,21]. Di antara dan lapisan penyangga dalam
kelas material yang berbeda, oksida pemrosesan perangkat
memiliki berbagai sifat fisis elektro superkonduktor film tipis suhu tinggi
fungsional (elektro fisik, optik, (HTP) [23, 25]; material optik dengan
mekanik dll), yang memungkinkan indeks bias tinggi (n = 2,1), cermin
penggunaan material ini sebagai laser dan dalam katalisis [24, 26, 27].
dasar sintesis material film [20]. Selain ZrO2 memiliki konstanta dielektrik
itu, pemrosesan lapisan tipis dengan yang tinggi sehingga sangat potensial
sifat yang dapat direproduksi untuk pengganti SiO2 dalam aplikasi
merupakan masalah utama dalam metal oxide semiconducting field-
masa pakai biomassa yang diimplan. effect transistors (MOSFETs) sebagai
Lapisan tipis berbasis zirkonia gerbang dielektrik. Kekerasan zirkonia
merupakan material yang sangat yang tinggi adalah sifat yang sangat

61
 Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia Vol. 26 No.2 Desember 2017 : 61 - 79

berguna untuk aplikasi tribologis [22]. sebagai penahan panas, sensor dan
Selain itu, film tipis zirkonia juga fuel cell, sebagai elemen pada oksida
menunjukkan bioaktivitas yang gerbang untuk sistem elektronik.
menguntungkan dan sitokompatibilitas Namun demikian, tidak ada hubungan
yang dapat digunakan untuk melapisi yang terbentuk antara karakteristik
penggantian tulang metalik (implan) fisik dan mekanik film tipis zirkonia
untuk meningkatkan biokompatibilitas [30]. Indentasi nano adalah teknik
dan oseointegrasi [16]. yang baik untuk mengukur sifat
Berbagai metode telah dicoba untuk mekanik film. Modulus Young (E) dan
mempersiapkan film tipis ZrO2 seperti kekerasan (H) dari film tipis dapat
sputtering reaktif pada suhu kamar diperoleh dengan mudah dengan
atau suhu tinggi [24, 25, 26], deposisi menganalisis bentuk rinci dari kurva
uap kimia/chemical vapor deposition tanpa beban/unloading curve selama
(CVD) dari prekursor anorganik, dan indentasi nano. Namun, laporan
CVD dari substansi prekursor logam- tentang kekuatan luluh lapisan tipis
organik (MOCVD) [ 24, 25, 26], sol-gel ZrO2 terbatas karena tidak dapat
[20, 26, 28, 29], spin-coating, deposisi diturunkan secara langsung dari kurva
lapisan atom/atomic layer deposition tanpa beban pengukuran indentasi
(ALD), pulsed laser deposition (PLD), nano [31].
teknik penyemprotan plasma, dan Bernard dkk. al [30] mempelajari
beam-physical vapor deposition (EB- sifat mekanik film tipis zirkonia yang
PVD) [26]. Pada artikel ini, beberapa diendapkan pada substrat Si (1 0 0)
studi tentang sifat-sifat film tipis melalui MOCVD pada suhu 700 °C
zirkonia termasuk sintesis dan sampai 900 °C dan tekanan antara
beberapa aplikasinya akan dijelaskan 100 Pa sampai 2000 Pa. Perilaku
secara singkat. mekanik sistem substrat film diteliti
menggunakan uji indentasi mikro

II. SINTESIS DAN SIFAT Vickers dan indentasi nano

MEKANIK Berkovitch. Film dibuat dari campuran
Lapisan tipis zirkonia fase tetragonal dan monoklinik. Fase
dikembangkan karena sifat fisiknya tetragonal bertekstur tinggi diperoleh
yang menarik. Film zirkonia epitaksial pada 900 °C dan tekanan 100 Pa.
dan non-epitaksial sudah digunakan Modulus Young dan kekerasan fase
62
Perkembangan Film Tipis Zirkonia ... Ratih Resti Astari, dkk.

tetragonal zirkonia masing-masing, gas Ar/O2 30:1) dengan

220 GPa dan 15 GPa, lebih besar dari memvariasikan kekuatan bias
nilai yang diperoleh untuk fase substrat. Kuat lentur ditentukan oleh 3
monoklinik, masing-masing 160 GPa titik bentur/3-point bending. Pengujian
dan 7 GPa. Film zirkonia adalah 3-point bending diilustrasikan pada
perekat yang baik dengan ketahanan Gambar 1. Nilai ketahanan retak
retak fase tetragonal zirkonia lebih dihitung dari ukuran cacat dan
besar daripada fase monoklinik. kekuatan retak. Hasilnya
menunjukkan peningkatan kekuatan
retak hingga 57% dari spesimen yang
tidak dimodifikasi. Chan et.al [32]
menemukan bahwa film yang
diendapkan dengan bias substrat
yang lebih tinggi menunjukkan
persentase fraksi volume monoklinik
yang tinggi (19%) dibandingkan
dengan film yang diendapkan non-
bias (87%), dan menghasilkan
peningkatan tekanan film dan
Gambar 1. Representasi uji 3-point
mikrostruktur YSZ yang dimodifikasi.
bending [33]
Sebagai tambahan, Chan et.al [32]
mengamati bahwa analisis struktur
Chan et.al [32] mempelajari efek
mikro telah menunjukkan ukuran
pelapisan film tipis zirkonia yttria
cacat kritis 67 ± 1 µm yang
terstabilkan (YSZ) untuk
menyebabkan peningkatan ketahanan
meningkatkan kekuatan pada
retak sebesar 55% pada spesimen
restorasi gigi keramik. Chan et.al [32]
yang tidak dimodifikasi.
menggunakan porselen dengan
dimensi 2 mm x 2 mm x 15 mm, n =
12 sebagai substrat dan dipoles III. SINTESIS DAN SIFAT
basah menggunakan abrasif SiC grit KELISTRIKAN
Zirkonia murni bukan merupakan
1200. Deposisi dilakukan melalui
elektrolit yang baik terutama karena
sputtering magnetron dengan
konduktivitas ionnya yang rendah [1].
frekuensi radio (5 mT, 25 °C, rasio

