JURNAL PRAKTIKUM FISIKA OPTIK
Pengukuran Ketebalan Film Menggunakan
Interferometer Michelson
Hilmy Yafi’ Zuhair, Rizqi Nur Ainun, Faisal Fikri Oktaviantoni, Faridawati
Departemen Fisika, Fakultas Sains, Institut Teknologi Sepuluh Nopember
Jalan Arief Rahman Hakim, Surabaya 60111 Indonesia
e-mail: rizqinurainun@gmail.com, ffoktaviantoni@gmail.com
Abstrak—Percobaan Pengukuran Ketebalan Film
Menggunakan Interferometer Michelson merupakan
kegiatan mengukur ketebalan suatu film dengan
inferometer. Tujuan dari percobaan ini adalah untuk
mengetahui ketebalan film yang diteliti. Prinsip utama yang
digunakan adalah interferensi. Percobaan ini dilakukan
dengan menembakkan cahaya kepada satu set inferometer
sehingga muncul pola frinji. Pola tersebut kemudian
dianalisi dengan bantuan pemrograman dari Matlab untuk
mendapatkan nilai ketebalan film yang diteliti.
Kata Kunci—frinji, interferensi, interferometer Michelson
I. PENDAHULUAN
I NTERFERENSI merupakan salah satu fenomena
yang dihasilkan dari aktivitas gelombang cahaya.
Dalam hal ini, interferensi antara dua atau lebih
gelombang menghasilkan suatu gelombang baru yang
memiliki “kekuatan” lebih besar sehingga dapat
bermanfaat dalam menyelesaikan berbagai
permasalahan sehari-hari. Interferensi ini juga dapat
menyederhanakan banyaknya jumlah gelombang yang
beredar menjadi satu saja yang dapat fokus dipakai
untuk keperluan tertentu.
Cahaya monokromatik merupakan cahaya yang hanya
memiliki satu rrentang panjang gelombang atau
frekuensi gelombang. Dinyatakan sebagai istilah rentang
panjang mengingat tidak ada suatu cahaya pun yang
benar-benar berwarna tunggal namun pastinya tetap ada
dominasi dari satu nilai panjang gelombang yang
memperkuat sifat monokromatiknya. Cahaya
monokromatik apabila dilakukan proses penguraian
maka hanya akan memunculkan spektrum energi tinggi
rendah yang dapat dilihat sebagai pola gelap terang [1].
Panjang gelombang optik didefinisikan sebagai
panjang maksimum lintasan optik yang ditembakkan
dari sumber. Untuk mengetahui panjang gelombang
optik dapat melalui berbagai metode, salah satunya
adalah melalui interferensi gelombang. Interferensi
adalah peristiwa paduan antara dua atau lebih
gelombang yang membentuk satu gelombang yang baru.
Interferensi hanya dapat terjadi apabila sejumlah
gelombang cahaya yang menjadi objek interferensi
memiliki frekuensi yang sama dan amplitudo yang
hampir sama. Percobaan interferensi pertama kali
dilakukan ole Thomas Young dan H.J. Fresnel.
Keduanya memiliki perbedaan dalam hal instrumen
yang digunakan mereka untuk meneliti proses
interferensi. Fresnel menggunakan salah satu sumber
cahaya yang dipantulkan oleh kedua cermin seolah-olah
ada dua gelombang cahaya yang berasal dari dua
sumber. Sedangkan Young menggunakan celah tunggal
primer lalu didekatkan dengan celah ganda sekunder
agar cahaya dapat terpecah menjadi dua gelombang.
