www.duraposita.com
duraposita@yahoo.co.id
duraposita@gmail.com
1.Etsa logam
z Adalah suatu teknik untuk melukai permukaan logam
dengan bahan kimia.
z Bahan kimia yang digunakan dapat bersifat asam atau
basa tergantung dari logam yang akan dietsa.
z Bahan kimia yang digunakan untuk melukai logam
tersebut dinamakan etchant
2.Komponen etsa kimia logam
z Substrat
z Resist
z Etchant
z Kontainer
z Safety equipmen
Substrat
Feric chloride solution (33 Be) 15OC - 100 µm/h Plastic or ceramic tanks
+ 3 – 5% vol hydrochloric acid 45OC - 250 µm/h Plastic, ceramic, stainless
60% vol nitric acid Room - 5 µm/min steel tanks
10% vol sulphuric acide + 2 ½ - 20% chromic Room - 25 µm/min Plastic, ceramic, stainless
Brass or cooper acide Room - steel tanks
Ammonium persulphate 10 – 25% + 7 p.p.m Room 10 volts Plastic or ceramic tanks
mercurous chloride 3 – 5 amp / dm2 Plastic, rubber – lined or
30% ammonium chloride + 5% sodium ceramic tanks.
chloride Anodic