RENCANA PEMBELAJARAN SEMESTER

JURUSAN FISIKA

FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM

Kode MK Mata Kuliah SKS Program Studi Revisi ke/ Tanggal
FIS 578 STRUKTUR DAN 3 sks FISIKA 1/ 20161026
TEKNOLOGI
SEMIKONDUKTOR
Legalitas Pengembang RPS Koordinator MK Ketua Prodi

Dra. Yenni Darvina, M.Si Dra. Yenni Darvina, M.Si Dr. Ratnawulan, M.Si
Capaian Pembelajaran (CP) Mampu menerapkan konsep-konsep, prinsip-prinsip dan hukum-hukum dasar Fisikadalam
menganalisis dan menginterpretasikan materi Struktur dan Teknologi Semikonduktor serta
mengaplikasikan hasil IPTEK dan hasil penelitian dalam lingkup pekerjaannya.

Soft skills/Karakter: Berfikir kritis

Diskrip Singkat MK Struktur dan teknologi semikonduktor yang meliputi: Pengantar Perkuliahan, Bahan Semikonduktor
Semikonduktor intrinsik dan ekstinsik, Gejala transformasi pembawa muatan, Persambungan p-n, Bipolar
devais, Unipolar Devais, Pertumbuhan kristal dan epitaksi, Oksidasi dan deposisi Film, Difusi dan
implantasi ion, Litografi dan ecing.
Dosen Pengampu Dra. Yenni Darvina, M.Si
Persentase Penilaian Akhir UTS UAS STUDI KASUS PBL
25% 25% 15% 35%

1
KEGIATAN PERKULIAHAN

MINGGU KEMAMPUAN BAHAN KAJIAN METODE WAKTU PENGALAMAN KRITERIA BOBOT NILAI DAFTAR
AKHIR YANG (MATERI AJAR) PEMBELAJARAN BELAJAR (indikator) REFERENSI
DIHARAPKAN PENILAIAN
1 2 3 4 5 6 7 8 9
1 Mampu memahami Kontrak belajar Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1,2 dan 3
posisi matakuliah 1. Pengantar Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
Struktur dan Teknologi Perkuliahan Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
Semikonduktor pada a. Tinjauan umum Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
KBK Fisika Material tentang bahan Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
dan Biofisika serta konduktor, tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
mendapatkan semikonduktor dan menganalisis, dan n analisis dalam
informasi tentang isolator mengkomunikasikan presentasi
tinjauan umum (KONDUKTIVITAS - Keterampilan
tentang Struktur , RESISTIVITAS, berkomunikasi
Semikonduktor dan PITA ENERGI) lisan dan tulisan
Teknologinya b. Tinjauan umum - Kemampuan
tentang Teknologi bertanya dan
Semiknduktor menjawab
permasalah
yang dibahas
2 Mampu menerapkan 2. Bahan Semikonduktor Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1,2 dan 3
konsep-konsep, a. Konduktivi Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan tas dan resistivitas Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar bahan semikonduk Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk tor Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, b. Semikonduktor tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan elemen dan compon menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan c. Struktur kristal mengkomunikasikan presentasi
materi Bahan semikonduk - Keterampilan
Semikonduktor Tor berkomunikasi
lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas

2
3 Mampu menerapkan 3. Semikonduk Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1,2 dan 3
konsep-konsep, tor intrinsik Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan dan ekstinsik Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar a. Pita energi Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk semikonduk Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, tor tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan b. Konsentrasi menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan pembawa muatan mengkomunikasikan presentasi
materi Semikonduktor intrinsik - Keterampilan
intrinsik dan ekstrinsik c. Konsentrasi berkomunikasi
pembawa muatan lisan dan tulisan
ekstrinsik (donor - Kemampuan
dan aseptor) bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas
4 Mampu menerapkan 4. Gejala transformasi Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1,2 dan 3
konsep-konsep, pembawa muatan Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan a. Mobilitas pembawa Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar muatan. Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk b. Rresistivitas Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, pembawa muatan tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan c. Proses difusi dan menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan injeksi pembawa mengkomunikasikan presentasi
materi Gejala muatan - Keterampilan
transformasi pembawa d. Proses generasi dan berkomunikasi
muatan rekombinasi lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas
5 Mampu menerapkan 5.Persambung- an p-n Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1,2 dan 3
konsep-konsep, a. Kesetim Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan bangan termal Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar b. Daerah pengosong-an Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk c. Penipisan kapasitansi Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan mengkomunikasikan presentasi

3
 materi Gejala - Keterampilan
transformasi pembawa berkomunikasi
muatan lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas
6 Mampu menerapkan d. Karakteristik Arus- Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1,2 dan 3
konsep-konsep, Tegangan Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan e. Penyimpan-an Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar muatan dan perilaku Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk transient Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, f. Junction Breakdown tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan mengkomunikasikan presentasi
- Keterampilan
berkomunikasi
lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas
7 Mampu menerapkan 6. Bipolar devais Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1,2 dan 3
konsep-konsep, a. Transistor Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan b. Karakteristik statik Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar transistor Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk c. Thyristor Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan mengkomunikasikan presentasi
- Keterampilan
berkomunikasi
lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas

4
8 Mampu menerapkan 7. Unipolar Devais Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1,2 dan 3
konsep-konsep, a. Hubungan kontak Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan semikonduk Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar tor- logam Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk b. JFET Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, c. MESFET tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan d. MOSFET menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan mengkomunikasikan presentasi
- Keterampilan
berkomunikasi
lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas
9 Mampu menerapkan UJUAN TENGAH Mengerjakan soal - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam - Kemampuan - UTS 25% 1,2 dan 3
konsep-konsep, SEMESTER ujian tatap muka menelesaikan soal- Penguasaan
prinsip-prinsip dan soal ujian UTS materi/Ketajam
hukum-hukum dasar an analisis
Fisika untuk - Keterampilan
mendeskripsikan, berkomunikasi
menganalisis, dan dengan tulisan
menginterpretasikan

10 Mampu menerapkan 8. Pertumbuhan kristal Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1 dan 2
konsep-konsep, dan epitaksi Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan a. Cara menum- Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar buhkan kristal dari Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk larutan dengan Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, Teknik Czochra-ski, tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan Bridgman dan menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan Proses Zona Float mengkomunikasikan presentasi
- Keterampilan
berkomunikasi
lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah

5
 yang dibahas
11 Mampu menerapkan b. Cara membuat Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1 dan 2
konsep-konsep, wafer Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan c. Teknik Epitaksi fase Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar uap Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk d. Teknik Epitaksi fase Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, cair tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan mengkomunikasikan presentasi
- Keterampilan
berkomunikasi
lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas
12 Mampu menerapkan 9. Oksidasi dan Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1 dan 2
konsep-konsep, deposisi Film Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan a. Oksidasi Termal Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar b. Kinetika oksidasi Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan mengkomunikasikan presentasi
- Keterampilan
berkomunikasi
lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas
13 Mampu menerapkan c. Deposisi film tipis Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1 dan 2
konsep-konsep, secara fisika dan Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan kimia dengan Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar berbagai teknik Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk d. Metalisasi Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan menganalisis, dan n analisis dalam

6
 menginterpretasikan mengkomunikasikan presentasi
- Keterampilan
berkomunikasi
lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas
14 Mampu menerapkan 10. Difusi dan Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1 dan 2
konsep-konsep, implantasi ion Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan a. Proses difusi Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar b. Teknik Implantasi Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk ion Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan mengkomunikasikan presentasi
- Keterampilan
berkomunikasi
lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas
15 Mampu menerapkan 11. Litografi dan ecing. Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1 dan 2
konsep-konsep, a. Teknik Litografi Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan b. Teknik ecing Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan mengkomunikasikan presentasi
- Keterampilan
berkomunikasi
lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah

7
 yang dibahas
16 Mampu menerapkan c. Proses pabrikasi Ceramah. - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam: - Kemampuan - PBL 35 % 1 dan 2
konsep-konsep, dasar transistor Tanya Jawab. tatap muka Mengamati, membuat - Studi kasus 15 %
prinsip-prinsip dan bipolar Pemberian Tugas. - 3 x 60 menit bertanya, makalah dan
hukum-hukum dasar Diskusi/Seminar tugas terstruktur mengumpulkan PPT.
Fisika untuk Kerja Kelompok - 3 x 60 menit infmasi/mencoba, - Penguasaan
mendeskripsikan, tugas mandiri menalar, materi/Ketajama
menganalisis, dan menganalisis, dan n analisis dalam
menginterpretasikan mengkomunikasikan presentasi
- Keterampilan
berkomunikasi
lisan dan tulisan
- Kemampuan
bertanya dan
menjawab
permasalah
yang dibahas
17 Mampu menerapkan UJIAN AKHIR Mengerjakan soal - 3 x 50 menit Berfikir kritis dalam - Kemampuan - UAS 25 % 1 dan 2
konsep-konsep, SEMESTER ujian tatap muka mengerjakan soal- Penguasaan
prinsip-prinsip dan soal ujian UAS materi/Ketajam
hukum-hukum dasar an analisis
Fisika untuk - Keterampilan
mendeskripsikan, berkomunikasi
menganalisis, dan dengan tulisan
menginterpretasikan

REFERENSI
1. Rekario (1982) Fisika dan teknologi semikonduktor PT Paradya Paramita Jakarta
2. S.M.Sze (1985) Semiconductor Devices Physics and technology, John Wiley & Son, New York.
3. Sriati Djaprie (1992) Ilmu Dan Teknologi Bahan, Erlangga Jakarta