1
Terlepas dari perbedaan di atas, keduanya menghasilkan
pengamatan yang sama, yaitu adanya interferensi
konstruktif dengan amplitudo maksimum jika kedua
gelombang cahaya sefase dan interferensi destruktif
dengan amplitudo nol jika kedua gelombang cahaya
saling berlawanan fase [2].
Laser merupakan alat optik paling penting sejak
penemuannya pertama kali pada tahun 1960 karena
kontribusinya terhadap perkembangan teknologi dan
sains yang semakin massif. Laser pada dasarnya adalah
sebuat alat penguat optis. Laser sesungguhnya adalah
akronim dari “Light Amplification by the Stimulated
Emission Radiation”. Sehingga dapat dikatakan bahwa
laser adalah penguat gelombang cahaya dengan
menstimulasi pancaran radiasi [1].
Tiga komponen penting dalam laser yaitu “pump”
(sumber energi), ‘medium” (ruang kerja), dan resonator
(penyama). Resonator dinyatakan dalam bentuk dua
buah cermin dan ketiga komponen di atas dinyatakan
dalam gambar 1. [1]
“Pump” dapat dinyatakan sebagai sumber energi, baik
berupa listrik, panas, atau kimia, meskipun energi yang
digunakan umumnya adalah energi listrik. “Pump” akan
menghasilkan dua tingkat energi, sebagai salah satu
syarat penguatan cahaya. Kemudian, medium tentunya
merupakan ruang yang dibutuhkan untuk menguatkan
laser. Medium dapat berupa zat cair, padat, maupun gas.
Resonator sendiri berguna untuk menyamakan frekuensi
kedua tingkat gelombang energi [1].
Cara kerja laser secara umum adalah sebagai berikut.
Dimulai dari aktivitas energi sumber yang menyebabkan
adanya interaksi energi dengan medium, sehingga
pancaran radiasi bergerak dari keadaan dasar menuju ke
tingkat energi tertntu, kemudian transmisi radiasi masuk
ke resonator untuk menyamakan frekuensi dua
gelombang yang terbentuk dari resonansi foton,
sehingga cahaya laser dapat keluar. Sisa radiasi (dalam
hal ini elektron) yang tidak terpakai akan kembali ke
keadaan dasar. Proses lebih lanjut dinyatakan sebagai
gambar 2 berikut [1].
Interferometer Michelson merupakan salah satu
teknologi interferensi yang diperkenalkan pertama kali
oleh Albert Michelson pada tahun 1881. Alat tersebut
sangat berguna dalam berbagai permasalahan kompleks,
seperti pengukuran efek relativitas, mengukur efek
pasang di bumi yang diakibatkan oleh gerak bulan,
mengukur ketebalan logam, hingga tentunya dapat
mengetahui panjang gelombang spektrum. Bagian-
bagian dari interferometer Michelson secara umum
antara lain sumber cahaya, lensa cembung, beam
splitter, dan cermin pemantul, seperti yang dinyatakan
pada gambar 3 [1].
Ketika cahaya ditembakkan pada alat, lensa cembung
akan memfokuskan cahaya dan terjadi pemantulan
JURNAL PRAKTIKUM FISIKA OPTIK
Gambar 1. Struktur utama laser
Gambar 2. Cara kerja laser
parsial oleh beam splitter ke salah satu cermin (dalam
hal ini suatu material) karena sebagian lagi akan
diteruskan ke cermin lainnya. Pada akhirnya, seolah-
