RENCANA PEMBELAJARAN SEMESTER (RPS)

UNIVERSITAS DIPONEGORO

SPMI- UNDIP RPS 10.04.05 502

Revisi ke 1
Tanggal 5 September 2019
Dikaji Ulang Oleh Ketua Program Studi Teknik Elektro
Dikendalikan Oleh GPM Teknik Elektro
Disetujui Oleh Dekan Fakultas Teknik

UNIVERSITAS SPMI-UNDIP/RPS/10.04.05/097 Disetujui Oleh

DIPONEGORO
Revisi ke Tanggal Dekan Fak. Teknik
Rencana Pembelajaran
1 5
Semester
September
2019
 UNIVERSITAS DIPONEGORO
SPMI-
FAKULTAS TEKNIK
UNDIP/RPS/10.04.05/09
DEPARTEMEN TEKNIK ELEKTRO
7
PROGRAM SARJANA

RENCANA PEMBELAJARAN SEMESTER

TANGGAL
MATA KULIAH (MK) KODE RUMPUN MK BOBOT SEMESTER
PENYUSUNAN
5 September
Nano teknologi + Thin Film TEL21502 Elektronika T=3 P=0
2019
Koordinator
OTORISASI/PENGESAHAN DOSEN PENGEMBANG RPS KaPRODI
RMK

CAPAIAN PEMBELAJARAN CPL yang dibebankan pada MK

PK1 Memiliki pengetahuan sains dan matematika, komputasi dan komputer
untuk menganalisis dan merancang divais atau sistem kompleks serta
mampu menerapkannya untuk memecahkan masalah rekayasa dengan
prinsip-prinsip keteknikan
CPMK (Capaian Pembelajaran Mata Kuliah)
CPMK-1 Mampu menjelaskan (C2) dan menggambarkan (C3) definisi
nanoteknologi, ikatan kristal, struktur kepadatan
CPMK-2 Mampu menjelaskan dan menggambarkan pita, transport listrik, mekanik
kuanntum, teknik pertumbuhan, karakterisasi, dan beberapa topik
spesial nanoteknologi
CPL 🡺 subCPMK

Deskripsi Singkat Mata kuliah ini berisi tentang teknologi yang didasarkan pada rekayasa sifat-sifat material
yang berukuran nanometer. Disiplin nanoteknologi baru-baru ini menjadi salah satu
bidang pengetahuan terpenting yang mencakup berbagai disiplin ilmu termasuk fisika,
kimia, biologi dan teknik.
Bahan Kajian 1. Konsep Pendahulan Nanoteknologi
Materi Pembelajaran 2. Ikatan Kristal, Struktur, Pertumbuhan dan Simetris
3. Struktur Band dan Kepadatan Benda pada Skala Nano
4. Transport Listrik dalam Struktur nano
5. Quantum Mekanik untuk Nanosain
6. Teknik Pertumbuhan dari Nanomaterial
7. Perangkat Karakterisasi Material Nano
8. Topik dalam Teknologi Nano
Pustaka Utama:
1. Introduction to Nanoscence and Nanotechnology, KK Chattopadhyay

