SATUAN ACARA PERKULIAHAN

(SAP)

Nama Mata Kuliah : Kapita Selekta Semikonduktor

Kode Mata Kuliah : FIS
Pertemuan ke :I
Alokasi Waktu :2 x 50’
Standar Kompetensi
Menganalisis kontrak perkuliahan untuk dijadikan sebagai pedoman mahasiswa dalam mengikuti
perkuliahan

Kompetensi dasar
Menganalisis tujuan perkuliahan, tugas-tugas yang harus dikerjakan, sistem evaluasi,
teknik belajar, serta soft skill yang harus ditaati atau muncul dalam kegiatan pembelajaran.

Indikator
1. Menjelaskan soft skill yang perlu dimunculkan dalam setiap aktivitas pembelajaran.
2. Menjelaskan jenis-jenis tagihan minimal yang harus penuhi.
3. Menjelaskan sitem evaluasi dan kriteris yang digunakan dalam menentukan kelulusan.

Tujuan Pembelajaran
Meningkatkan pemahaman mahasiswa tentang sistem pembelajaran Kapita Selekta Semikonduktor
sehingga mahasiswa dapat merencanakan dan melaksanakan strategi dan aktivitas-aktivitas pembelajaran
yang sesuai untuk mencapai tujuan pembelajaran yang optimal.

Materi Pokok:
Orientasi perkuliahan Kapita Selekta Semikonduktor meliputi:
1. Menyampaikan kompetensi selama 1 semester
2. Peta dan struktur isi materi (dijelaskan hubungan dan manfaat terhadap mata kuliah lainnya).
3. Aktivitas belajar:
a. Tatap muka
b. Telaah literatur/ riset mini, dll.
4. Tugas (individu dan kelompok)
5. Sumber belajar yang relevan (termasuk perpustakaan)
6. Sistem evaluasi (transparansi dalam penilaian, sistem penilaian)
7. Norma akademik (aturan perkuliahan) Meliputi: kehadiran, waktu masuk kuliah, waktu
pengumpulan tugas, berpakaian, tugas tidak boleh plagiat/menyon-tek (rekomen-dasi: punishment
terhadap pelanggaran norma)
8. Peta soft skills
9. Penandatanganan kontrak perkuliahan oleh dosen mata kuliah dan mahasiswa.

Model Pembelajaran : Self Directed Learning (SDL)

Atribut Soft skills :

1. Kreatif 2. Inovatif 3. Mandiri & Percaya diri
4. Evaluasi diri 5. Bertanggung jawab 6. Pengembangan diri
7. Menyusun strategi 8. Time management 9. Ketekunan
10. Disiplin

Kegiatan Pembelajaran
1. Menyampaikan kontrak perkuliahan
2. Pembahasan dan Tanya janya jawab kontrak perkuliahan
3. Evalusai secara lisan kontrak perkuliahan.
4. Penandatangan kontrak perkuliahan oleh dosen dan mahasiswa.
5. Pembagian kontrak perkuliahan kepada mahasiswa.

Sumber Belajar/Media Pembelajaran : Kontrak perkuliahan, daftar soft skill yang

akan dilatihkan, Transparansi/OHP, Power

1
 Point/Proyektor

Evaluasi : Lisan, bukti kesepakatan melalui penandatangan kontrak perkuliahan

Pertemuan ke : II

Standar Kompetensi
1. Menerapkan fisika kuantum dan fisika statistik utuk menjelaskan sifat fisika material
semikonduktor.
2. Menentukan solusi masalah transpor elektron dalam bahan semikonduktor.
3. Mendeskripsikan proses pembentukan, evaluasi dan pengemasan peranti semikonduktor

Kompetensi dasar
Menjelaskan kecenderungan proses dan produk semikonduktor dalam industri semikonduktor
:
Indikator :
1. Mendeskripsikan perbedaan antara peranti diskrit dan rangkaian terintegrasi
2. Mendefenisikan istilah ‘solid state’, ‘planar processing, ‘N-type’ dan ‘P-type’
3. Mensenaraikan empat tahap utama pemrosesan semikonduktor
4. Menjelaskan skala integrasi dan sedikitnya tiga implikasi pemrosesan rangkaian level
integrasi yang berbeda
5. Mensenaraikan proses utama dan kecenderungan peranti dalam pemrosesan semikonduktor

Materi Pokok:
1. Industri Semikonduktor
1.1 Lahirnya Industri Semikonduktor
1.2 Kecenderungan Proses dan Produk Semikonduktor
1.3 Penurunan Ukuran Fitur
1.4 Penaikan Ukuran ‘chip’ dan ‘wafer’
1.5 Tahap-tahap Pembuatan
Model Pembelajaran : Cooperative Learning (CL)

Atribut soft skill :

Teamwork; Leadership; Komunikasi; Kebersamaan; Toleransi Saling menghargai; Penyelesaian masalah
bersama; Kemampuan analisis

Kegiatan Pembelajaran
Alokasi Fase Pembelajaran Kegiatan
waktu Dosen Mahasiswa
5‘ 1. Menyampaikan tujuan - Membuka pelajaran - Mendengarkan
dan memotivasi - Menjelaskan kompetensi - Mendengarkan dan
mahasiswa - Memotivasi mahasiswa bertanya
- Mendengarkan
20’ 2. Menyajikan informasi Menyajikan materi Industri - Mengajukan
Semikonduktor melalui pendapat
OHP/Proyektor - Mendengarkan
mencatat dan
bertanya.