61
 Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia Vol. 26 No.2 Desember 2017 : 61 - 79

Zirkonia dengan struktur fluorida kubik Proton diproses pada katoda,

memiliki konduktivitas ionik tertinggi. dengan reaksi sebagai berikut:
Penambahan oksida logam seperti
CaO, MgO, Y2O3, Sc2O3, dan Nd2O3
dapat menstabilkan ZrO2 menjadi Perkembangan saat ini
struktur fluorida kubik [1, 34, 35, 36, menemukan bahwa elektrolit yang
37]. Stabilisasi ZrO2 dilakukan dengan terbuat dari film tipis YSZ nanokristalin
subtitusi langsung kation divalen atau telah menunjukkan konduktivitas ion
trivalen dengan ukuran yang sesuai yang lebih tinggi daripada material
untuk kisi host kation Zr4+. Subtitusi ini bulk mikrokristalin dan konduktivitas
tidak hanya menstabilkan struktur ion maksimum dicapai pada
fluorit kubik tetapi juga menciptakan kandungan Y yang lebih rendah, jauh
konsentrasi oksigen yang tinggi lebih rendah daripada keramik
karena adanya kompensasi muatan mikrokristalin bulk YSZ [39].
[1, 35]. Konsentrasi oksigen yang Peningkatan konduktivitas ion
tinggi menghasilkan mobilitas ion nanokristalin YSZ disebabkan oleh
oksigen yang tinggi. Konduksi ion konsentrasi oksigen yang besar, yang
oksigen terjadi pada struktur ZrO2 dihasilkan dari subtitusi penstabil
terstabilkan dengan gerakan ion kation. Pembentukan kekosongan
oksigen yang melewati disertai dengan pelepasan elektron
vacancy/kekosongan [1, 38]. yang jumlahnya sebanding dengan
SOFC merupakan salah satu sel luas permukaan spesifik. Dengan
bahan bakar yang unik yang demikian, mobilitas ion oksigen
menggunakan oksida keramik sebagai meningkat sebanding dengan
elektrolit padat. Umumnya material meningkatnya luas permukaan
yang digunakan adalah konduktor spesifik yang tinggi [39,40]. Penelitian
oksida ion, namun dapat juga berikut adalah beberapa penelitian
konduktor proton (ion hidrogen positif) mengenai film tipis zirkonia untuk
(Gambar 2). Pada SOFC dengan aplikasi SOFC termasuk sintesis dan
konduktor proton hidrogen teroksidasi sifatnya.
di anoda [36]:

62
Perkembangan Film Tipis Zirkonia ... Ratih Resti Astari, dkk.

Reaksi bahan bakar secara global

Bahan
bakar
e- masuk h
Anoda
Po h
wer
O2- Elektrolit YSZ

Katoda
e-
Udara
masuk h

Gambar 2. Ilustrasi skema kerja SOFC[36]

Zhang et. Al. [41], mempelajari sel diukur pada 800 °C dengan
konduktivitas ionik film tipis zirkonia menggunakan hidrogen pada anoda
yttria terstabilkan untuk aplikasi SOFC dan oksigen di sisi katoda.
melalui pengukuran voltase-arus pada Perhitungan energi aktivasi konduksi
suhu 800°C. Zhang et. Al. film tipis YSZ diperoleh pada suhu
menggunakan teknik dip-coating antara 600 °C dan 800 °C, Ea = 1,12
untuk membuat film tipis zirkonia yttria eV, yang serupa dengan bahan bulk
terstabilkan dari suspensi larutan YSZ Ea = 1,14 eV. Pada suhu 800 °C dan
yang terdispersi sepenuhnya ke 750 °C, konduktivitas film tipis
anoda NiO-YSZ. Green film dan masing-masing mencapai 0,0098
anoda pendukung kemudian disinter S/cm - 0,004 S/cm. Menurut hasil
bersama pada suhu 1400 °C untuk penelitian, Zhang et. Al. [41]
mendapatkan lapisan elektrolit padat. menekankan bahwa film tipis yang
Pasta dari serbuk LSM dideposisi dapat digunakan untuk
(La0,8Sr0,2MnO3) dalam pelarut organik aplikasi elektrolit pada SOFC suhu
tercetak di cakram permukaan YSZ. menengah.
Cakram kemudian dipanaskan sampai Shim et. Al. [42] melaporkan
suhu 1200 °C. Sel tunggal Pt-NiO- deposisi lapisan atom dari zirkonia
YSZ / YSZ / LSM-Pt telah terbentuk. yang distabilkan 8 mol % yttria (8YSZ)
Pengukuran voltase dan arus untuk untuk SOFC. Film 8YSZ disintesis dari

61
 Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia Vol. 26 No.2 Desember 2017 : 61 - 79

