Inductively Coupled Plasma

Oleh: Delthawati I.R.

A. Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometry (ICP-OES)

Inductively Coupled Plasma-Optical (or atomic) Emission Spectrometry (ICP-
OES atau ICP-AES) adalah salah satu teknik analisis yang digunakan untuk penentuan jejak
logam. ICP-OES merupakan teknik multi-unsur yang menggunakan sumber plasma untuk
merangsang atom dalam sampel. Atom-atom memancarkan cahayadengan panjang
gelombang tertentu, dan detektor yang mengukur intensitas cahaya yang dipancarkan,
yang mana berhubungan dengan konsentrasi. 60 unsur dapat dianalisis dalam sampel
tunggal berlangsung kurang dari satu menit secara bersamaan, atau dalam beberapa menit.

Gambar 1. Alat ICP-OES

1. Prinsip Kerja ICP-OES atau ICP-AES

Gambar 2. Komponen utama dan tata letak alat ICP-OES

Sampel biasanya diangkut ke dalam ICP-OES sebagai aliran sampel cairan. Sampel
dirubah menjadi aerosol oleh nebulizer melalui proses yang disebut nebulisasi. Tetesan aerosol
besar dipisahkan dari tetesan aerosol kecil oleh spray chamber. Tetesan-tetesan kecil (1-10µm)
ditransfer oleh argon ke plasma argon, sedangkan tetesan besar (>90%) dipompa ke pembuangan
melalui saluran pembuangan (drain).

Gambar 3. Spray chamber yang digunakan ICP-OES

Untuk menghasilkan plasma, gas argon disediakan untuk kumparan obor, dan frekuensi
arus listrik tinggi diterapkan ke kumparan kerja di ujung tabung obor. Menggunakan medan
elektromagnetik yang diciptakan dalam tabung obor dengan frekuensi arus listrik tinggi, gas
argon terionisasi dan plasma dihasilkan. Plasma ini memiliki kerapatan elektron yang tinggi dan
bertemperatur tinggi (10000 K), energi ini digunakan dalam eksitasi-emisi sampel.

Gambar 4. Sistematika obor (torch) yang digunakan ICP-OES

Dari gambar 4 terlihat bahwa obor yang digunakan ICP-OES berisi tiga tabung konsentris
untuk aliran argon dan injeksi aerosol. Jarak antara dua tabung luar sempit sehingga
gas mengalir dengan kecepatan tinggi. Ruang luar dirancang untuk membuat gas spiral
tangensial di sekitar ruang karena meneruskan ke atas. Salah satu fungsi gas ini adalah untuk
menjaga dinding kuarsa obor dingin, aliran gas ini disebut aliran pendingin atau juga
disebut aliran gas"outer". Untuk argon ICPs, aliran gas outer biasanya sekitar 7-15 liter per
menit. Ruang antara aliran outer danaliran inner mengirimkan gas langsung di bawah toroid
plasma. Aliran ini menjaga debit plasma dari tabung tengah dan injektor serta membuat aerosol
sampeldimasukkan kedalam plasma lebih mudah.
Tetesan aerosol yang masuk ke plasma tersebut terdesolvasi, menguap, mengurai menjadi
atom (atomisasi), dan tereksitasi dan terionisasi oleh plasma.

Gambar 5. Contoh proses yang terjadi dalam ICP-OES dan proses eksitasi atom dalam
menghasilkan panjang gelombang karakteristik unsur

Dalam plasma, banyak energi ditransfer ke atom dan ion, untuk mengakibatkan eksitasi
elektron ke tingkat energi yang lebih tinggi. Ketika atom-atom dan ion tereksitasi kemudian
kembali ke keadaan dasar atau keadaan eksitasi rendah dan akan memancarkan radiasi
elektromagnetik pada spektrum rentang ultraviolet atau spektrum cahaya tampak.
Setiap unsur tereksitasi memancarkan panjang gelombang tertentu, sedangkan intensitas
radiasi sebanding dengan konsentrasi unsur tersebut. Pancaran radiasi karakteristik dikumpulkan
oleh perangkat yang menyortir radiasi pada panjang gelombang tertentu yaitu
Spektrometer. Spektrometer terdiri dari kisi, prisma, cermin, dan lain-
lain. Fungsi spektrometer adalah untuk membentuk cahaya menjadiberkas cahaya yang
terdefenisi dengan baik, mendispersikan sesuai panjang gelombang dengan
kisi dan memfokuskan cahaya terdispersi ke sebuah bidang atau lingkaran keluaran. Dengan kata
lain, spektrometer menerima cahaya putih atauradiasi polikromatik dan
mendispersikan menjadi radiasi monokromatik. Satu atau lebih celah keluar pada bidang atau
lingkaran keluar digunakan untuk memungkinkan panjang gelombang tertentu untuk lolos
ke detektor sambilmenghalangi panjang gelombang lainnya. Radiasi terdeteksi dan berubah
menjadi sinyal elektronik yang diubah menjadi informasi konsentrasi untuk analis. Karena emisi
garis sangat sempit garisnya maka digunakan detektor beresolusi tinggi biasanya adalah detektor
CCD (charge-couple device) atau CID (charge-injection device (CID).
Beberapa instrumen menggunakan satu detektor untuk panjang gelombangultraviolet dan
satu lagi untuk panjang gelombang cahaya tampak seperti pada gambar 6. Penggunaan
monokromator Echelle dengan resolusi tinggi menghilangkan interferensi spektra. Instrumen ini
memiliki keunggulan yaitu resolusi unggul,menawarkan opsi langsung untuk memantau difraksi
yang lebih besar yang dapat digunakan dalam sampel konsentrasi tinggi, mengurangi ukuran
instrumen karena ukuran berkurang dari banyak detektor, dan menawarkan instrumen yang lebih
murah karena biaya CCD dan CID menjadi lebih ekonomis.