3. Menggorganisasikan - Membimbing mahasiswa - Diskusi

mahasiswa ke dalam kelompok- dalam melakukan kegiatan berpasangan
40’ kelompok belajar belajar secara koperatif - Diskusi dalam
untuk mengerjakan tugas kelompok
4. Membimbing kelompok dan kelompok I . - Memindahkan
bekerja hasil diskusi
pad transpa-
ransi ,

2
 25’ 5. Evaluasi Mengevaluasi hasil belajar Mempresentasikan
mahasiswa yang terkait hasil kerja oleh 4
dengan besaran dan satuan. (empat) kelompok dan
4 (empat) kelompok
lainnya sebagai
kelompok pembanding
utama.
10’ 6. Memberikan penghargaan Merangkum pembelajaran. Mendengarkan,
menyimak, bertanya,
Memberikan penghargaan dan mencatat informasi
melalui pujian-pujian terhadap penting untuk
bagian-bagian (capaian- mempersiapkan
capaian) tugas yang paling perangakat-perangkat
baik. pembelajaran yang
dibutuhkan pada
Menyampaikan informasi pertemuan berikutnya
penting untuk pertemuan
berikutnya.
Sumber Belajar/Media Pembelajaran: 1 s/d 3 & 5; sumber lain, hand out.
Transparansi/OHP, Power Point/Proyektor

Evaluasi : Tes tertulis, presentasi/performance

Pertemuan ke : III

Standar Kompetensi
1. Menerapkan fisika kuantum dan fisika statistik utuk menjelaskan sifat fisika material
semikonduktor.
2. Menentukan solusi masalah transpor elektron dalam bahan semikonduktor.
3. Mendeskripsikan proses pembentukan, evaluasi dan pengemasan peranti semikonduktor

Kompetensi dasar :
Mendeskripsikan sifat material dan kimiawi semikonduktor

Indikator :
1. Mengidentifikasi bagian-bagian atom
2. Menyebutkan kedua sifat unik semikonduktor terdoping
3. Mensenaraikan sedikitnya tiga material semikonduktor
4. Menjelaskan kelebihan dan kekurangan galium arsenida dibandingkan silikon
5. Menjelaskan perbedaan komposisi dan fungsi kelistrikan semikonduktor tipe-N dan tipe-P
6. Mendeskripsikan sifat resistivitas dan resistansi semikonduktor
7. Mengidentifikasi perbedaan antara asam, alkali dan ‘solvent’
8. Mensenaraikan keempat keadaan alam
9. Mendefenisikan atom, molekul dan ion
10. Menjelaskan empat atau lebih aturan dasar keamanan menangani zat kimia

Materi Pokok:
2. Sifat Material dan Kimiawi Semikonduktor
2.1 Struktur Atom
2.2 Tabel Priodik Elemen
2.3 Konduksi Listrik
2.4 Semikonduktor Intrinsik
2.5 Semikonduktor Terdoping
2.8 Material Produksi Semikonduktor
2.9 Proses Kimia
2.10 Keadaan Materi

3
Model Pembelajaran : Cooperative Learning (CL)

Atribut soft skill :

Teamwork; Leadership; Komunikasi; Kebersamaan; Toleransi Saling menghargai; Penyelesaian masalah
bersama; Kemampuan analisis

Kegiatan Pembelajaran
Alokasi Fase Pembelajaran Kegiatan
waktu Dosen Mahasiswa
5‘ 1. Menyampaikan tujuan - Membuka - Mendengarkan
dan memotivasi pelajaran - Mendengarkan dan
mahasiswa - Menjelaskan bertanya
kompetensi - Mendengarkan
- Memotivasi
mahasiswa
20’ 3. Menyajikan informasi Menyajian materi Sifat - Mengajukan
Material dan Kimiawi pendapat
Semikonduktor yang - Mendengarkan
dibuat dalam mencatat dan
transparansi dengan bertanya.
menggunakan
OHP/Proyektor
6. Menggorganisasikan - Membimbing - Diskusi
mahasiswa ke dalam mahasiswa dalam berpasangan
40’ kelompok-kelompok melakukan kegiatan - Diskusi dalam
belajar belajar secara kelompok
koperatif untuk - Memindahkan
7. Membimbing kelompok mengerjakan tugas hasil diskusi
dan bekerja kelompok I . pad transpa-
ransi ,
25’ 8. Evaluasi Mengevaluasi hasil Mempresentasikan
belajar mahasiswa hasil kerja oleh 4
yang terkait dengan (empat) kelompok dan
besaran dan satuan. 4 (empat) kelompok
lainnya sebagai
kelompok
pembanding utama.
10’ 6. Memberikan Merangkum Mendengarkan,
penghargaan pembelajaran. menyimak, bertanya,
dan mencatat
Memberikan informasi penting
penghargaan melalui untuk mempersiapkan
pujian-pujian terhadap perangakat-perangkat
bagian-bagian pembelajaran yang
(capaian-capaian) dibutuhkan pada
tugas yang paling pertemuan berikutnya
baik.