Pengampu Dr. Munawar AR. dan Hadha Afrisal, MSc

Prasyarat -
Media Pembelajaran Papan Tulis, LCD Projector, Laptop, dan Power Point
 Bentuk
pembelajaran;
Metode
Sub-CPMK Penilaian
Pembelajaran;
Mg (sebagai Materi Bobot
Penugasan;
ke- kemampuan akhir Pembelajaran (%)
[Estimasi Waktu]
yang diharapkan)
Tatap
Kriteria dan
Indikator Muka/Lur Daring
Bentuk
ing
(1) (2) (3) (4) (5) (6) (7) (8)
1 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Latar Belakang 5
menjelaskan materi menjelaskan Ketepatan diskusi dan Nanosain dan
konsep pendahulan dan sesuai kerja Nano Teknologi
Nanoteknologi (C2) memahami pedoman mandiri ● Definisi Nanosain
konsep penilaian dan Nano
pendahuluan TM: 3 x Teknologi
Nano 50” ● Aplikasi yang
Teknologi BT: 3 x Mungkin dari
Bentuk 50” Nano Teknologi
non-test: BM: 3 x
Merangkum 60”
bahan ajar
2 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Pendahuluan 5
menjelaskan materi menjelaskan Ketepatan diskusi dan ● Ikatan Kristal
Ikatan Kristal, dan sesuai kerja ● Struktur Kristal
Struktur, Pertumbuhan mendeskripsik pedoman mandiri ● Pertumbuhan
dan Simetris (C2) dan an Ikatan penilaian Kristal
menggambarkannya Kristal, TM: 3 x
(C3) Struktur, 50”
Pertumbuhan BT: 3 x
dan Simetris Bentuk 50”
● non-test: BM: 3 x
Merangkum 60”
bahan ajar
3 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Klasifikasi Kristal 10
menjelaskan (C2) dan menjelaskan Ketepatan diskusi dan ● Beberapa
menggambarkan (C3) dan sesuai kerja Struktur Penting
Ikatan Kristal, mendeskripsik pedoman mandiri Kristal
Struktur, Pertumbuhan an klasifikasi penilaian
dan Simetris Kristal TM: 3 x
beberapa 50”
struktur BT: 3 x
penting Kristal Bentuk 50”
non-test: BM: 3 x
Merangkum 60”
bahan ajar
4 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Pendahuluan 5
menjelaskan (C2) dan menjelaskan Ketepatan diskusi dan ● Pita Energi
menggambarkan (C3) dan sesuai kerja ● Kepadatan
Struktur band dan mendeskripsik pedoman mandiri Benda pada
kepadatan benda an pita energi penilaian Struktur Dimensi
pada skala nano kepadatan TM: 3 x Rendah
benda pada 50”
struktur BT: 3 x
50”
 dimensi Bentuk BM: 3 x
rendah non-test: 60”
Merangkum
bahan ajar
5 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Konduksi listrik 10
menjelaskan (C2) dan menjelaskan Ketepatan diskusi dan dalam metal
menggambarkan (C3) dan sesuai kerja ● Konduksi listrik
Transport Listrik mendeskripsik pedoman mandiri dalam insulator
dalam Struktur nano an transport penilaian ● Transport
listrik dalam TM: 3 x elektron dalam
struktur nano 50” semikonduktor
BT: 3 x ● Mekanisme
Bentuk 50” variasi konduksi
non-test: BM: 3 x
Merangkum 60”
bahan ajar
6 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Pendahuluan 5
menjelaskan (C2), menjelaskan, Ketepatan diskusi dan ● Pre-Quantum
menggambarkan(C3) pengenalan sesuai kerja ● Sifat Quantum
pengenalan quantum quantum pedoman mandiri
mekanik untuk mekanik untuk penilaian
nanosain nanosain TM: 3 x
50”
BT: 3 x
Bentuk 50”
non-test: BM: 3 x
Merangkum 60”
bahan ajar
7 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Evaluasi 10
menjelaskan (C2), menjelaskan Ketepatan diskusi dan
menggambarkan (C3) dan sesuai kerja
soal evaluasi menggambark pedoman mandiri
an soal penilaian
evaluasi TM: 3 x
50”
BT: 3 x
Bentuk 50”
non-test: BM: 3 x
Merangkum 60”
bahan ajar
UTS 40
8 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Pendahuluan 5
menjelaskan (C2), menjelaskan Ketepatan diskusi dan ● Teknik Top-down
menggambarkan (C3), dan sesuai kerja Vs Bottom-up
Teknik pertumbuhan mendeskripsik pedoman mandiri ● Proses
dari nanomaterial an teknik penilaian Lithografik
pertumbuhan TM: 3 x ● Teknik Non
dari 50” Lithografik
nanomaterial BT: 3 x
Bentuk 50”
non-test: BM: 3 x
Merangkum 60”
bahan ajar
9 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Plasma Arc 5
menjelaskan (C2) menjelaskan diskusi dan Discharge
 menghitung (C3) dan Ketepatan kerja ● Sputtering
Teknik pertumbuhan mendeskripsik sesuai mandiri ● Evaporation
dari nanomaterial an teknik pedoman ● Chemikal Vapour
pertumbuhan penilaian TM: 3 x Deposition
dari 50”
nanomaterial BT: 3 x
50”
Bentuk BM: 3 x
non-test: 60”
Merangkum
bahan ajar
10 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Deposisi pulsa 5
menjelaskan (C2) menjelaskan Ketepatan diskusi dan laser
menggambarkan (C3) dan sesuai kerja ● Epitaksi beam
Teknik pertumbuhan mendeskripsik pedoman mandiri molekular
dari nanomaterial an teknik penilaian ● Teknik sol gel
pertumbuhan TM: 3 x ● Elektro deposisi
dari 50” ● Proses yang lain
nanomaterial Bentuk BT: 3 x
non-test: 50”
Merangkum BM: 3 x
bahan ajar 60”

11 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Pendahuluan 5

menjelaskan (C2) dan menjelaskan Ketepatan diskusi dan ● Prinsip dasar
menerapkan (C3) dan sesuai kerja Teknik SPM
perangkat mendeskripsik pedoman mandiri ● Detail STM
karakterisasi material an perangkat penilaian
nano karakterisasi TM: 3 x
material nano 50”
Bentuk BT: 3 x
non-test: 50”
Merangkum BM: 3 x
bahan ajar 60”

12 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Konsep umum 10

menjelaskan (C2) dan menjelaskan Ketepatan diskusi dan dan karakteristik
menerapkan (C3) dan sesuai kerja pendefinisian
perangkat mendeskripsik pedoman mandiri AFM
karakterisasi material an perangkat penilaian ● Mikroskopi
nano karakterisasi TM: 3 x elektron
material nano 50”
BT: 3 x
Bentuk 50”
non-test: BM: 3 x
Merangkum 60”
bahan ajar
13 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Pendahuluan 5
menjelaskan (C2), memahami, Ketepatan diskusi dan ● Era struktur nano
menggambarkan (C3) teberapa topik sesuai kerja baru dari karbon
Beberapa topik dalam dalam pedoman mandiri ● BN Nanotub
teknologi nano teknologi nano penilaian ● Nanoelektronik
TM: 3 x
50”
 Bentuk BT: 3 x
non-test: 50”
Merangkum BM: 3 x
bahan ajar 60”

14 Mahasiswa mampu ● Ketepatan Kriteria: Kuliah, ● Evaluasi 10

menjelaskan (C2), menjelaskan Ketepatan diskusi dan
menggambarkan (C3) dan sesuai kerja
soal evaluasi menggambark pedoman mandiri
an soal penilaian
evaluasi TM: 3 x
50”
BT: 3 x
Bentuk 50”
non-test: BM: 3 x
Merangkum 60”
bahan ajar
UAS 40