deposisi lapisan atom (ALD) SOFC, dengan menggunakan

menggunakan tetrakis- spektrometer impedansi. Lapisan tipis
(dimethylamido) zirkonium dan tris elektrolit YSZ dibuat dengan deposisi
(methylcyclopentadienyl) yttrium lapisan atom (ALD) pada suhu 300 °C
sebagai prekursor ALD dengan air menggunakan Cp2ZrCl2 dan Y(thd)3
terdistilasi sebagai oksidan. Untuk sebagai prekursor YSZ. Tiga sampel
fabrikasi fuel cell, film ALD 8YSZ (1, 2 dan 3) terdiri dari lapisan tipis
ditumbuhkan pada lapisan penyangga zirkonia didoping ytria yang
Si3N4 pada substrat Si (100). Untuk diendapkan pada katoda
mengevaluasi film ALD 8YSZ sebagai La0,8Sr0,2MnO3 (LSM) pada suhu 300
konduktor ion oksida, Shim et. Al. [42] °C dengan ketebalan masing-masing
membuat fuel cell oksida padat yang 280 nm, 540 nm, dan 990 nm. Sifat
terdiri dari film ALD 8YSZ 60 nm yang elektrik dari tiga elektrolit diselidiki
dibuat dengan elektroda platinum pada suhu 400 °C dengan
berpori pada kedua sisi elektrolit. menggunakan spektrometer
Struktur SOFC ini dirancang untuk impedansi. Hasil pengukuran
beroperasi pada suhu rendah. Kinerja impedansi pada suhu 400 °C
membran ALD YSZ sebagai elektrolit menunjukkan bahwa konduktivitas film
sel bahan bakar diukur dari hubungan tipis YSZ untuk sampel 1, 2, dan 3
arus - tegangan (IV) dari suhu 265 °C masing-masing sekitar 4,52 x 10-4
sampai 350 °C. Densitas daya S/m, 1,81 x 10-4 S/m, dan 1,66 x 10-4
maksimum adalah 28 mW/cm2, 66 S/m. Menurut Brahim dkk [43],
mW/cm2, dan 270 mW/cm2 masing- konduktivitas YSZ cenderung
masing diamati pada 265 °C, 300 °C, menurun sesuai dengan ketebalan
dan 350 °C. Shim et. Al. [42] film yang diendapkan.
menjelaskan bahwa kinerja fuel cell Oh et. al [44] melaporkan sifat-
elektrolit film tipis ALD yang tinggi sifat listrik film tipis elektrolit YSZ
dipengaruhi oleh ketahanan elektrolit dengan tebal 500 nm yang dibuat
yang rendah dan kinetika elektroda pada substrat anoda. Pemrosesan
yang cepat. dilakukan secara konvensional
Brahim dkk. al [43] mempelajari sifat dengan spin coating menggunakan
elekrik lapisan tipis zirkonia larutan kimia yang mengandung
terstabilkan yttria yang dihasilkan oleh nanopartikel 20 nm dan kemudian
deposisi lapisan atom untuk aplikasi disinter pada suhu 1100 °C. Sel yang

18
Perkembangan Film Tipis Zirkonia ... Ratih Resti Astari, dkk.

mengandung elektrolit film YSZ mencapai 360 mW/cm2 pada suhu

dievaluasi berdasarkan karakteristik I- 800 °C.
V-P pada suhu 450 °C - 600 °C Setoguchi et. al [46] melaporkan
menggunakan penganalisis interface karakterisasi sifat listrik film tipis
elektrokimia (Solartron 1287, zirkonia yang distabilkan calcia dibuat
AMETEK, Inggris). Hasil pengukuran dari Zr dan Ca acetylacetonate
menunjukkan bahwa sel yang kompleks pada substrat elektroda
mengandung elektrolit film tipis YSZ berpori La0,6Sr0,4MnO3 dengan
menghasilkan tegangan rangkaian metode spray pyrolysis. Setoguchi et.
terbuka sebesar 1,07 V dan densitas al [46] kemudian memasang fuel cell
daya maksimum sekitar 425 mW/cm2 yang terdiri dari elektrolit 33 µm,
pada suhu 600 °C. substrat silikat berpori La0,6Sr0,4MnO3,
Solovyev et. al [45] mempelajari dan anoda cermet Ni-YSZ; dan sifat
sifat listrik dari elektrolit film tipis padat listrik fuel cell diinvestigasi dengan
YSZ melalui hubungan arus dan mendapatkan hubungan arus-
tegangan (IV) yang dihasilkan oleh tegangan (IV) yang dihasilkan oleh
fuel cell. Solovyev et. al [45] fuel cell. Tegangan rangkaian terbuka
menggunakan metode pengendapan sel dengan film CSZ ketebalan 33 µm
uap vakum fisik/vacuum physical yang dibuat pada 100 °C adalah 0,96
vapor deposition (PVD) seperti V dan densitas daya maksimum
sputtering magnetron dalam fabrikasi adalah 0,5 W/cm2 pada suhu 1000 °C.
material dan struktur solid oxide fuel
cell (SOFC). Hal ini menunjukkan IV. SINTESIS DAN SIFAT
bahwa lapisan elektrolit YSZ dan MAGNETIK
lapisan anoda Ni-YSZ dengan Dilute magnetic semiconductors
ketebalan, struktur dan komposisi (DMS) adalah material yang impuritas
tertentu dapat dibentuk secara efektif magnetiknya digunakan untuk
dengan metode PVD. Pengujian menghasilkan keadaan ground
elektrolit penyangga fuel cell magnetik. Sistem ini mendapat
menunjukkan bahwa ketika anoda perhatian besar dalam beberapa
NiO-YSZ yang dibentuk oleh tahun terakhir, sejak ditemukannya
sputtering magnetron, densitas daya pembawa/carrier yang terinduksi
ferromagnetisme pada (In, Mn) As

19
 Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia Vol. 26 No.2 Desember 2017 : 61 - 79

dan (Ga, Mn) As, dan diyakini menjadi suhu kamar, namun dengan momen
dasar untuk membuat perangkat magnetik yang rendah pada tiap atom.
elektronik berbasis spin. Baru-baru ini,
sebuah kelas baru DMS telah V. SINTESIS DAN SIFAT OPTIK
diselidiki, yaitu DMS berbasis oksida
Film tipis zirkonia terstabilkan
k-tinggi, seperti dilute magnetic oxides
terutama film tipis YSZ telah banyak
(DMO), setelah pembuktian
diteliti untuk aplikasi optik karena
eksperimental magnetisme suhu
indeks biasnya yang tinggi,
kamar pada logam transisi (TM) yang
penyerapan yang rendah dan
didoping zirkonia (ZrO2) [47] .
lemahnya loss di wilayah spektral
Sangali dkk. Al. [47], mempelajari sifat
yang luas di dekat UV hingga
magnetik film tipis zirkonia dengan
pertengahan IR, dan daya tahan kimia
menyelidiki pengaruh doping Fe pada
yang baik [48]. Faktor intrinsik
ZrO2 (ZrO2: Fe) baik dari segi teoritis
(material) dan faktor ekstrinsik (fitur
dan eksperimental. Dengan
dan faktor luar) merupakan parameter
menggunakan prinsip simulasi
yang mempengaruhi warna dan sifat
pertama, kemudian dipelajari
tampak zirkonia (Gambar 3) [49].
kerapatan magnetisasi dan interaksi
Material ZrO2 dan Y2O3 banyak
magnetik antara atom Fe. Percobaan
digunakan sebagai material dalam
dilakukan dengan pembuatan film tipis
fabrikasi pelapis optik dan khususnya
( 20 nm) ZrO2: Fe pada konsentrasi
berguna untuk daerah ultraviolet [50].
doping tinggi yang ditumbuhkan
Zhang et. al [51] melaporkan sifat
dengan deposisi lapisan atom.
optik film tipis sol-gel yang berasal
Kemudian ditemukan bukti
dari nanokristalin zirkonia terstabilisasi
eksperimental bahwa Fe telah
8 mol % tanah jarang (RE-SZ). Tanah
terdistribusi secara merata pada ZrO2
jarang nitrat dan zirkonium
melalui transmisi mikroskop elektron
oxychloride digunakan sebagai
dan pemetaan energi terdispersi
prekursor. Elemen tanah jarang yang
sinar-X, sementara difraksi sinar-X
digunakan sebagai stabilisator adalah
membuktikan adanya struktur kristal
Sc, Y, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Ho, Er,
fluorit. Pengukuran gradien gaya
Tm, Yb, Lu. Zhang et. al [51]
bolak-balik magnetometer
menggunakan teknik pelapisan spin
menunjukkan sinyal magnetik pada
sol-gel sederhana untuk membuat