Menyampaikan
informasi penting
untuk pertemuan
berikutnya.
Sumber Belajar/Media Pembelajaran: 1 s/d 3 & 5; sumber lain, hand out.
Transparansi/OHP, Power Point/Proyektor

Evaluasi : Tes tertulis, presentasi/performance

4
 Pertemuan ke : IV

Standar Kompetensi
1. Menerapkan fisika kuantum dan fisika statistik utuk menjelaskan sifat fisika material
semikonduktor.
2. Menentukan solusi masalah transpor elektron dalam bahan semikonduktor.
3. Mendeskripsikan proses pembentukan, evaluasi dan pengemasan peranti semikonduktor

Kompetensi dasar
Mendeskripsikan fenomena elektron dan hole pada semikonduktor

Indikator :
1. Menjelaskan gejala transpor pada semikonduktor, diagram pita energi semikonduktor i, n,
n-, n+, p, p-, p+, serta kombinasinya
2. Menjelaskan pengertian mobilitas dan kecepatan alir dari hole dan elektron , difusi, serta
persamaannya.

Materi Pokok:
3. Fenomena elektron dan hole pada semikonduktor
3.1 Konduksi hole dan elektron
3.2 Mobilitas Pembawa (Muatan)

Model Pembelajaran : Cooperative Learning (CL)

Atribut soft skill :

Teamwork; Leadership; Komunikasi; Kebersamaan; Toleransi Saling menghargai; Penyelesaian masalah
bersama; Kemampuan analisis

Kegiatan Pembelajaran
Alokasi Fase Pembelajaran Kegiatan
waktu Dosen Mahasiswa
5‘ 1. Menyampaikan tujuan - Membuka - Mendengarkan
dan memotivasi pelajaran - Mendengarkan dan
mahasiswa - Menjelaskan bertanya
kompetensi - Mendengarkan
- Memotivasi
mahasiswa
20’ 4. Menyajikan informasi Menyajian materi - Mengajukan
Fenomena elektron dan pendapat
hole pada - Mendengarkan
semikonduktor yang mencatat dan
dibuat dalam bertanya.
transparansi dengan
menggunakan
OHP/Proyektor
9. Menggorganisasikan - Membimbing - Diskusi
mahasiswa ke dalam mahasiswa dalam berpasangan
40’ kelompok-kelompok melakukan kegiatan - Diskusi dalam
belajar belajar secara kelompok
koperatif untuk - Memindahkan
10. Membimbing mengerjakan tugas hasil diskusi
kelompok dan bekerja kelompok I . pad transpa-
ransi ,
25’ 11. Evaluasi Mengevaluasi hasil Mempresentasikan
belajar mahasiswa hasil kerja oleh 4
yang terkait dengan (empat) kelompok
besaran dan satuan. dan 4 (empat)
kelompok lainnya
sebagai kelompok
pembanding utama.

5
 10’ 6. Memberikan Merangkum Mendengarkan,
penghargaan pembelajaran. menyimak, bertanya,
dan mencatat
Memberikan informasi penting
penghargaan melalui untuk
pujian-pujian terhadap mempersiapkan
bagian-bagian perangakat-perangkat
(capaian-capaian) pembelajaran yang
tugas yang paling dibutuhkan pada
baik. pertemuan
berikutnya
Menyampaikan
informasi penting
untuk pertemuan
berikutnya.
Sumber Belajar/Media Pembelajaran: 1 s/d 3 & 5; sumber lain, hand out.
Transparansi/OHP, Power Point/Proyektor

Evaluasi : Tes tertulis, presentasi/performance

Pertemuan ke :V
Kegiatan Pembelajaran : Formatif I
Pertemuan ke : VI

Standar Kompetensi
1. Menerapkan fisika kuantum dan fisika statistik utuk menjelaskan sifat fisika material
semikonduktor.
2. Menentukan solusi masalah transpor elektron dalam bahan semikonduktor.
3. Mendeskripsikan proses pembentukan, evaluasi dan pengemasan peranti semikonduktor

Kompetensi dasar
Mendeskripsikan penumbuhan kristal dan penyiapan wafer semikonduktor

Indikator :
1. Menjelaskan perbedaan antara material kristal dan nonkristal
2. Menjelaskan perbedaan antara material poli kristal dan mono kristal
3. Menggambar diagram dua orientasi kristal wafer utama yang digunakan dalam pemrosesan
semikonduktor
4. Menjelaskan Czochralsky, zona ambang dan metoda penumbuhan kristal Pembungkusan
Kristal Cair Czochralsky
5. Menggambarkan diagram alir proses penyiapan wafer
6. Menjelaskan penggunaan dan makna dasar rata atau keratan pada wafer
7. Mendeskripsikan keuntungan proses fabrik wafer karena wafer bertepi bulat
8. Mendeskripsikan keuntungan proses fabrik wafer karena wafer berbentuk datar dan
permukaan wafer bebas cacat

Materi Pokok:
4. Penumbuhan Kristal dan Penyiapan ‘Wafer’ Silikon
4.1 Persiapan Silikon Kristal
4.2 Material Kristal
4.3 Orientasi Kristal
4.4 Penumbuhan Kristal
4.5 Kualitas Kristal dan Wafer
4.6 Penyiapan, Pengirisan, Penandaan Wafer
4.7 Evaluasi Wafer

6
Model Pembelajaran : Cooperative Learning (CL)

Atribut soft skill :

Teamwork; Leadership; Komunikasi; Kebersamaan; Toleransi Saling menghargai; Penyelesaian masalah
bersama; Kemampuan analisis

