Pemisahan udara secara kriogenik menggunakan perbedaan titik didih antara nitrogen,

oksigen, dan argon untuk memisahkan dan memurnikan produk-produk tersebut. Tahap
pertama adalah filtering dan kompresi udara. Kompresi umumnya dilakukan hingga tekanan
90 psig atau 6 bar. Udara terkompresi kemudian didinginkan hingga mendekati temperatur
ruangan menggunakan alat penukar kalor atau alat dengan sistem refrigerasi. Tahap kedua
adalah proses penyingkiran uap air dan karbon dioksida yang masih tertinggal pada udara.
Keduanya harus dihilangkan karena pada temperatur yang sangat rendah dapat membeku dan
terdeposit pada permukaan alat pemroses. Efisiensi proses penyingkiran ini ditambah dari
proses pendinginan sebelumnya yang membuat uap air mengembun saat udara dilewatkan
pada kompresor dan terpisah dari udara itu sendiri.

Ada dua metode yang umum digunakan untuk menyingkirkan uap air dan karbon dioksida,
yaitu reversing exchangers dan molecular sieve units. Pada reversing exchangers, udara
umpan masuk ke dalam alat penukar panas dan didinginkan hingga air dan karbon dioksida
membeku pada permukaan dinding alat penukar kalor. Setelah udara lewat, fungsi alat
penukar kalor dibalikkan dengan dialirkannya waste gas yang bersifat sangat kering, sehingga
menguapkan air dan menyublimkan karbon dioksida. Sementara untuk menyingkirkan
hidrokarbon diperlukan pengadsorb tambahan. Pada molecular sieve units, molecular sieve
akan mengadsorb uap air serta pengotor lainnya seperti hidrokarbon (untuk desain tertentu)
yang terkandung di dalam udara yang dilewatkan. Molecular sieve umumnya terdiri dari dua
bagian yang bekerja secara bergantian. Jika salah satu sedang bekerja, maka satu yang lain
akan melakukan regenerasi.

Pada tahap berikutnya, udara yang telah bebas pengotor memasuki alat penukar kalor yang
akan membawa udara pada temperatur kriogenik ( -185oC). Proses pendinginan ini
menghasilkan produk dingin dan waste gas. Waste gas ini kemudian dinaikkan lagi
temperaturnya agar kering dan dapat digunakan untuk proses penyingkiran pengotor. Untuk
mencapai temperatur kriogenik sehingga proses distilasi dapat dilakukan, pendinginan
dilakukan dengan proses refrigerasi yang mencakup proses ekspansi.

Tahap selanjutnya adalah proses distilasi. Banyak pabrik proses pemisahan udara
mendasarkan kepada lindes double distillation collumn process yang memiliki dua unit
pemisahan. Unit pertama digunakan untuk mendapatkan produk-produk ringan seperti
oksigen dan nitrogen. Unit ini memiliki dua kolom distilasi. Udara yang telah berada pada
temperatur kriogenik memasuki kolom pertama yang bertekanan rendah. Temperatur
kriogenik udara (-185oC) berada pada rentang titik didih nitrogen (-195,9oC) dan oksigen (-
183,0oC) sehingga terjadilah kesetimbangan uap-cair pada sistem nitrogen-oksigen. Nitrogen
yang lebih mudah menguap akan lebih mendominasi fasa uap dibandingkan oksigen. Fasa
uap yang merupakan produk atas akan diumpankan ke bagian atas kolom kedua, sedangkan
produk bawah diumpankan di tengah kolom. Di kolom kedua ini, umpan dari recycle unit dua
untuk kolom bagian atas juga masuk. Akhirnya pada kolom kedua inilah produk akhir
dihasilkan berupa gas nitrogen dengan kemurnian sekurang-kurangnya 99-99,5% dan oksigen
dengan kemurnian 95-99,5%. Cairan yang kaya akan oksigen selanjutnya dilewatkan pada
penukar panas tidak langsung dengan udara umpan sehingga dihasilkanlah produk gas
oksigen.
Pada unit kedua, terdapat tiga kolom distilasi disertai adanya reaktor pembakar. Nitrogen
yang terbawa ke unit kedua ini akan memasuki kolom pertama yang memisahkan nitrogen
tersebut untuk direcylce ke unit pertama. Produk yang dikirim ke unit pertama adalah produk
atas sementara produk bawah akan dikirim ke kolom kedua. Pada kolom kedua, produk atas
akan dikirim ke reaktor sementara produk bawah akan dikirim kembali ke unit pertama.
Produk atas kolom kedua ini akan dicampur dengan hidrogen dan dikirim ke reaktor
pembakar. Reaktor ini berfungsi untuk menghilangkan hidrogen dengan reaksi pembakaran
hidrogen yang menghasilkan air. Air yang dihasilkan selanjutnya dipisahkan di kolom reflux
yang kemudian dibuang ke waste water treatment. Sementara gas yang komponen utamanya
adalah nitrogen dan argon akan menjadi umpan kolom ketiga. Di kolom terakhir ini argon
dan gas ringan yang masih bercampur akan dipisahkan. Produk utamanya berupa gas argon
dan trace gas yang dibuang ke udara. Argon akan dihasilkan sebagai produk bawah
sedangkan trace gas lainnya akan dihasilkan sebagai produk atas kolom distilasi.