20
Perkembangan Film Tipis Zirkonia ... Ratih Resti Astari, dkk.

lapisan tipis nanokristalin padat annealing/aniling tungku konvensional

8RESZ, bebas retak dan homogen (CFA). Fase tetragonal suhu tinggi
dalam ketebalan 200 nm pada diamati pada suhu kamar. Suhu
substrat kuarsa. Film mengkristal transformasi dari tetragonal menjadi
dalam struktur fluorida murni kubik monoklinik pada film yang dianiling
pada suhu aniling rendah 600 °C. cepat ( 750 °C) lebih tinggi dari pada
Spektrofotometer ultraviolet dan film yang dianiling dengan tungku
spektrofotometer sinar tampak konvensional ( 450°C), sedangkan
digunakan untuk menentukan celah pada film yang didoping elemen tanah
pita optik film yang dianiling pada jarang, tidak ada fase monoklinik yang
suhu 600°C - 900°C dan celah berada teramati bahkan pada suhu 850°C.
pada kisaran 4,88 eV - 5,44 eV. Indeks bias film ZrO2 diukur dengan
Berdasarkan hasil tersebut, Zhang et. kopling prisma. Indeks bias ditemukan
al [51] menyimpulkan bahwa celah bervariasi sebagai fungsi dari suhu
pita optik film tidak hanya bergantung aniling, teknik aniling dan elemen
pada ukuran ion dari tanah jarang doping. Namun demikian, RTA dan
yang didoping, tetapi juga sebagian doping unsur tanah jarang ditemukan
besar mengalami penurunan dengan dapat meningkatkan indeks bias film
meningkatnya suhu aniling karena ZrO2. Indeks bias terendah diperoleh
pengaruh ukuran. film ZrO2 yang tidak didopping yaitu
Liu et. al [52] mempelajari efek sekitar 1,9677 dan yang tertinggi
aniling dan doping tanah jarang pada ditemukan pada film tipis ZrO2 yang
sifat struktural dan optik film tipis didoping Eu yaitu sekitar 2,0343.
zirkonia sol-gel. Film tipis ZrO2 yang Heiroth dkk. [53]
tidak didoping dan ZrO2 yang didoping membandingkan sifat optik dan
unsur tanah jarang yang dibuat mekanik film tipis YSZ amorf dan
dengan metode sol-gel menggunakan kristalin ( 400 nm - 700 nm)) yang
zirkonium n-propoksida dan nitrat mengandung Y2O3 3% atau 8% mol
tanah jarang termasuk Er(NO3)3, yang dibuat dengan pulsed laser
Eu(NO3)3 dan Tb(NO3)3 sebagai deposition. Hubungan sifat mekanik
prekursor, dengan rapid thermal dan optik pada mikrostruktur film dan
annealing/aniling pemanasan cepat komposisi kimia diselidiki dengan
(RTA) dan conventional furnace eksperimen nano-indentasi dan

21
 Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia Vol. 26 No.2 Desember 2017 : 61 - 79

spektrofotometri transmisi. Lapisan ini terkait dengan transformasi yang

YSZ amorf padat jika dibandingkan disebabkan oleh tekanan ke fase
dengan film kristalin menunjukkan monoklinik pada zirkonia terstabilkan
hasil transmisivitas optik yang lebih sebagian.
tinggi, kekuatan celah pita yang lebih Gurudayal dkk. [54] melaporkan
rendah sebesar 0,2 eV (5,5 eV sifat optik fasa kubik terstabilkan pada
dibandingkan dengan 5,7 eV), dan lapisan tipis zirkonia tanpa doping
kekerasan yang lebih rendah sekitar pada suhu kamar. Lapisan tipis
25% (11,9 GPa dibandingkan dengan zirkonia tanpa doping disiapkan
16,0 GPa) serta modulus elastisitas dengan spin coating menggunakan
berkurang (231 GPa dibandingkan larutan zirkonil nitrat hidrat dalam 2-
dengan 278 GPa), dengan metoksietanol, dan berikutnya dianil
mengecualikan tingkat dopan. Indeks pada suhu 500 °C selama 2 jam
bias tinggi, n600nm, pada rentang 2,18 - dalam udara bebas. Film ini
2,23, mendekati data referensi kristal distabilkan dalam fase kubik CaF2
tunggal yang diperoleh untuk PLD pada suhu kamar tanpa dopan;
bertekanan rendah. Dalam batasan parameter kisi dan ukuran kristal rata-
ini, indeks menurun dengan rata masing-masing = 5,09 Å, d 15
meningkatnya kandungan Y2O3 dan nm. Transmisi optiknya berada antara
secara konsisten sedikit lebih kecil, 65% - 76% pada rentang panjang
karena densitas packing atom yang gelombang 420 nm - 900 nm dan nilai
lebih rendah. Urutan kisi gap pita energi 5,56 eV. Gurudayal
mempengaruhi perilaku retak, karena dkk. al [54] menjelaskan bahwa
lapisan amorf menunjukkan deformasi stabilitas fasa kubik dikaitkan dengan
plastis yang dimediasi oleh shear efek ukuran terinduksi yang
band, sedangkan lapisan kristalin menyebabkan variasi jarak Zr-O,
menyebabkan pembentukan lingkaran perbedaan jumlah koordinasi,
dan retak permukaan selama kekosongan oksigen, dan/atau pusat
indentasi. Film kristalin 3YSZ cacat F dengan transisi optik yang
menunjukkan peningkatan ketahanan terjadi pada 3,13 eV, 4,23 eV, dan
retak dibandingkan dengan 8YSZ, hal 4,49 eV.