Gambar 6. Skema bagian-bagian dari spektrometer (menggunakan kisi Echelle dan prisma
monokromator dengan dua detektor CCD)

Penggunaan monokromator Echelle dengan resolusi tinggi menghilangkan interferensi

spektra. Instrumen ini memiliki keunggulan yaitu resolusi unggul,menawarkan opsi langsung
untuk memantau difraksi yang lebih besar yang dapat digunakan dalam sampel konsentrasi
tinggi, mengurangi ukuran instrumen karena ukuran berkurang dari banyak detektor, dan
menawarkan instrumen yang lebih murah karena biaya CCD dan CID menjadi lebih ekonomis.
Spektrum emisi merupakan plot radiasi Intensitas (y-axis) versus panjang gelombang (x-
axis) seperti terlihat pada gambar 7.
 Gambar 7. Grafik panjang gelombang terhadap intensitas hasil pendeteksian ICP-OES
2. Kelebihan dan Kekurangan ICP-OES
Kelebihan dari ICP-OES diantaranya adalah mudah dalam penggunaan, dapat mendeteksi
multiunsur secara bersamaan, dapat menguji sampel dalam bentuk padat maupun organik, sedikit
gangguan dari unsur lain dalam proses pendeteksian sampel serta sangat ekonomis untuk banyak
sampel atau unsur, menyelesaikan pembacaan berbagai elemen yang dianalisis dapat dilakukan
dalam jangka waktu yang singkat yaitu 30 detik dan hanya menggunakan ±5 ml sampel.
Kekurangan dari ICP-OES adalah kapabilitas yang sedang dalam deteksi dalam
konsentrasi rendah (tetapi lebih baik daripada FAAS), ,memiliki kesulitan menangani analisis
senyawa halogens, serta dimungkinkan terjadi gangguan spektral pada saat pendeteksian.

B. Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS)

Inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS) merupakan teknik multiunsur
yang menggunakan sumber plasma untuk mengatomisasi sampel, dan kemudian ion-ion
dideteksi dengan spektrometer massa. Spektometer massa memisahkan ion-ion berdasarkan
massanya terhadap rasio muatan. Teknik ini memiliki batas deteksi yang sangat baik, dalam
rentang ppt (part per thousand). Sampel secara umum dikenali sebagai sebuah sebuah aerosol,
cairan, atau padatan. Sampel padat dilarutkan sebelum menganalisis atau dengan laser sampel
padat dikonversi langsung keaerosol. Semua elemen dapat dianalisa dalam satu menit, secara
bersamaan.

Gambar 8. Alat ICP-MS

Terdapat berbagai jenis instrumen ICP-MS; HR-ICP-MS (high resolution inductively
coupled plasma mass spectrometry dan MC-ICP-MS (multi collector inductively coupled plasma
mass spectrometry). HR-ICP-MS, mempunyai sektor magnetik dan sektor elektrik untuk
memisahkan dan memfokuskan ion. Denganinstrumen
ini pengurangan efek dari interferensi akibat tumpang tindih massa dicapai.MC-ICP-
MS, yang dirancang untuk melakukan presisi tinggi rasio analisis isotop.Mereka memiliki
beberapa detektor untuk mengumpulkan setiap isotop dari elemen tunggal tetapi kelemahan
 utama dari sistem ini adalah bahwa semua isotop harus berada dalam rentang massa yang
sempit.
1. Prinsip Kerja Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS)