olah menghasilkan dua buah gelombang cahaya yang
kemudian mengalami interferensi pada beam splitter
sebelum akhirnya hasil interferensi muncul pada
layardalam bentuk pola frinji (gelap terang berbentuk
lingkaran).
Hasil interferensi oleh inferometer Michelson dapat
dinyatakan sebagai berikut [1].
𝜆𝛥𝑥
d= (1)
2𝑥
Keterangan:
d = ketebalan lapisan
x = jarak
Δx = perubahan jarak
λ = panjang gelombang
II. METODOLOGI
A. Alat
Alat yang digunakan pada percobaan Spektrometer ini
antara lain satu set interferometer Michelson, dua unit
film, satu unit laser, dan perangkat pengolah data. Dalam
satu set interferometer Michelson terdapat beberapa
komponen, yaitu lensa cembung, beam splitter, substrat,
cermin datar, dan layar. Lensa cembung sesuai sifatnya
berfungsi untuk mengumpulkan cahaya. Beam splitter
berfungsi untuk membelokkan arah cahaya dan memecah
berkas cahaya untuk dapat diteruskan ke lebih dari satu
arah. Substrat berfungsi sebagai tempat peletakan film
dan sebagai media pembanding hasil interferensi padanya
dengan pada film karena film tidak menutupi seluruh
permukaan substrat. Cermin datar berfungsi untuk
memantulkan kembali cahaya kepada beam splitter,
Layar berfungsi untuk menampilkan hasil interferensi
yang diakibatkan oleh film. Tentunya film dibutuhkan
sebagai media percobaan ini agar dapat diketahui
ketebalannya. Laser berfungsi sebagai sumber gelombang
cahaya, dengan laser yang digunakan berwarna merah.
2
Gambar 3. Interferometer Michelson
Gambar 4. Skema Alat Percobaan Interferometer Michelson
Perangkat pengolah data (dalam hal ini komputer/laptop)
berguna untuk mengolah data interferensi yang
didapatkan.
B.Skema Alat
Alat-alat di atas kemudian disusun menjadi seperti
pada gambar 4.
C. Langkah Kerja
Langkah pertama, posisi alat diatur sedeimikan rupa
agar saling lurus atau tegak lurus dengan berbagai
komponen lainnya. Posisi film juga ikut diatur agar dapat
membentuk pola frinji. Kemudian laser dinyalakan dan
hasil interferensi yang ditampilkan pada layar dipotret
sebagai hasil percobaan. Langkah-langkah di atas diulang
untuk film yang berbeda ketebalannya.
D. Flowchart
Secara garis besar, langkah-langkah kerja pada
Spekrometer dijelaskan pada gambar 5.
III. HASIL DAN DISKUSI
A. Analisis Data
Percobaan Interferometer Michelson menghasilkan
data yaitu pola interferensi berupa pola gelap terang
pada layar. Pola gelap terang ini ada pada sebagian
tampilan layar sedangkan separuhnya lagi adalah hanya
warna dari laser. Hal ini bertujuan untuk
membandingkan hasil interferensi yang muncul pada
substrat dengan pada film dan memang film tidak
menutupi seluruh substrat.
Gambar yang didapat kenudian dipotret dan diproses
menggunakan pemrograman dengan aplikasi Matlab di
laptop sehingga memunculkan sebuah grafik. Dua nilai
y tertinggi diambil pada grafik sehingga secara
JURNAL PRAKTIKUM FISIKA OPTIK 3