22
Perkembangan Film Tipis Zirkonia ... Ratih Resti Astari, dkk.

Gambar 3. Pengaruh Faktor Intrinsik dan Ekstrinsik Sifat Optik ZrO2

substrat kaca yang telah disiapkan
VI. APLIKASI BIOMEDIS
dengan menggunakan teknik dip-
Stabilitas kimia dan dimensi
coating dan telah mendapat perlakuan
yang baik, kekuatan mekanik,
termal pada suhu 850 °C. Analisis
ketahanan retak, dan modulus Young
difraksi sinar-X menunjukkan struktur
yang serupa dengan paduan baja
kristal tetragonal zirkonia. Ukuran butir
tahan karat membuat zirkonia menjadi
rata-rata keramik ZrO2 yang diperoleh
bahan kimia keramik yang sangat baik
adalah 22 nm - 46 nm. Sakthivel, dkk.
[55]. Keramik zirkonia adalah bahan
[57], menemukan bahwa analisis
bio-inert yang kompatibel untuk dunia
mikrostruktur ZrO2 dengan SEM telah
biomedis dalam penyebarannya
memberikan morfologi permukaan
sebagai implan untuk manusia.
yang sangat membantu dalam
Keramik zirkonia umumnya digunakan
merancang bio-struktur. Karakteristik
untuk mengganti jaringan keras di
mekanik dari nilai Modulus Young
tubuh seperti tulang dan gigi. Gugus
yang terukur dari bio-keramik zirkonia
bio-keramik dalam biokompatibilitas
adalah 174.449 GPa sangat sesuai
yang terbuat dari oksida keramik
dengan nilai standar. Film keramik
seperti dari YSZ bersifat inert di dalam
ZrO2 dengan cluster butir digabungkan
tubuh [55, 56]. Material bio inert tidak
bersama-sama dan membentuk
melepaskan zat beracun apapun
partikel berukuran besar sekitar 450
tetapi juga tidak menunjukkan
nm-1850 nm. Morfologi permukaan
interaksi positif dengan jaringan hidup
keramik ZrO2 sangat berguna dalam
[55].
aplikasi ortopedi. Analisis hasil dari
Sakthivel, dkk. [57],
metode kantilever keramik ZrO2
mempelajari perilaku mekanik film
memiliki kekuatan mekanik yang
tipis keramik zirkonia bio-inert pada
23
 Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia Vol. 26 No.2 Desember 2017 : 61 - 79

tinggi. Sakthivel, dkk. [57] berkembang biak dengan baik pada

menyimpulkan bahwa perilaku permukaan pelapis, menunjukkan
mekanik film tipis keramik bio-inert bahwa lapisan tersebut memiliki
zirkonia menunjukkan kompatibilitas sitokompatibilitas yang baik.
biologis. Thaveedeetrakul, et. Al. [59]
Wang et. Al. [58] melaporkan mempelajari bioaktivitas film tipis
bioaktivitas in vitro dan stabilitas fase zirkonia terhadap pertumbuhan
pelapis 3Y-TZP berstruktur nano hidroksiapatit (HA) ke permukaannya.
plasma-sprayed yang dideposisi pada Lapisan tipis Zirkonia diendapkan
substrat Ti. Bioaktifitas in vitro pelapis dengan teknik DC un-balanced
dievaluasi dengan memeriksa magnetron sputtering yang diikuti
pembentukan apatit seperti tulang dengan perlakuan termal. Lapisan
pada permukaannya dalam cairan tipis ZrO2 hanya terdiri dari fase
tubuh simulasi. Garis sel MG63 monoklinik. Untuk mengetahui
dikultur pada lapisan untuk karakteristik bioaktivitas film tipis
menyelidiki sitokompatibilitasnya. zirkonia, Thaveedeetrakul, et. Al. [59]
Lapisan yang disemprotkan hanya merendamnya dalam larutan SBF
terdiri dari zirkonia tetragonal dan untuk mendemonstrasikan apatit yang
memiliki ukuran butiran kurang dari seperti tulang pada film ZrO2. Hasil
100 nm. Apatit dapat mengendap penelitian menunjukkan bahwa
pada permukaan lapisan yang lapisan HA yang lebih padat dan lebih
direndam dalam cairan tubuh simulasi kontinyu diamati pada film tipis ZrO2
selama 28 hari sementara tidak ada yang dianil. Oleh karena itu,
apatit yang terbentuk pada Thaveedeetrakul, et. Al. [59]
permukaan keramik kontrol 3Y-TZP, menyimpulkan bahwa film tipis ZrO2
yang menunjukkan bahwa bioaktivitas yang disputtering menunjukkan
lapisan lebih unggul dari keramik bioaktivitas yang baik.
dengan komposisi yang sama. Ini juga
mengungkapkan bahwa lapisan yang VII. KESIMPULAN
dipoles pada lapisan nano paling atas
Berdasarkan penelitian di atas,
yang hilang bersifat bioinert, yang
dapat disimpulkan bahwa sifat yang
menyiratkan pentingnya butiran
sangat baik dari film tipis zirkonia
nanosisasi untuk bioaktivitasnya. Sel
telah menjadikannya material yang
MG63 dapat bertahan, tumbuh dan