Kegiatan Pembelajaran
Alokasi Fase Pembelajaran Kegiatan
waktu Dosen Mahasiswa
10 ‘ 1. Menyampaikan tujuan - Membuka - Mendengarkan
dan memotivasi pelajaran - Mendengarkan dan
mahasiswa - Menjelaskan bertanya
kompetensi - Mendengarkan
- Memotivasi
mahasiswa
20’ 5. Menyajikan informasi Menyajian materi - Mengajukan
Penumbuhan Kristal pendapat
dan Penyiapan - Mendengarkan
‘Wafer’ Silikon yang mencatat dan
dibuat dalam bertanya.
transparansi dengan
menggunakan
OHP/Proyektor
12. Menggorganisasikan - Membimbing - Diskusi
mahasiswa ke dalam mahasiswa dalam berpasangan
55’ kelompok-kelompok belajar melakukan - Diskusi dalam
kegiatan belajar kelompok
13. Membimbing kelompok secara koperatif - Memindahkan
dan bekerja untuk mengerjakan hasil diskusi
tugas kelompok I . pad transpa-
ransi ,
45’ 14. Evaluasi Mengevaluasi hasil Mempresentasikan
belajar mahasiswa hasil kerja oleh 4
yang terkait dengan (empat) kelompok dan
besaran dan satuan. 4 (empat) kelompok
lainnya sebagai
kelompok
pembanding utama.
20’ 6. Memberikan penghargaan Merangkum Mendengarkan,
pembelajaran. menyimak, bertanya,
dan mencatat
Memberikan informasi penting
penghargaan melalui untuk mempersiapkan
pujian-pujian perangakat-perangkat
terhadap bagian- pembelajaran yang
bagian (capaian- dibutuhkan pada
capaian) tugas yang pertemuan berikutnya
paling baik.

Menyampaikan
informasi penting
untuk pertemuan
berikutnya.
Sumber Belajar/Media Pembelajaran: 1 s/d 3 & 5; sumber lain, hand out.
Transparansi/OHP, Power Point/Proyektor

Evaluasi : Tes tertulis, presentasi/performance

Pertemuan ke : VII

7
Standar Kompetensi
1. Menerapkan fisika kuantum dan fisika statistik utuk menjelaskan sifat fisika material
semikonduktor.
2. Menentukan solusi masalah transpor elektron dalam bahan semikonduktor.
3. Mendeskripsikan proses pembentukan, evaluasi dan pengemasan peranti semikonduktor

Kompetensi dasar
Mendeskripsikan proses fabrikasi wafer

Indikator :
1. Mengidentifikasi dan menjelaskan empat operasi wafer dasar
2. Mengidentifikasi bagian-bagian wafer
3. Menggambarkan diagram alir proses desain-rangkaian
4. Menjelaskan defenisi dan penggunaan penggambaran komposit dan pemasangan masker
5. Menggambarkan penampang lintang yang menunjukkan deretan doping operasi dasar
6. Menggambarkan penampang lintang yang menunjukkan deretan metalisasi operasi dasar
7. Menggmbarkan penampang lintang yang menunjukkan deretan pempassifan operasi dasar
8. Mengidentifikasi bagian-bagian rangkaian terintegrasi chip

Materi Pokok:
5. Telaah Fabrikasi Wafer
5.1 Terminologi Wafer
5.2 Operasi Fabrikasi Wafer Dasar
5.3 Contoh Proses Fabfikasi
5.4 Terminologi Chip
5.5 Pensortiran Wafer
5.6 Pengemasan

Model Pembelajaran : Cooperative Learning (CL)

Atribut soft skill :

Teamwork; Leadership; Komunikasi; Kebersamaan; Toleransi Saling menghargai; Penyelesaian masalah
bersama; Kemampuan analisis

Kegiatan Pembelajaran
Alokasi Fase Pembelajaran Kegiatan
waktu Dosen Mahasiswa
5‘ 1. Menyampaikan tujuan - Membuka - Mendengarkan
dan memotivasi pelajaran - Mendengarkan dan
mahasiswa - Menjelaskan bertanya
kompetensi - Mendengarkan
- Memotivasi
mahasiswa
20’ 6. Menyajikan informasi Menyajian materi - Mengajukan
Telaah Fabrikasi pendapat
Wafer yang dibuat - Mendengarkan
dalam transparansi mencatat dan
dengan menggunakan bertanya.
OHP/Proyektor
15. Menggorganisasikan - Membimbing - Diskusi
mahasiswa ke dalam mahasiswa dalam berpasangan
40’ kelompok-kelompok belajar melakukan - Diskusi dalam
kegiatan belajar kelompok
16. Membimbing kelompok secara koperatif - Memindahkan
dan bekerja untuk mengerjakan hasil diskusi
tugas kelompok I . pad transpa-
ransi ,
25’ 17. Evaluasi Mengevaluasi hasil Mempresentasikan

8
 belajar mahasiswa hasil kerja oleh 4
yang terkait dengan (empat) kelompok dan
besaran dan satuan. 4 (empat) kelompok
lainnya sebagai
kelompok
pembanding utama.
10’ 6. Memberikan penghargaan Merangkum Mendengarkan,
pembelajaran. menyimak, bertanya,
dan mencatat
Memberikan informasi penting
penghargaan melalui untuk mempersiapkan
pujian-pujian perangakat-perangkat
terhadap bagian- pembelajaran yang
bagian (capaian- dibutuhkan pada
capaian) tugas yang pertemuan berikutnya
paling baik.