Grafik 1. Data Hasil Percobaan Interferometer Michelson pada Substrat

Gambar 5. Flowchart Percobaan Interferometer Michelson

Tabel 1.
Data Hasil Percobaan Interferometer Michelson
Film x1 x2 x = x1-x2 x2’ Δx = x1-x2’ Grafik 2. Data Hasil Percobaan Interferometer Michelson pada Film 1
1 62 56 6 53 9
2 62 56 6 47 15

Tabel 2.
Data Perhitungan Ketebalan Film pada Interferometer Michelson
Film x Δx λ d
1 6 9 632,8 nm 474,6 nm
2 6 9 632,8 nm 791 nm

otomatis akan mendapatkan dua pasangan (x,y) untuk

substrat yang tidak tertutupi oleh film. Sedangkan,
untuk mencari nilai pasangan x dan y pada pola
interferensi yang dihasilkan oleh film, cukup diambil Grafik 3. Data Hasil Percobaan Interferometer Michelson pada Film 2
satu nilai tertinggi y dan selisihnya dihitung mengacu
pada satu nilai x dan y tertinggi pada substrat. Hasil perhitungan selengkapnya ditampilkan pada
Diketahui pula bahwa panjang gelombang cahaya laser tabel 2 berikut.
merah adalah 632,8 nm, sehingga didapatkan data C. Grafik
sebagai berikut. Pada bagian analisis data telah dipaparkan bahwa
B. Contoh Perhitungan data hasil interferensi dapat dinyatakan dalam bentuk
Setelah diperoleh data pada tabel 1, maka tahap grafik. Dalam hal ini, gambar hasil interferensi
selanjutnya adalah menentukan besarnya ketebalan dipotret kemudian dianalisis dengan bantuan
film yang dinyatakan dalam d. pemrograman dari Matlab sehingga didapatkan grafik
Diketahui: sebagai berikut.
x =6 D. Pembahasan
Δx1 = 9 Cara kerja laser adalah melalui emisi elektron pada
Δx2 = 15 saat berada pada tingkat energi yang lebuh besar dari
λ = 680 nm keadaan dasar. Setiap kali terjadi eksitasi,
kecenderungan elektron untuk tetap ada orbitnya
Ditanya: menyebabkan emisi berupa gelombang foton. Ketika
d1 = ...? terjadi transmisi radiasi elektron melewai resonator,
d2 = ...? maka selain terjadi pemeahan gelombang foton
menjadi dua unit gelombang, terjadi pula penyamaan
Jawab: frekuensi dan penguatan gelombang cahaya sehingga
9 (632,8 𝑛𝑚) cahaya laser dapat keluar. Sisa elektron yang tak
d1 = = 474,6 nm
2 (6) terpakai akan kembali ke dalam keadaan dasar.
15 (632,8 𝑛𝑚) Sedangkan inferometer memiliki cara kerja dengan
d2 = = 791 nm
2 (6)
memanfaatkan prinsip interferensi model Fresnel
JURNAL PRAKTIKUM FISIKA OPTIK 4

karena memiiki kemiripan cara kerja. Dalam hal ini,

sebagian berkas cahaya akan dibelokkan oleh beam
splitter ke salah satu cermin kemudian sebagian lagi
dibelokkan oleh substrat seolah-olah terjadi ada dua
berkas cahaya yang masuk kembali ke beam splitter
untuk diinterferensikan sehingga muncul pola pada
layar.
Pemanfaatan interferometer bukan hanya sekadar
mencari ketebalan lapisan ataupun membuktikan
fenomena interferensi, tetapi juga dapat memecahkan
persoalan-persoalan yang lebih kompleks, terutama
yang berkaitan dengan relativitas dan gerak relatif
seperti halnya pengukuran efek gerak bulan terhadap
pasang surut di bumi.
Pada percobaan interferometer Michelson ini
diketahui bahwa semakin tebal lapisan film dapat
menimbukan pola frinji yang lebih rapat. Hal ini
disebabkan tentu dengan tebal yang lebih besar maka
molekul yang ada dalam film semakin banyak sehingga
jalur interferensi nya akan semakin jauh yang
menyebabkan area penyebaran berkas cahaya hasil
interferensi semakin berkurang jangkauannya.

IV. KESIMPULAN
Ketebalan suatu lapisan tipis atau film dapat ditentukan
melalui percobaan interferometer Michelson ini.
Diketahui pula bahwa ketebalan lapisan yang diteliti
masing-masing besarnya 474,6 nm dan 791 nm.

UCAPAN TERIMA KASIH

Penulis mengucapkan terima kasih kepada Faridawati,
M. Si. selaku dosen pengampu mata kuliah Fisika
Laboratorium, serta kepada Rizqi Nur Ainun dan Faisal
Fikri Oktaviantoni selaku Asisten Praktikum Pengukuran
Ketebalan Film Menggunakan Interferometer Michelson.

DAFTAR PUSTAKA
[1] Pedrotti dkk. Introduction to Optics. Ohio. Prentice Hall
International Inc.. (1993)
[2] Tsalatsin, Moh. Nasir dan Masturi. Penentuan Panjang
Gelombang Sinar Menggunakan Interferensi Celah Ganda
Sederhana. Universitas Negeri Semarang. Jurnal Fisika Vol. 4 No.
2, Nopember 2014.
(https://media.neliti.com/media/publications/79560-ID-
penentuan-panjang-gelombang-sinar-menggu.pdf) (19 Februari
2019)