24
Perkembangan Film Tipis Zirkonia ... Ratih Resti Astari, dkk.

penting untuk dikembangkan dalam 1. N.Q. Minh. Ceramic Fuel Cells. J

berbagai aplikasi. Lapisan tipis Am. Ceram. Soc. 76 [3] 563-588
Zirkonia dengan sifat fisik dan (1993).
mekaniknya yang menarik telah 2. P. Li and J.T.S. Irvine, Fabrication
digunakan untuk memperbaiki of Anode-Supported Zirconia Thin
material lainnya melalui mekanisme Film Electrolyte Based Core–Shell
pelapisan. Lapisan tipis nanokristalin Particle Structure for Intermediate
YSZ yang menunjukkan konduktivitas Temperature Solid Oxide Fuel
ion lebih tinggi telah dikembangkan Cells, Progress in Natural Science:
untuk komponen elektrolit SOFC. Materials International, 23 [3] 302–
Konstanta dielektrik yang tinggi dari 307 (2013).
film tipis zirkonia membuat mereka http://dx.doi.org/10.1016/j.pnsc.20
sekarang dianggap sebagai kandidat 13.05.004
potensial untuk bahan dielektrik 3. A. J. B. Dutra, R. J. F. da Silva,
gerbang baru. DMS dengan tingkat and A. C. Afonso. Water and
yang baru, dilute magnetic oxides Sulfuric Acid Leaching of a
(DMO), logam transisi yang didoping Brazilian Zircon Concentrate
film tipis zirkonia(TM), sedang Processed by Alkali Fusion.
dikembangkan dan diinvestigasi untuk http://www.arber.com.tr/imps2012.
perangkat elektronik berbasis spin. org/proceedingsebook/Abstract/ab
Film tipis YSZ dengan indeks bias sfilAbstractSubmissionFullContent
tinggi telah banyak diteliti dan 170.pdf. (2011). Diakses Oktober
dikembangkan untuk aplikasi optik. 2012.
Karakteristik bio-inert dan 4. S. Shukla, S. Seal, R. Vij and S.
biokompatibilitas film tipis zirkonia Bandyopadhyay, Effect of HPC
telah menjadikannya biomaterial and Water Concentration on the
keramik yang sangat baik untuk Evolution of Size, Aggregation and
bidang biomedis sebagai implan untuk Crystallization of Sol-Gel Nano
manusia seperti untuk tulang dan gigi. Zirconia, J. Nanoparticle Res., 4,
553–559 (2002).
DAFTAR PUSTAKA 5. A.M. Amer. Kinetics of Alkali
Pressure Leaching of Mechanically
Modified Zircon Concentrate.

25
 Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia Vol. 26 No.2 Desember 2017 : 61 - 79

Physicochemical Problems of Australian Ceramic Society, 49 [1]

Mineral Processing, 40, 61-68 101-108 (2013).
(2006). 11. V. N. Cancea, R. Birjega, V. Ion,
6. S. Roy, “Nanocrystalline Undoped M. Filipescu, and M. Dinescu.
Tetragonal and Cubic Zirconia Analysis of Zirconia Thin Films
Synthesized Using Poly- Grown by Pulsed Laser
Acrylamide as Gel and Matrix”, J Deposition. Physics AUC. 22 50-
Sol-Gel Sci Technol, 44, 227–233 62 (2012).
(2007). 12. S. Nath, N. Sinha, and B. Basu.
7. A.K. Bandyopadhyay. Nano Microstructure, Mechanical and
Materials. New Age International, Tribological Properties of
New Delhi, India, 2008. Microwave Sintered Calcia-Doped
8. K.C. Patil, M.S. Hedge, T. Rattan, Zirconia for Biomedical
amd S.T. Aruna, Chemistry of Applications. Ceramics
Nanocrystalline Oxide Materials, International, 34, 1509–1520
Combustion Synthesis, Properties (2008).
and Applications, World Scientific, 13. L. Li, P. Zhang, J. Liang, and S.M.
New Jersey, 2008. Guo, Phase Transformation and
9. A. A. Reka, B. Pavlovski, and B. Morphological Evolution of
Cekova, Special Ceramics Based Electrospun Zirconia Nanofibers
on Partially Stabilized Zirconium During Thermal Annealing,
Dioxide, Original scientific paper, Ceramics International, 36, 589–
UDC 666.3/.7:666.195:537.531.7, 594 (2010).
http://www.academia.edu/4946213 14. R. Septawendar, B. S.
/Special_Ceramics_Based_On_Pa Purwasasmita, dan Suhanda,
rtially_Stabilized_Zirconium_Dioxid “Penyiapan Nanopartikel Zirkonia
e, Diunduh Tanggal 9 Maret 2014. Terstabilkan Magnesia (Mg-PSZ)
10. R. Septawendar, B. S. pada Suhu Kalsinasi Rendah
Purwasasmita, and S. Sutardi, dengan Metode Gel Koloidal”,
“Effect of the Hydrolysis Catalyst Jurnal Keramik dan Gelas
NH4OH on the Preparation of Indonesia, 21 [1] 44-59 (2012).
Calcia Stabilized Zirconia with 15. V. Thakare, Progress in Synthesis
Sugar as A Masking Agent at Low and Applications of Zirconia,
Temperatures”, Journal of the International Journal of

26
Perkembangan Film Tipis Zirkonia ... Ratih Resti Astari, dkk.

Engineering Research and 21. A. Carrado, H. Pelletier and T.