Menyampaikan
informasi penting
untuk pertemuan
berikutnya.
Sumber Belajar/Media Pembelajaran: 1 s/d 3 & 5; sumber lain, hand out.
Transparansi/OHP, Power Point/Proyektor

Evaluasi : Tes tertulis, presentasi/performance

Pertemuan ke : VIII

Standar Kompetensi
1. Menerapkan fisika kuantum dan fisika statistik utuk menjelaskan sifat fisika material
semikonduktor.
2. Menentukan solusi masalah transpor elektron dalam bahan semikonduktor.
3. Mendeskripsikan proses pembentukan, evaluasi dan pengemasan peranti semikonduktor
Kompetensi dasar
Mendeskripsikan Tahap tahap Pengontrolan Kontaminasi
Indikator :
1. Mengidentifikasi tiga efek utama kontaminasi erhadap peranti dan proses semikonduktor
2. mensenaraikan sumber utama kontaminasi dalam daerah fabrikasi
3. Mendefenisikan ‘class number ‘ ruang bersih
4. Mensenaraikan daerah fabrikasi kerapatan kelas partikel 100, 10 dan 1
5. Mendeskripsikan peranan tekanan positf, udara , dan tikar adesif dalam mempertahankan
tingkat kebersihan
6.Mensenaraikan sedikitnya tiga teknik yang digunakan meminimasi kontaminasi dari
personil fabrikasi
7. Mengidentifikasi kehadiran tiga kontaminan pada air, dan pengontrolannya di fabrik
Materi Pokok:
6. Pengontrolan Kontaminasi
6.1 Masalah Kontaminasi
6.2 Sumber Kontaminasi
6.3 Konstruksi Ruang Bersih
6.4 Material, Pemasok dan Pemeliharaan Ruang Bersih
6.5 Pembersihan Permukaan Wafer
Model Pembelajaran : Cooperative Learning (CL)
Atribut soft skill :
Teamwork; Leadership; Komunikasi; Kebersamaan; Toleransi Saling menghargai; Penyelesaian masalah
bersama; Kemampuan analisis
Kegiatan Pembelajaran
Alokasi Fase Pembelajaran Kegiatan
waktu Dosen Mahasiswa
5‘ 1. Menyampaikan tujuan - Membuka - Mendengarkan

9
 dan memotivasi pelajaran - Mendengarkan dan
mahasiswa - Menjelaskan bertanya
kompetensi - Mendengarkan
- Memotivasi
mahasiswa
20’ 7. Menyajikan informasi Menyajian materi - Mengajukan
Pendopingan yang pendapat
dibuat dalam - Mendengarkan
transparansi dengan mencatat dan
menggunakan bertanya.
OHP/Proyektor
18. Menggorganisasikan - Membimbing - Diskusi
mahasiswa ke dalam mahasiswa dalam berpasangan
40’ kelompok-kelompok belajar melakukan - Diskusi dalam
kegiatan belajar kelompok
19. Membimbing secara koperatif - Memindahkan
kelompok dan bekerja untuk mengerjakan hasil diskusi
tugas kelompok I . pad transpa-
ransi ,
25’ 20. Evaluasi Mengevaluasi hasil Mempresentasikan
belajar mahasiswa hasil kerja oleh 4
yang terkait dengan (empat) kelompok
besaran dan satuan. dan 4 (empat)
kelompok lainnya
sebagai kelompok
pembanding utama.
10’ 6. Memberikan penghargaan Merangkum Mendengarkan,
pembelajaran. menyimak, bertanya,
dan mencatat
Memberikan informasi penting
penghargaan melalui untuk
pujian-pujian mempersiapkan
terhadap bagian- perangakat-
bagian (capaian- perangkat
capaian) tugas yang pembelajaran yang
paling baik. dibutuhkan pada
pertemuan
Menyampaikan berikutnya
informasi penting
untuk pertemuan
berikutnya.
Sumber Belajar/Media Pembelajaran: 1 s/d 3 & 5; sumber lain, hand out.
Transparansi/OHP, Power Point/Proyektor
Evaluasi : Tes tertulis, presentasi/performance

Pertemuan ke : IX
Kegiatan Pembelajaran : Formatif II
Pertemuan ke :X
Standar Kompetensi
1. Menerapkan fisika kuantum dan fisika statistik utuk menjelaskan sifat fisika material
semikonduktor.
2. Menentukan solusi masalah transpor elektron dalam bahan semikonduktor.
3. Mendeskripsikan proses pembentukan, evaluasi dan pengemasan peranti semikonduktor
Kompetensi dasar
Mendeskripsikan penciptaan dan pengontrolan konduktivitas dan tipe konduktivitas semikonduktor melalui
doping

10
Indikator :
1.Mendefenisikan sambungan N_P
2.Menggambarkan diagram alir proses diffusi lengkap
3. Mensenaraikan dopan yang paling biasa digunakan dalam teknologi silikon
4. Mensenaraikan tiga tipe sumber deposisi
5. Menggambarkan tipe kurva konsentrasi-versus jarak untuk deposisi dan ‘drive-in’
6. Mensenaraikan bagian-bagian utama pengimplantasi ion
7. Mendeskripsikan prinsip-prinsip pengimplantasi ion
8. Membandingkan kelebihan dan kekurangan diffusi dan proses implantasi ion

