SINTESIS DAN KARAKTERISASI KERAMIK FILM TEBAL

Fe2O3:10% mol ZnO UNTUK SENSOR GAS ETANOL

SKRIPSI

Diajukan untuk memenuhi sebagian dari

syarat memperoleh gelar sarjana sains
Jurusan Pendidikan Fisika

oleh
SARAH RAHIMAH
NIM. 055129

PROGRAM STUDI FISIKA

JURUSAN PENDIDIKAN FISIKA
FAKULTAS PENDIDIKAN MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM
UNIVERSITAS PENDIDIKAN INDONESIA
2011

LEMBAR PENGESAHAN SKRIPSI

SINTESIS DAN KARAKTERISASI KERAMIK FILM TEBAL
Fe2O3:10% mol ZnO UNTUK SENSOR GAS ETANOL

SARAH RAHIMAH
055129

DISETUJUI DAN DISAHKAN OLEH PEMBIMBING:

Pembimbing I

Drs. Dani Gustaman Syarif, M.Eng

NIP. 196105221984031002

Pembimbing II

Endi Suhendi, M.Si

NIP. 197905012003121001

Mengetahui,
Ketua Jurusan Pendidikan Fisika

Drs. Taufik Ramlan Ramalis, M.Si

NIP. 195904011986011001

DAFTAR ISI

ABSTRAK .......................................................................................................

KATA PENGANTAR ...................................................................................

ii

UCAPAN TERIMA KASIH ......

iii

DAFTAR ISI ..................................................................................................

iv

DAFTAR TABEL ..........................................................................................

DAFTAR GAMBAR .....................................................................................

ix

DAFTAR LAMPIRAN ...................................................................................

xi

BAB I

PENDAHULUAN

1.1

Latar Belakang Penelitian ......................................................................

1.2

Rumusan Masalah ..................................................................................

1.3

Batasan Masalah .....................................................................................

1.4

Tujuan ...................................................................................................

1.5

Manfaat Penelitian .................................................................................

BAB II

TINJAUAN PUSTAKA

2.1 Sensor Gas ..............................................................................................

2.2 Pengenalan Teknologi Film Tebal ...........................................................

2.3

Material Keramik Semikondutor .............................................................

2.4

Hematit (Fe2O3) .......................................................................................

14

2.5

Zinc Oxide (ZnO) ....................................................................................

15

2.6

Substrat Alumina (Al2O3) .......................................................................

17

2.7

Proses Pembakaran (Sintering)................................................................

19

BAB III METODE PENELITIAN

3.1

Metode Penelitian ...................................................................................

22

3.2

Alur Pembuatan keramik Film Tebal .....................................................

22

3.3

Alat dan Bahan .......................................................................................

23

3.3.1

3.4

Alat yang digunakan ................................................................

23

3.3.2 Bahan yang digunakan .............................................................

23

Prosedur Pembuatan Keramik Film Tebal ..............................................

24

3.4.1

Pencampuran Bahan (Mixing)...................................................

24

3.4.2

Screen Printing ........................................................................

24

3.4.3

Pembakaran (firing) .................................................................

25

3.3.4 Karakterisasi .............................................................................

26

3.5

Lokasi Penelitian .....................................................................................

26

3.6

Waktu Penelitian .....................................................................................

27

BAB IV HASIL PENELITIAN DAN PEMBAHASAN

4.1

Hasil Karakterisasi Difraksi Sinar-X (XRD) ..........................................

28

4.2

Hasil Karakterisasi Struktur Mikro (SEM) .............................................

30

4.3

Hasil Karakterisasi Listrik.......................................................................

31

BAB V KESIMPULAN DAN SARAN

5.1

Kesimpulan ............................................................................................

38

5.2

Saran .......................................................................................................

38

DAFTAR PUSTAKA ....................................................................................

39

LAMPIRAN ...................................................................................................

42

DAFTAR TABEL

Tabel 2.1 Sifat Intrinsik ZnO............................................................................

16

Tabel 4.1 Data sudut , I dan dhkl Fe2O3............................................................ 29

DAFTAR GAMBAR

Gambar 2.1 Proses Srceen Printing....................................................................

Gambar 2.2 Diagram pita energi padatan Mg ................................................

8
11

Gambar 2.3 Diagram pita energi material isolator .......................................... 12

Gambar 2.4 Diagram pita energi material semikonduktor..... 12
Gambar 2.5 Diagram pita energy semikonduktor tipe-n .......... 13
Gambar 2.6 Diagram pita energy semikonduktor tipe-p.... 14
Gambar 2.7 Struktur kristal hematit .................................. 14
Gambar 2.8 Struktur Kristal ZnO........... 16
Gambar 2.9 Struktur heksagonal korundum ..... 18
Gambar 2.10 Pembentukan leher kontak ... 20
Gambar 2.11 Proses sintering ..... 21
Gambar 3.1 Diagram alur pembuatan film tebal........ 22
Gambar 3.2 Proses pembakaran film tebal ....... 25
Gambar 3.3 Proses pembakaran Ag ....... 26
Gambar 4.1 Pola difraksi sinar-X film tebal keramik
Fe2O3: 10 % mol ZnO ........................... 28
Gambar 4.2 Struktur mikro dengan SEM ..... 30
Gambar 4.3 Struktur mikro dilihat dari penampang dengan SEM. 31

Gambar 4.4 Grafik hambatan terhadap suhu film tebal

keramik Fe2O3:10% mol ZnO 32
Gambar 4.5 Grafik nilai sensitifitas terhadap suhu film tebal
keramik Fe2O3:10% mol ZnO . 33
Gambar 4.6 Grafik sensitivitas terhadap konsentrasi gas
etanol pada suhu pengukuran 230oC 34
Gambar 4.7 Grafik hambatan terhadap konsentrasi gas
etanol pada suhu pengukuran 230oC . 34
Gambar 4.8 Diagram pita energi ketika permukaan sensor
menyerap oksigen dari udara 35
Gambar 4.9 Model penghalang antar butir sebelum diberi gas etanol 36
Gambar 4.10 Model penghalang antar butir setelah diberi gas etanol ... 37

DAFTAR LAMPIRAN

Lampiran 1 Menentukan Parameter Kisi Fe2O3 .............................................

43

Lampiran 2 Perhitungan Ukuran Butir............................................................ 48

Lampiran 3 Perhitungan Ketebalan Film........................................................

51

Lampiran 4 Data Karakteristik Listrik............................................................

54

Lampiran 5 Perhitungan Konsentrasi Gas....................................................... 56

Lampiran 6 Gambar Alat yang Digunakan dalam Penelitian
dan JCPDS..................................................................................

58