Development, 5 [1] 25-28 (2012), Roland. Nanocrystalline Thin
e-ISSN: 2278-067X, p-ISSN: Ceramic Films Synthesised by
2278-800X, www.ijerd.com Pulsed Laser Deposition and
16. A. Afzal. Implantable Zirconia Magnetron Sputtering on Metal
Bioceramics for Bone Repair and Substrates for Medical
Replacement: A Chronological Applications, Biomedical
Review, Mater. Express, 4 [1] 1-12 Engineering - From Theory to
(2014). Applications, Prof. Reza Fazel
doi:10.1166/mex.2014.1148 (Ed.), pp. 253-274. (2011). ISBN:
17. Y. Li, M. Liu, J. Gong, Y. Chen, Z. 978-953-307-637-9, InTech,
Tang, and Z. Zhang. Grain- Available from:
Boundary Effect In Zirconia http://www.intechopen.com/books/
Stabilized with Yttria and Calcia by biomedical-engineering-from-
Electrical Measurements. Materials theory-
Science and Engineering, B103 toapplications/nanocrystalline-thin-
108-114 (2003). ceramic-films-synthesised-by-
18. P. Duwez, F. Odell, and F. H. pulsed-laser-deposition-and-
Brown, Jr. “Stabilization of Zirconia magnetronsputtering-o
with Calcia and Magnesia”, J. Am. 22. M. G. Krishna. K. N. Rao, and S.
Ceram. Soc., 35 [5] 107-113 Mohan, Structural and Optical
(1952). Properties of Zirconia Thin Films,
19. Z. Li, W. E. Lee, and S. Zhang, Thin Solid Films, 193-194 690-695
Low-temperature Synthesis of (1990)
CaZrO3 Powder from Molten 23. P. Peshev, I. Stambolova, S.
Salts”, J. Am. Ceram. Soc., 90 [2] Vassilev, P. Stefanova, V. Blaskov,
364–368 (2007). K. Starbova, N. Starbov, Spray
20. L. P. Borilo, L. N. Spivakova. Pyrolysis Deposition of
Synthesis and Characterization of Nanostructured Zirconia Thin
ZrO2 Thin Films. American Journal Films, Materials Science and
of Materials Science. 2 [4] (2012) Engineering. B97 106-110 (2003)
119-124 DOI: 24. S. Harasek, H.D. Wanzenboeck ,
10.5923/j.materials.20120204.04 B. Basnar, J. Smoliner, J. Brenner,

27
 Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia Vol. 26 No.2 Desember 2017 : 61 - 79

H. Stoeri, E. Gornik, E. Bertagnolli. Tiffe´e, and M. Luysberg.

Metal-Organic Chemical Vapor Microstructure of Nanocrystalline
Deposition and Nanoscale Yttria-Doped Zirconia Thin Films
Characterization Of Zirconium Obtained by Sol–Gel Processing.
Oxide Thin Films. Thin Solid Films J. Am. Ceram. Soc., 91 [7] 2281–
414 199–204 (2002) 2289 (2008). DOI: 10.1111/j.1551-
25. K. Galicka-Fau, C. Legros, M. 2916.2008.02400.x
Andrieux, M. Brunet, J. Szade, G. 30. O. Bernard, A.M. Huntz, M.
Garry. Role of the MOCVD Andrieux, W. Seiler, V. Ji, S.
Deposition Conditions on Physico- Poissonnet. Synthesis, Structure,
Chemical Properties of Tetragonal Microstructure and Mechanical
ZrO2 Thin Films. Applied Surface Characteristics of MOCVD
Science 255 8986–8994 (2009). Deposited Zirconia Films, Applied
26. A.M. Torres-Huerta, M.A. Surface Science 253 4626–4640
Domı´nguez-Crespo, E. Ramı´rez- (2007)
Meneses, J.R. Vargas-Garcı´a. 31. Z. Gan, G. Yu, Z. Zhao, C. M. Tan,
MOCVD of Zirconium Oxide Thin and B. K. Tay. Mechanical
Flms: Synthesis and Properties of Zirconia Thin Films
Characterization. Applied Surface Deposited by Filtered Cathodic
Science 255 4792–4795 (2009). Vacuum Arc. J. Am. Ceram. Soc.,
27. A. Bendavid and P.J. Martin, 88 [8] 2227–2229 (2005).
Review of Thin Film Materials 32. R. N. Chan, B. R. Stoner, J.Y.
Deposition by the Filtered Cathodic Thompson, R. O. Scattergood, J.
Vacuum Arc Process at CSIRO, R. Piascik. Fracture Toughness
Journal of the Australian Ceramics Improvements of Dental Ceramic
Society 50 [1] 86 – 101 (2014) through Use of Yttria-Stabilized
28. R. Shacham, D. Mandler, and D. Zirconia (YSZ) Thin-Film Coatings.
Avnir. Electrochemically Induced Dental Materials 29 (2013) 881–
Sol-Gel Deposition of Zirconia Thin 887
Films. Chem. Eur. J. 10 1936-1943 33. McCabe, John F, Walls Angus
(2004). DOI: W.G. Applied Dental Materials,
10.1002/chem.200305469. 2008, Blackwell Publishing,
29. B. Butz, H. Stormer, D. Gerthsen, Hongkong
M. Bockmeyer, R. Kruger, E. Ivers-

28
Perkembangan Film Tipis Zirkonia ... Ratih Resti Astari, dkk.

34. C. Ko, K. Kerman, and S. Zirconia (YDZ)”, Acta Materialia.

Ramanathan. “Ultra-Thin Film 57 1399–1404 (2009).
Solid Oxide Fuel Cells Utilizing Un- 40. D. Eder and R. Kramera,
Doped Nanostructured Zirconia “Impedance Spectroscopy of
Electrolytes”, Journal of Power Reduced Monoclinic Zirconia”,
Sources, 213 343-349 (2012). Phys. Chem. Chem. Phys. 8
http://dx.doi.org/10.1016/j.jpowsour 4476–4483 (2006).
.2012.04.034 41. Y. Zhang, J. Gao, D. Peng, M.
35. C. J. Mogab, “Use of Stabilized Guangyao, and X.Liu. “Dip-Coating
Zirconia as a Selective Oxygen Thin Yttria-Stabilized Zirconia
Leak Source”, the Review of Films for Solid Oxide Fuel Cell
Scientific Instruments, 43 [11] Applications”, Ceramics
1605-1610 (1972). International. 30 1049–1053
36. F. M. L. Figueiredo and F. M. B. (2004).
Marques. Electrolytes for Solid 42. J. H. Shim, Cheng-Chieh Chao, H.
Oxide Fuel Cells. WIREs Energy Huang, and F. B. Prinz. “Atomic
Environ. 2012. doi: Layer Deposition of Yttria-
10.1002/wene.23 Stabilized Zirconia for Solid Oxide
37. O.I. Malyi, P. Wu, V.V. Kulish, K. Fuel Cells”, Chem. Mater. 19
Bai, and Z. Chen. “Formation and 3850-3854 (2007).
Migration of Oxygen and Zirconium 43. C. Brahim, A. Ringuede´, M.
Vacancies in Cubic Zirconia and Cassir, M. Putkonen, and L.
Zirconium Oxysulfide”, Solid State Niinisto¨. “Electrical Properties of
Ionics. 212 117–122 (2012). Thin Yttria-Stabilized Zirconia
38. R. Ramamoorthy, P. K. Dutta, and Overlayers Produced by Atomic
S. A. Akbar. “Oxygen Sensors: Layer Deposition for Solid Oxide
materials, methods, designs and Fuel Cell Applications”, Applied
applications”, Journal of Materials Surface Science. 253 3962–3968
Science. 38 4271 – 4282 (2003). (2007).
39. W. Jung, J. L. Hertz, H. L. Tuller, 44. E-O. Oh, C-M. Whang, Y-R. Lee,
“Enhanced Ionic Conductivity and J-H. Lee, K. J. Yoon, B-K. Kim, J-
Phase Meta-Stability of Nano- W. Son, J-H. Lee, and H-W. Lee.
Sized Thin Film Yttria-Doped “Thin Film Yttria-stabilized Zirconia