Materi Pokok:
7. Pendopingan
7.1 Pembentukan Daerah Doping dan Sambungan Melalui Diffusi
7.2 Langkah-langkah Proses Diffusi
7.3 Implantasi Ion
Model Pembelajaran : Cooperative Learning (CL)
Atribut soft skill :
Teamwork; Leadership; Komunikasi; Kebersamaan; Toleransi Saling menghargai; Penyelesaian masalah
bersama; Kemampuan analisis
Kegiatan Pembelajaran
Alokasi Fase Pembelajaran Kegiatan
waktu Dosen Mahasiswa
5‘ 1. Menyampaikan tujuan - Membuka - Mendengarkan
dan memotivasi pelajaran - Mendengarkan dan
mahasiswa - Menjelaskan bertanya
kompetensi - Mendengarkan
- Memotivasi
mahasiswa
20’ 8. Menyajikan informasi Menyajian materi - Mengajukan
Pendopingan yang pendapat
dibuat dalam - Mendengarkan
transparansi dengan mencatat dan
menggunakan bertanya.
OHP/Proyektor
21. Menggorganisasikan - Membimbing - Diskusi
mahasiswa ke dalam mahasiswa dalam berpasangan
40’ kelompok-kelompok belajar melakukan - Diskusi dalam
kegiatan belajar kelompok
22. Membimbing kelompok secara koperatif - Memindahkan
dan bekerja untuk mengerjakan hasil diskusi
tugas kelompok I . pad transpa-
ransi ,
25’ 23. Evaluasi Mengevaluasi hasil Mempresentasikan
belajar mahasiswa hasil kerja oleh 4
yang terkait dengan (empat) kelompok dan
besaran dan satuan. 4 (empat) kelompok
lainnya sebagai
kelompok
pembanding utama.
10’ 6. Memberikan penghargaan Merangkum Mendengarkan,
pembelajaran. menyimak, bertanya,
dan mencatat
Memberikan informasi penting
penghargaan melalui untuk mempersiapkan
pujian-pujian perangakat-perangkat
terhadap bagian- pembelajaran yang
bagian (capaian- dibutuhkan pada
capaian) tugas yang pertemuan berikutnya
paling baik.

11
 Menyampaikan
informasi penting
untuk pertemuan
berikutnya.

Sumber Belajar/Media Pembelajaran: 1 s/d 3 & 5; sumber lain, hand out.

Transparansi/OHP, Power Point/Proyektor
Evaluasi : Tes tertulis, presentasi/performance

Pertemuan ke : XI

Standar Kompetensi
1. Menerapkan fisika kuantum dan fisika statistik utuk menjelaskan sifat fisika material
semikonduktor.
2. Menentukan solusi masalah transpor elektron dalam bahan semikonduktor.
3. Mendeskripsikan proses pembentukan, evaluasi dan pengemasan peranti semikonduktor
Kompetensi dasar
Menjelaskan langkah-langkah evaluasi proses dan peranti
Indikator :
1. Menjelaskan perbedaan antara resistansi, resistivitas dan resistasi lembaran
2. Menggambarkan bagan bagian-bagian aliran arus dalam penyidik emapt-titik
3. Membandingkan prinsip-prinsip dan penggunaan interferensi warna, perhitungan ‘fringe’,
spectrophotometers, ellipsometer, jarum untuk mengukur ketebalan film.
4.Membandingkan prinsip dan penggunaan alur dan ‘stain’, SEM, dan sebaran resistansiuntuk
pengukuran kedalaman sambungan

Materi Pokok:
8.1 Pengukuran Kelistrikan Wafer
8.2 Langkah-langkah Evaluasi Proses dan Peranti
8.3 Pengukuran Ketebalan Lapisan
8.4 Pengukuran Kelistrikan Peranti

Model Pembelajaran : Cooperative Learning (CL)

Atribut soft skill :

Teamwork; Leadership; Komunikasi; Kebersamaan; Toleransi Saling menghargai; Penyelesaian masalah
bersama; Kemampuan analisis

Kegiatan Pembelajaran
Alokasi Fase Pembelajaran Kegiatan
waktu Dosen Mahasiswa
5‘ 1. Menyampaikan tujuan - Membuka - Mendengarkan
dan memotivasi pelajaran - Mendengarkan dan
mahasiswa - Menjelaskan bertanya
kompetensi - Mendengarkan
- Memotivasi
mahasiswa
20’ 9. Menyajikan informasi Menyajian materi - Mengajukan
Pengukuran pendapat
Kelistrikan Wafer - Mendengarkan
yang dibuat dalam mencatat dan
transparansi dengan bertanya.
menggunakan
OHP/Proyektor
24. Menggorganisasikan - Membimbing - Diskusi
mahasiswa ke dalam mahasiswa dalam berpasangan
25’ kelompok-kelompok belajar melakukan - Diskusi dalam
kegiatan belajar kelompok

12
 25. Membimbing kelompok secara koperatif - Memindahkan
dan bekerja untuk mengerjakan hasil diskusi
tugas kelompok I . pad transpa-
ransi ,
40’ 26. Evaluasi Mengevaluasi hasil Mempresentasikan
belajar mahasiswa hasil kerja oleh 4
yang terkait dengan (empat) kelompok dan
besaran dan satuan. 4 (empat) kelompok
lainnya sebagai
kelompok
pembanding utama.
10’ 6. Memberikan penghargaan Merangkum Mendengarkan,
pembelajaran. menyimak, bertanya,
dan mencatat
Memberikan informasi penting
penghargaan melalui untuk mempersiapkan
pujian-pujian perangakat-perangkat
terhadap bagian- pembelajaran yang
bagian (capaian- dibutuhkan pada
capaian) tugas yang pertemuan berikutnya
paling baik.

