Cacat titik dapat berupa kekosongan (vacant) yang terjadi karena tidak terisinya suatu posisi
pada latice atau terjadi sisipan (interstitial) yaitu salah tempat posisi yang seharusnya kosong
ternyata ditempati atom yang mengakibatkan atom-atom di sekitarnya terdorong saling menjauh.
Dan terjadinya subtitusi (subtitusional) yaitu ada atom asing yang menganti tempat yang
seharusnya diisi atom tertentu. Pada subtitusional bila atom pengantinya lebih besar maka atom
disekitarnya terdorong menjauh, dan bila lebih kecil tertarik saling mendekat.
Cacat yang menimbulkan distorsi pada lattice yang berpusat pada suatu garis, sering disebut
dislokasi. Pada dasarnya ada 2 macam dislokasi yaitu edge dislocation dan screw dislocation dan
dapat juga terjadi dislokasi yang merupkan kombinasi keduannya.