29
 Jurnal Keramik dan Gelas Indonesia Vol. 26 No.2 Desember 2017 : 61 - 79

Electrolyte for Intermediate- Stabilized Zirconia Thin Films.

Temperature Solid Oxide Fuel Journal of Materials Science
Cells (IT-SOFCs) by Chemical Letters 15 1513-1516 (1996).
Solution Deposition”, Journal of the 49. Reza Shahmiri, MEngStMedTech,
European Ceramic Society. 32 Owen Christopher Standard, PhD,
1733–1741 (2012). Judy N. Hart, PhD, and Charles
45. A.A. Solovyev, N.S. Sochugov, Christopher Sorrell, PhD,
S.V. Rabotkin, A.V. Shipilova, I.V. Systematical review optical
Ionov, A.N. Kovalchuk, and A.O. properties of zirconia ceramics for
Borduleva. “Application of PVD esthetic dental restorations: A
Methods to Solid Oxide Fuel systematic review, The journal of
Cells”, Appl. Surf. Sci. (2014), Prosthetic Dentistry, Volume 119
http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2 Issue 1, 2015
014.03.163. 50. M. Swarnalatha, A.F. Stewart, A.H.
46. T. Setoguchi, M. Sawano, K. Guenther, and C.K. Carniglia.
Eguchi, and H. Arai, “Application of Optical and Structural Properties of
the Stabilized Zirconia Thin Film Thin Films Deposited from Laser
Prepared by Spray Pyrolysis Fused Zirconia, Hafnia, and Yttria.
Method to SOFC, Solid State Appl. Phys. A54 533-537 (1992).
Ionics. 40/41, 502-505 (1990) 51. Y. Zhang, S. Jin, C. Liao, C.H.
47. D. Sangalli, E. Cianci1, A. Yan. Microstructures and Optical
Lamperti, R. Ciprian, F. Albertini, Properties of Nanocrystalline Rare
F. Casoli, P. Lupo, L. Nasi, M Earth Stabilized Zirconia Thin
Campanini, and A. Debernardi. Films Deposited By a Simple Sol–
Exploiting Magnetic Properties of Gel Method. Materials Letters 56
Fe Doping in Zirconia: from first- 1030–1034 (2002).
principles simulations to the 52. W-C. Liu, D. Wu, A-D. Li, H-Q.
experimental growth and Ling, Y-F. Tang, N-B. Ming.
characterization of thin films. Eur. Annealing and Doping Effects on
Phys. J. B 1-6 (2013). DOI: Structure and Optical Properties of
10.1140/epjb/e2013-30669-3 Sol-Gel Derived ZrO2 Thin Films.
48. Y-K. Lee, J-W. Park. Optical Applied Surface Science 191 181-
Properties and Stresses of RF 187 (2002).
Magnetron Sputtered Yttria-

30
Perkembangan Film Tipis Zirkonia ... Ratih Resti Astari, dkk.

53. S. Heiroth, R. Ghisleni, T. Lippert, 58. G. Wang, X. Liu, J. Gao, C. Ding.

J. Michler, A. Wokaun. Optical and In Vitro Bioactivity and Phase
Mechanical Properties of Stability of Plasma-Sprayed
Amorphous and Crystalline Yttria- Nanostructured 3Y-TZP Coatings.
Stabilized Zirconia Thin Films Acta Biomaterialia 5 2270–2278
Prepared By Pulsed Laser (2009)
Deposition. Acta Materialia 59 59. A. Thaveedeetrakul, V.
2330–2340 (2011). Boonamnuayvitaya, N. Witit-anun.
54. Gurudayal, A. K. Srivastava, J. Apatite Deposition on ZrO2 Thin
Kumar. On The Emergence of A Films by DC Unbalanced
Stabilized Cubic Phase in Pure Magnetron Sputtering. Advances
Zirconia Thin Films at Room in Materials Physics and
Temperature. Materials Letters 83 Chemistry, 2 45-48 (2012)
172–174 (2012).
55. X. Liu, A. Huang, C. Ding, P. K.
Chu. Bioactivity and
Cytocompatibility of Zirconia (ZrO2)
Films Fabricated By Cathodic Arc
Deposition. Biomaterials 27 3904–
3911 (2006).
56. E. C. Teixeira, J. R. Piascik, B. R.
Stoner, and J. Y. Thompson.
Zirconia–Parylene Multilayer Thin
Films for Enhanced Fracture
Resistance of Dental Ceramics.
Proc. IMechE 223 Part H: J.
Engineering in Medicine. 897-902
(2009)
57. S. Sakthivel, D. Saritha and V.
Baskaran, Bio-Compatibility of
Zirconia (ZrO2) Ceramic Thin
Films. J. Pure Appl. & Ind. Phys. 4
[4] 159-162 (2014)

31