Menyampaikan
informasi penting
untuk pertemuan
berikutnya.
Sumber Belajar/Media Pembelajaran: 1 s/d 3 & 5; sumber lain, hand out.
Transparansi/OHP, Power Point/Proyektor

Evaluasi : Tes tertulis, presentasi/perform

Pertemuan ke : XII

Standar Kompetensi
1. Menerapkan fisika kuantum dan fisika statistik utuk menjelaskan sifat fisika material
semikonduktor.
2. Menentukan solusi masalah transpor elektron dalam bahan semikonduktor.
3. Mendeskripsikan proses pembentukan, evaluasi dan pengemasan peranti semikonduktor

Kompetensi dasar
Mendeskripsikan Pembentukan Peranti dan Rangkaian Terintegrasi

Indikator :
1. Membuat bagan dan mengidentifikasi bagian-bagian struktural komponen individu
rangkaian terintegrasi
2. Menjelaskan peranan dan perbedaan struktur isolasi yang digunakan untuk rangkaian
terintegrasi
3. Membuat bagan dan mengidentifikasi operasi transistor bipolar dan MOS
4. Mensenaraikan tipe dan keuntungan struktur gerbang MOS yang berbeda
5. Menggambar bagan dan mengidentifikasi bagian-bagian rangkaian bi-MOS

Materi Pokok:
9. Pembentukan Peranti dan Rangkaian Terintegrasi
9.1 Pembentukan Peranti Semikonduktor
9.2 Pembentukan Rangkaian Terintegrasi

Model Pembelajaran : Cooperative Learning (CL)

Atribut soft skill :

13
Teamwork; Leadership; Komunikasi; Kebersamaan; Toleransi Saling menghargai; Penyelesaian masalah
bersama; Kemampuan analisis

Kegiatan Pembelajaran
Alokasi Fase Pembelajaran Kegiatan
waktu Dosen Mahasiswa
5‘ 1. Menyampaikan tujuan - Membuka - Mendengarkan
dan memotivasi pelajaran - Mendengarkan dan
mahasiswa - Menjelaskan bertanya
kompetensi - Mendengarkan
- Memotivasi
mahasiswa
20’ 10. Menyajikan informasi Menyajian materi - Mengajukan
Pembentukan Peranti pendapat
dan Rangkaian - Mendengarkan
Terintegrasi yang mencatat dan
dibuat dalam bertanya.
transparansi dengan
menggunakan
OHP/Proyektor
27. Menggorganisasikan - Membimbing - Diskusi
mahasiswa ke dalam mahasiswa dalam berpasangan
40’ kelompok-kelompok belajar melakukan - Diskusi dalam
kegiatan belajar kelompok
28. Membimbing kelompok secara koperatif - Memindahkan
dan bekerja untuk mengerjakan hasil diskusi
tugas kelompok I . pad transpa-
ransi ,
25’ 29. Evaluasi Mengevaluasi hasil Mempresentasikan
belajar mahasiswa hasil kerja oleh 4
yang terkait dengan (empat) kelompok dan
besaran dan satuan. 4 (empat) kelompok
lainnya sebagai
kelompok
pembanding utama.
10’ 6. Memberikan penghargaan Merangkum Mendengarkan,
pembelajaran. menyimak, bertanya,
dan mencatat
Memberikan informasi penting
penghargaan melalui untuk mempersiapkan
pujian-pujian perangakat-perangkat
terhadap bagian- pembelajaran yang
bagian (capaian- dibutuhkan pada
capaian) tugas yang pertemuan berikutnya
paling baik.

Menyampaikan
informasi penting
untuk pertemuan
berikutnya.
Sumber Belajar/Media Pembelajaran: 1 s/d 3 & 5; sumber lain, hand out.
Transparansi/OHP, Power Point/Proyektor

Evaluasi : Tes tertulis, presentasi/performance

Pertemuan ke : XIII
Kegiatan Pembelajaran : Formatif III
14
 Pertemuan ke : XIV

Standar Kompetensi
1. Menerapkan fisika kuantum dan fisika statistik utuk menjelaskan sifat fisika material
semikonduktor.
2. Menentukan solusi masalah transpor elektron dalam bahan semikonduktor.
3. Mendeskripsikan proses pembentukan, evaluasi dan pengemasan peranti semikonduktor

Kompetensi dasar
Menjelaskan tipe-tipe rangkaian terintegrasi

Indikator :
1. Menjelaskan konsep bilangan biner
2. Mensenaraikan fungsi rangkaian terintegrasi utama
3. Membandingkan dasar analog dan digital rangkaian logik
4. Mensenaraiakan keuntungan penggunaan dan produsen susunan gerbang logika dan
rangkaian PROM
5. Menjelaskan tipe rangkaian memori utama
6. Membuat daftar empat rangkaian memori nonvolatile
7. Membandingkan performans dan faktor biaya rangkaian memori DRAM dan SRAM

Materi Pokok:
10. Rangkaian Terintegrasi
10.1 Dasar-dasar Rangkaian
10.2 Tipe-tipe Rangkaian Terintegrasi
10.3 Rangkaian Memori

Model Pembelajaran : Cooperative Learning (CL)

Atribut soft skill :

Teamwork; Leadership; Komunikasi; Kebersamaan; Toleransi Saling menghargai; Penyelesaian masalah
bersama; Kemampuan analisis

