DAN TEKNIK
PENGUKURAN
Oleh :
Dina Safitri
Septiani Wulandari
Pembimbing :
Ida Febriana,S.S.,M.T
PENGERTIAN
Pengukur Tekanan Efek Listrik
Merupakan pengukur tekanan akibat listrik atau elektron, yang mana
pengukuran tekanan ini lebih kecil dari 1 atmosfir yang disebut tekanan rendah
atau Vacuum dengan pengukuran yang dapat menggunakan metode-metode
elektronik murni.
Prinsip Kerja
Pengukur ini biasanya digunakan
menggunakan kawat halus dari Manganin
(84% Cu, 12% Mn, 4% Ni) yang dililitkan
pada
sebuah
kumparan
yang
mengukur
konvensional.
perubahan
tahanan
ini
Bila dikalibrasi dengan baik, pengukur ini dapat digunakan untuk pengukuran
tekanan tinggi dengan ketelitian 0,1 persen.
Respon transien pengukur ini sangat baik.
Kekurangan
Setelah beberapa waktu alat pengukur ini mengalami perubahan sesuai dengan
umurnya, karena itu harus sering dikalibrasi.
Pengukur Pirani
Limit atasnya kira-kira 1 torr (133 Pa), sehingga jangkau keseluruhan ialah antara 0,1 sampai
100 Pa. Untuk tekanan yang lebih tinggi, konduktans termal berubah sedikit saja dengan
tekanan.
Alat Pengukur Pirani dibagi menjadi dua jenis: arus konstan, dan resistansi konstan. Nama
ini mengacu pada bagaimana pengukuran listrik dari kawat dikendalikan.
Jenis arus konstan dilengkapi dengan satu daya yang memberikan arus konstan sepanjang
waktu untuk filamen. Oleh karena itu perubahan resistansi filamen diukur.
Jenis resistansi konstan memiliki satu daya yang mengubah arus yang disuplai untuk
menjaga ketahanan dari filamen yang sama. Ia memiliki berbagai tekanan sedikit lebih besar
tetapi membutuhkan elektronik yang lebih rumit untuk mengendalikannya.
Prinsip Kerja
Simulasi
yang
paling
sensitif
tidak
mengukur
langsung
ion
dengan
listrik
yang
Dimana :
P : Tekanan
S : Sensitivity of ionization
Bayard-Alpert Hot-Katoda
Filamen dipanaskan dengan listrik menghasilkan
berkas elektron. Elektron perjalanan melalui alat ukur
dan mengionisasi molekul gas di sekitar mereka. Ionion yang dihasilkan ditangkap oleh collector ion dan
diteruskan ke electrometer . Arus tergantung pada
jumlah ion, yang tergantung pada tekanan gauge.
Pengukur katoda panas akurat dari 10 -3 Torr sampai
10 -10 Torr.
Bayard-Alpert Cold-Katoda
Bayard alpert katoda dingin sama dengan bayard
alpert katoda panas yang membedakannya adalah
bahwa elektron diproduksi dalam pembuangan
tegangan tinggi.
Pengukur Katoda Dingin akurat dari 10 -2
sampai 10-9 Torr.
Torr
0,00013 pa