SENSOR GAS

by:
Arief Sudarmaji. Ph.D.
Gas Sensor

Sensor gas merupakan subclass dari sensor

kimia.

Sensor gas adalah sensor yang befungsi

untuk mengukur senyawa gas polutan yang
ada di udara, seperti ammonia, alcohol,
benzene, toluene, karbon monoksida, karbon
dioksida, hidrokarbon, nitrooksida, dll.
Applications of Gas Sensor:

Process control industries

Environmental monitoring
Boiler control
Fire detection
Alcohol breath tests
Detection of harmful gases in mines
Home safety
Grading of agro-products like coffee and
spices
Gas sensing technologies:

 Metal Oxide Based Gas Sensors

 Capacitance Based Gas Sensors
 Acoustic Wave Based Gas Sensors
 Calorimetric Gas Sensors
 Optical gas sensors
 Electrochemical gas sensors
 Metal Oxide Based Gas Sensors
Metal Oxide Semiconductor (MOS)

 Sensor gas MOS (Metal Oxide

Semiconductor), yang dikategorikan sebagai
sensor chemo-resistive (perubahan nilai
resistansi secara kimiawi saat mendeteksi
keberadaan target),

 Sensor gas MOS (Metal Oxide Semiconductor),

pada dasarnya terbentuk dari dioksida logam yang
di-sinter pada suhu tinggi sehingga terbentuk sebuah
semikonduktor. Bahan semikonduktor yang
dihasilkan ini mempunyai porositas yang tinggi
sehingga molekul-molekul gas dapat dengan mudah
melaluinya
Secara intrinsik, dua hal yang menentukan sensitifitas suatu gas
sensor MOS terhadap suatu target gas adalah bahan metal oksida
dan logam katalis tambahan (catalytic metaladditives) pada
metal oksida. Selektivitas gas TERGANTUNG pada JENIS
dan KOMPOSISI katalisnya.
Prinsip Kerja Metal Oxide Semiconductor
(MOS)
Prinsip deteksinya adalah perubahan resistansi
pada semikonduktor akibat proses adsopsi dan
readsopsi molekul gas pada permukaan
semikonduktor.
 Metal Oxide Semiconductor (MOS)

berubahnya nilai konduktifitas/resistansi saat adanya gas-

gas reduski disekitar sensor. Perubahan resistansi sensor
pada lapisan film tipis sensor akibat terjadinya adsopsi
molekul-molekul oksigen/gas pada permukaan
semikonduktor saat dikenai/dipanasi pada suhu tinggi.
Pada kisaran suhu antara 150℃ and 400℃, oksigen di
sekitar lapisan permukaan akan
terabsopsi menjadi ion dengan mengikat elektron dari
bulk semikonduktor sehingga membentuk potential
barrier pada grain boundaries yang mengakibatkan
meningkatnya nilai resistansi sensor.
 Metal Oxide Semiconductor (MOS)

Kemudain saat sensor dikenai suatu gas pereduksi

(seperti CO dan CH4), gas pereduksi akan teroksidasi oleh
ion (O–) dan melepas elektron ke bulk semikonduktor
Sejalan dengan berkurangnya jumlah ion pada permukaan
dan penambahan elektron mengakbatkan potentisal
barrier antara dua grain menurun (dengan kata lain
resistansinya menurun).