Kegiatan Pembelajaran
Alokasi Fase Pembelajaran Kegiatan
waktu Dosen Mahasiswa
5‘ 1. Menyampaikan tujuan - Membuka - Mendengarkan
dan memotivasi pelajaran - Mendengarkan dan
mahasiswa - Menjelaskan bertanya
kompetensi - Mendengarkan
- Memotivasi
mahasiswa
20’ 11. Menyajikan informasi Menyajian materi - Mengajukan
Rangkaian pendapat
Terintegrasi yang - Mendengarkan
dibuat dalam mencatat dan
transparansi dengan bertanya.
menggunakan
OHP/Proyektor
30. Menggorganisasikan - Membimbing - Diskusi
mahasiswa ke dalam mahasiswa dalam berpasangan
40’ kelompok-kelompok belajar melakukan - Diskusi dalam
kegiatan belajar kelompok
31. Membimbing secara koperatif - Memindahkan
kelompok dan bekerja untuk mengerjakan hasil diskusi
tugas kelompok I . pad transpa-
ransi ,
25’ 32. Evaluasi Mengevaluasi hasil Mempresentasikan

15
 belajar mahasiswa hasil kerja oleh 4
yang terkait dengan (empat) kelompok
besaran dan satuan. dan 4 (empat)
kelompok lainnya
sebagai kelompok
pembanding utama.
10’ 6. Memberikan penghargaan Merangkum Mendengarkan,
pembelajaran. menyimak, bertanya,
dan mencatat
Memberikan informasi penting
penghargaan melalui untuk
pujian-pujian mempersiapkan
terhadap bagian- perangakat-
bagian (capaian- perangkat
capaian) tugas yang pembelajaran yang
paling baik. dibutuhkan pada
pertemuan
Menyampaikan berikutnya
informasi penting
untuk pertemuan
berikutnya.
Sumber Belajar/Media Pembelajaran: 1 s/d 3 & 5; sumber lain, hand out.
Transparansi/OHP, Power Point/Proyektor

Evaluasi : Tes tertulis, presentasi/performance

Pertemuan ke : XV
Standar Kompetensi
1. Menerapkan fisika kuantum dan fisika statistik utuk menjelaskan sifat fisika material
semikonduktor.
2. Menentukan solusi masalah transpor elektron dalam bahan semikonduktor.
3. Mendeskripsikan proses pembentukan, evaluasi dan pengemasan peranti semikonduktor

Kompetensi dasar
Mendeskripsikan tahap-tahap pengemasan peranti semikonduktor

Indikator :
1. Mensenaraikan emapat fungsi pengemasan semikonduktor
2. Mensenaraikan lima bagian-bagian biasa kemasan
3. Mengenal dan mengidentifikasi desain pengemasan utama
4. Mensenaraikan dan mendeskripsikan aliran proses pengemasan utama

Materi Pokok:
11. Pengemasan
11.1 Karakteristik Chip
11.2 Desain dan Fungsi Pengemasan
11.3 Tinjauan Operasi Pengemasan
11.3 Proses Pengemasan

Model Pembelajaran : Cooperative Learning (CL)

Atribut soft skill :

Teamwork; Leadership; Komunikasi; Kebersamaan; Toleransi Saling menghargai; Penyelesaian masalah
bersama; Kemampuan analisis

Kegiatan Pembelajaran
Alokasi Fase Pembelajaran Kegiatan
waktu Dosen Mahasiswa

16
 5‘ 1. Menyampaikan tujuan - Membuka - Mendengarkan
dan memotivasi pelajaran - Mendengarkan dan
mahasiswa - Menjelaskan bertanya
kompetensi - Mendengarkan
- Memotivasi
mahasiswa
20’ 12. Menyajikan informasi Menyajian materi - Mengajukan
Pengemasan pendapat
yang dibuat dalam - Mendengarkan
transparansi dengan mencatat dan
menggunakan bertanya.
OHP/Proyektor
33. Menggorganisasikan - Membimbing - Diskusi
mahasiswa ke dalam mahasiswa dalam berpasangan
40’ kelompok-kelompok belajar melakukan - Diskusi dalam
kegiatan belajar kelompok
34. Membimbing kelompok secara koperatif - Memindahkan
dan bekerja untuk mengerjakan hasil diskusi
tugas kelompok I . pad transpa-
ransi ,
25’ 35. Evaluasi Mengevaluasi hasil Mempresentasikan
belajar mahasiswa hasil kerja oleh 4
yang terkait dengan (empat) kelompok dan
besaran dan satuan. 4 (empat) kelompok
lainnya sebagai
kelompok
pembanding utama.
10’ 6. Memberikan penghargaan Merangkum Mendengarkan,
pembelajaran. menyimak, bertanya,
dan mencatat
Memberikan informasi penting
penghargaan melalui untuk mempersiapkan
pujian-pujian perangakat-perangkat
terhadap bagian- pembelajaran yang
bagian (capaian- dibutuhkan pada
capaian) tugas yang pertemuan berikutnya
paling baik.

Menyampaikan
informasi penting
untuk pertemuan
berikutnya.

Sumber Belajar/Media Pembelajaran: 1 s/d 3 & 5; sumber lain, hand out.

Transparansi/OHP, Power Point/Proyektor

Evaluasi : Tes tertulis, presentasi/performance

Pertemuan ke : XVI
Kegiatan Pembelajaran : Formatif IV

17