Gambar 9. Komponen-Komponen Dasar ICP-MS

Sampel dalam bentuk cair, dipompa pada 1 mL/ menit, dengan pompa peristaltik
ke nebulizer, sampel tersebut diubah menjadi aerosol dengan gas argon pada 1 L/menit.
Tetesan aerosol, yang mewakili hanya 1-2% dari sampel, terpisah dari tetesan yang lebih besar
dengan menggunakan spray chamber. Aerosolterseleksi diangkut ke dalam obor plasma melalui
injektor sampel.
Plasma dibentuk dengan cara yang persis sama seperti pada ICP-OES, dengan
interaksi dari mendan magnet yang kuat (yang dihasilkan oleh frekuensi radio (RF) lewat melalui
kumparan tembaga) pada aliran tangensial gas (biasanya argon), sekitar 15 L/ menit mengalir
melalui tabung kuarsa konsentris (obor). Ini memiliki efek pengion gas sehingga membentuk
plasma bersuhu sangat tinggi (10.000 K) pada tabung.
Obor plasma dalam ICP-MS diposisikan secara horizontal untuk menghasilkan ion
bermuatan positif dan bukan foton. Bahkan, setiap usaha dibuat untuk menghentikan foton
mencapai detektor karena foton-foton tersebut memiliki potensiuntuk meningkatkan sinyal
noise. Ini merupakan produksi dan deteksi ion dalamjumlah besar yang memberikan kemampuan
deteksi ICP-MS pada karakteristik ppt rendah yaitu sekitar tiga sampai empat kali lipat lebih baik
dibandingkan ICP-OES.
Setelah ion diproduksi dalam plasma kemudian diarahkan ke spektrometer massa melalui
daerah interface (antar muka), yang dipertahankan pada vakum 1-2 torr dengan sebuah pompa
mekanik. Daerah antar muka ini terdiri dari dua kerucut logam (biasanya nikel) yang
disebut sampler cone dan skimmer cone, masing-masing dengan lubang kecil (0,6-1,2 mm)
untuk memungkinkan ion dapat melewati ke optik ion, dimana mereka dipandu ke dalam
perangkat pemisahan massa. Daerah antarmuka merupakan salah satu daerah yang paling penting
dari sebuah spektrometer massa ICP, karena ion harus diangkut secara efektif, konsisten, dan
dengan integritas listrik dari plasma, yang mana pada tekanan atmosfer (760 torr) ke daerah
penganalisa spektrometer massa pada sekitar 10-6 torr.
 Gambar 10. gambaran detail dari daerah interface (antar muka)

Setelah ion berhasil diekstraksi dari daerah antarmuka, ion-ion tersebut diarahkan ke dalam
ruang vakum utama dengan serangkaian lensa elektrostatik yang disebut optik ion. Kekosongan
yang beroperasi di wilayah ini dipertahankan pada sekitar 10-3 torr dengan pompa
turbomolecular. Ion optik secara elektrostatis memfokuskan sinar ion ke arah perangkat
pemisahan massa atau terkadang disebut penganalisis massa, sementara menghentikan foton,
partikulat, dan spesies netral mencapai detektor.
Sinar ion yang mengandung semua ion analit dan matriks keluar optik ion kemudian masuk
ke dalam spektrometer massa yaitu pada perangkat pemisahan massa yang dijaga pada
pengoperasian vakum sekitar 10-6 torr dengan pompa turbomolecular kedua. Perangkat pemisah
massa berfungsi memisahkan ion-ion berdasarkan massanya terhadap rasio muatan (m/z) tertentu
ke detektor.
Terdapat beberapa jenis perangkat pemisahan massa yang cocok digunakan yaitu teknologi
filter quadrupole, sektor magnetik, dan time of flight. Sebagian besar ICP-MS menggunakan
filter quadropole. Quadrupole terdiri dari empat buah batang logam silinder dengan panjang dan
diameter sama. Quadrupole yang digunakan dalam ICP-MS yaitu dengan tipe panjang 15-25 cm,
diameter 1 cm, dan beroperasi pada frekuensi 2-3MHz. Prinsip kerja filter qudropole adalah
sebagai filter massa dan hanya meneruskan ion-ion dengan rasio massa/muatan (m/z) tertentu
melewati celah massa sempit. Dengan mengubah tegangan yang digunakan terhadap batang
quadrupole, posisi celah dapat dideteksi. Analisis massa dapat dilakukan dengan scanning,
memilih daerah massa tertentu sesuai dengan yang diukur maupun dengan mengamati intensitas
sinyal analit.
 Gambar 11. Skema prinsip kerja pemisahan massa menggunakan filter quadrupole

Proses akhir adalah mengubah ion menjadi sinyal listrik dengan detektor ion. Desain yang
paling umum digunakan saat ini disebut detektor dynode diskrit, yangberisi serangkaian dynodes
logam sepanjang detektor. Dalam desain ini, ketika ion muncul dari filter massa, mereka
menimpa pada dynode pertama dan diubah menjadi elektron. Karena elektron tertarik ke dynode
berikutnya, penggandaan elektron berlangsung, yang mana menghasilkan aliran yang sangat
tinggi dari elektron yangmuncul dari dynode akhir. Sinyal elektronik ini kemudian diproses
oleh sistempenanganan data dengan cara konvensional dan diubah menjadi konsentrasi analit
menggunakan standar kalibrasi ICP-MS. Kebanyakan sistem deteksi dapat
menangani sampai delapan perintah rentang dinamis, yang berarti dapat digunakan untuk
menganalisis sampel dari tingkat ppt sampai beberapa ratus ppm.
Setiap elemen memiliki karakteristik isotop dan massa sehingga akan menghasilkan massa
spektrum setelah melewati quadrupole yang
ion mencapai detektor khusus. Quadrupole berisi dua tahap untuk memungkinkan
simultan pengukuran sinyal tinggi dan rendah. Sehingga memungkinkan deteksi secara simultan
komponen utama dan ultra-jejak unsur, yang membuat ICP-MS sebagai alat yang sempurna
untuk menganalisis sampel yang tidak diketahui.
Spektrum ICP-MS adalah plot dari intensitas ion(y-axis) versus rasio massadengan
muatan (x-axis). Dalam plasma argon, terutama ion yang bermuatan tunggal diproduksi. Hal
ini berarti dalam praktek bahwa rasio massa dengan muatan dapat digantikan dengan massa
dalam spektrum (dalam amu).
Sebagian besar unsur memiliki lebih dari satu isotop dan setiap isotop memiliki massa
tertentu. Tembaga (Cu), misalnya, memiliki dua isotop: 63Cu dengan 34 neutron dan 65Cu dengan
36 neutron dalam inti. Dengan demikian, spektrum massa tembaga terdiri dari dua puncak, massa
63 dan massa 65. Rasio alami perbedaanisotop dari sebuah unsur konstan di alam. Oleh karena
itu tidak sulit untuk mengoreksi tumpang tindih isotop dari elemen yang berbeda. Selain itu,
sebuahnoninterfered isotop hadir untuk hampir semua elemen.
 Gambar 12. Spektrum massa menunjukkan isotop tembaga dengan menggunakan ICP-MS

Gambar 13. Unsur yang dapat ditentukan oleh ICP-MS dan perkiraan kemampuan
deteksinya (PerkinElmer)
2. Kelebihan dan Kelemahan ICP-MS
Kelebihan ICP-MS diantaranya adalah kemampuan batas deteksi yang sangat rendah
dengan sensitivitas tinggi, jangkauan konsentrasi analit yang dapat diukur cukup luas yaitu orde
ppm (part permillion) sampai ppt (part pertriliyun), mampu dalam menganalisis multi unsur,
sensitivitas tinggi, serta dapat digunakan dalam proses analisis isotop.

Kelemahan ICP-MS diantaranya yaitu persentase sampel terbatas untuk <0,2% padatan
terlarut, dari segi ekonomis, memerlukan biaya modal awal yang lebih tinggi, tidak dapat
mendeteksi nonlogam.
Referensi

Baysal dkk. (2013). Determination of Trace Metals in Waste Water and Their Removal
Processes. http://cdn.intechopen.com/pdfs-wm/41608.pdf. Diakses pada tanggal 26 April 2014.

Charles B. Boss and Kenneth J. Fredeen. (1997). Concepts, Instrumentation and Techniques in
Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometry. USA: Perkin-Elmer Corporation.

Philips. (2013). Inductively Coupled Plasma-Atomic Emission Spectrometry (ICP-

AES).http://www.innovationservices.philips.com/sites/default/files/materials-analysis-icp-
aes.pdf. Diakses pada tanggal 26 April 2014.

Philips. (2013). Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry (ICP-MS).

http://www.innovationservices.philips.com/sites/default/files/materials-analysis-icp-
ms.pdf. Diakses pada tanggal 26 April 2014.

Robert Thomas. (2008). Pratical Guide To ICP –MS, A Tutorial for Beginners Second Edition. USA:
CRC Press.

Somsubhra Ghosh dkk. (2013). Inductively Coupled Plasma –Optical Emission Spectroscopy. Asian J.
Pharm. Ana. 2013; Vol. 3: Issue 1, Pg 24-33

USGS. Introduction to ICP-MS. http://crustal.usgs.gov/laboratories/icpms/ intro.html. Diakses pada

tanggal 26 April 2014.

Xiandeng Hou dan Bradley T. Jones. (2000). Inductively Coupled Plasma/ Optical
Emission. www.wfu.edu/chemistry/courses/jonesbt /334/icpreprint.pdf. Diakses pada tanggal 26
April 2014